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SECS/GEM半导体设备通信标准

共计 30 章节
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01
课程导入
学习目标 · 课程结构 · SECS/GEM在半导体智能制造中的…
课程导入学习目标
02
半导体设备通信背景
半导体制造流程 · 设备自动化需求 · 通信标准演进历史（SEMI
半导体设备通信背…半导体制造流程
03
SECS-I基础
RS-232串行通信 · 块传输协议 · 报文格式
SECS-IRS-232
04
HSMS基础
TCP/IP通信 · 连接建立与管理 · 消息格式
HSMSTCP/IP
05
SECS-II消息结构
Stream与Function · 消息头 · 数据项（SML格式）
SECS-II消息结构
06
常用SECS-II消息（上）
S1F1/S1F2 · S1F3/S1F4 · S1F5/S1F6等设备状态与识别消…
SECS-II常用
07
常用SECS-II消息（下）
S2F13/S2F14 · S2F17/S2F18 · S5F1/S5F2等设备控制与报警消…
SECS-II常用
08
GEM标准核心概念
设备模型 · 状态模型 · 事件通知
GEM标准核心概念
09
GEM状态模型
设备状态（IDLE · READY · STOPPED等）
GEM状态模型
10
事件通知机制
事件定义 · 事件报告 · 启用/禁用事件（S6F11/S6F1…
事件通知机制事件定义
11
远程控制与命令
远程命令（S2F41/S2F42） · 命令执行 · 权限管理
远程控制命令
12
配方管理
配方上传/下载（S7F1-S7F6） · 配方验证 · 配方存储与切换
配方管理S7F1-S7F6
13
数据采集与追踪
数据变量（DV） · 追踪数据（S6F1/S6F2） · 数据采样周期
数据采集追踪
14
报警管理
报警定义（S5F1/S5F2） · 报警清除 · 报警查询
报警管理S5F1/S5F2
15
设备通信会话管理
会话建立 · 通信超时 · 错误恢复
设备通信会话管理会话建立
16
SECS/GEM消息编码与解码
SML语法 · 消息构建 · 字节流解析
SECS/GEM消息编码
17
SECS/GEM通信仿真工具
使用模拟器（如SECS Simula… · GEM300）进行消息收发与调试
SECS/GEM通信仿真工具
18
SECS/GEM开发环境搭建
选择开发语言（C++/C#/Pyth… · 开源库（如SECS.NET · PySECS）
SECS/GEM开发环境搭建
19
实战案例
设备状态上报与远程启动 · S2F41命令 · 完成设备状态监控与远程控制
实战案例设备状态上报
20
实战案例
报警通知与事件记录：配置S5F1报警 · S6F11事件 · 实现报警实时推送与日志存储
实战案例S5F1
21
实战案例
配方下载与切换 · 并验证配方切换流程
实战案例配方下载
22
实战案例
数据采集与SPC集成：设置DV和追踪 · 将采集数据发送至SPC系统进行统计分…
实战案例SPC
23
SECS/GEM与EAP/MES集成
设备与EAP（Equipment A… · 消息映射 · 业务逻辑
SECS/GEMEAP/MES
24
SECS/GEM性能优化
消息频率控制 · 数据压缩 · 连接池
SECS/GEM性能优化
25
SECS/GEM安全与可靠性
身份认证 · 数据加密 · 消息完整性
SECS/GEM安全
26
SECS/GEM测试与验证
单元测试 · 集成测试 · 一致性测试（SEMI E5/E30/…
SECS/GEM测试
27
常见问题与调试技巧
通信超时 · 消息解析失败 · 状态不同步
常见问题调试技巧
28
SECS/GEM在先进制程中的应用
12英寸晶圆厂 · E84 · GEM300
SECS/GEM先进制程
29
SECS/GEM标准最新发展
SEMI E5/E30/E37/E3… · 面向工业4.0的演进 · 与SEMI S2/S8等安全标准协同
SECS/GEM标准最新发展
30
综合项目实战
从零构建一个完整的SECS/GEM设… · 包括需求分析 · 设计
综合项目实战SECS/GEM