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深亚微米CMOS工艺BSIM模型参数提取与SPICE器件建模

共计 30 章节
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01
课程导入
学习目标 · 课程定位 · 深亚微米器件建模的挑战与整体知识框架
课程导入学习目标
02
半导体器件物理基础
PN结 · MOS电容 · 阈值电压
半导体器件物理基…PN
03
深亚微米CMOS工艺简介
工艺节点演进 · 短沟道效应 · 高k栅介质
CMOS深亚微米
04
SPICE仿真基础
SPICE语法 · 电路描述 · 直流/交流/瞬态分析
SPICE仿真基础
05
BSIM模型家族概述
BSIM3 · BSIM4 · BSIM6及FinFET模型的发展历…
BSIM模型家族概述
06
BSIM4模型核心方程
阈值电压 · 漏电流 · 体电荷
BSIM4模型核心方程
07
BSIM模型参数分类
几何参数 · 物理参数 · 工艺参数
BSIM模型参数分类
08
参数提取流程总览
从器件测试到模型验证的完整流程 · 工具链与标准
参数提取流程总览从器件测试到模型…
09
测试结构设计
MOSFET测试键设计 · 开尔文结构 · 去嵌入方法
测试结构设计MOSFET
10
直流I-V特性测试
输出特性 · 转移特性 · 衬底电流
I-V直流
11
电容-电压(C-V)测试
栅电容 · 交叠电容 · 结电容测量及数据校正
C-V电容
12
参数提取工具与软件
IC-CAP · BSIMProPlus · HSPICE
参数提取工具软件
13
阈值电压提取方法
常数电流法 · 最大跨导法 · 线性外推法
阈值电压提取方法常数电流法
14
有效沟道长度与宽度提取
掩膜版图 · 电学测量 · C-V法
有效沟道长度宽度提取
15
迁移率模型参数提取
低场迁移率 · 垂直电场退化 · 横向电场饱和速度等参数拟合
迁移率模型参数提…低场迁移率
16
串联电阻提取
总电阻法 · 沟道电阻法 · Y函数法及温度依赖
串联电阻提取总电阻法
17
体效应与衬底电流模型
体电荷效应 · 衬底电流模型参数提取与验证
体效应衬底电流模型
18
输出电导与沟道长度调制
CLM · DIBL · 衬底辅助击穿等效应建模与参数提取
输出电导沟道长度调制
19
亚阈值特性建模
亚阈值摆幅 · 漏致势垒降低(DIBL)参数提取与温…
亚阈值特性建模亚阈值摆幅
20
温度模型参数
阈值电压 · 迁移率 · 饱和速度的温度系数提取与建模
温度模型参数阈值电压
21
噪声模型参数提取
热噪声 · 闪烁噪声(1/f)模型参数提取与验证
噪声模型参数提取热噪声
22
射频(RF)模型参数提取
非准静态效应 · 寄生电容 · 电感
RF射频
23
统计模型与工艺角
全局/局部失配 · 工艺角(SS/TT/FF)生成与蒙特…
统计模型工艺角
24
模型验证与校准
I-V/C-V拟合 · 误差分析 · gmid法
模型验证校准
25
BSIM模型在数字电路设计中的应用
标准单元库时序 · 功耗 · 漏电仿真与模型精度影响
BSIM模型
26
BSIM模型在模拟/射频电路设计中的应用
放大器 · 混频器 · 振荡器设计中的模型关键参数
BSIM模型
27
案例实战
基于IC-CAP的BSIM4参数提取…
案例实战IC-CAP
28
案例实战
模型文件在HSPICE中的调用与仿真… · 以及常见错误调试
案例实战HSPICE
29
常见问题与陷阱
参数提取不收敛 · 局部最优 · 参数相关性
常见问题陷阱
30
综合提升与前沿趋势
先进节点(FinFET/GAA)建模… · 机器学习辅助参数提取 · 模型标准化展望
综合提升前沿趋势