所属分类：芯片半导体与FPGA 当前为单品课程，可返回上一级继续浏览同方向资料。
← 返回上一级
← 返回所属目录 咨询 / 购买

半导体设备维护与保养实战课程

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
课程导入
半导体设备维护与保养的行业背景 · 重要性 · 职业发展路径
课程导入半导体设备维护
02
半导体制造工艺基础
晶圆制造全流程 · 光刻 · 刻蚀
半导体制造工艺基…晶圆制造全流程
03
半导体设备分类与功能
前道设备（光刻机 · 刻蚀机 · 薄膜设备
半导体设备分类功能
04
设备维护保养核心概念
预防性维护（PM） · 预测性维护（PdM） · 纠正性维护（CM）
设备维护保养核心…PM
05
设备维护保养体系与标准
ISO 9001 · ISO 14001 · SEMI标准
设备维护保养体系标准
06
设备维护保养计划制定
基于设备类型 · 运行时间 · 工艺条件
设备维护保养计划…基于设备类型
07
设备点检与日常巡检
点检表设计 · 巡检路线规划 · 关键参数记录
设备点检日常巡检
08
设备润滑与清洁保养
润滑剂选择 · 润滑周期 · 清洁剂使用
设备润滑清洁保养
09
设备校准与精度调整
传感器校准 · 运动平台精度校正 · 真空计校准
设备校准精度调整
10
设备备件管理
备件分类 · 安全库存设定 · 备件生命周期管理
设备备件管理备件分类
11
设备故障诊断基础
故障树分析（FTA） · 鱼骨图 · 5Why分析法
设备故障诊断基础FTA
12
常见设备故障案例
光刻机对准失效 · 刻蚀机射频功率异常 · 薄膜沉积均匀性差
常见设备故障案例光刻机对准失效
13
设备维护安全与规范
电气安全 · 化学品安全 · 机械安全
设备维护安全规范
14
设备维护工具与仪器使用
万用表 · 示波器 · 频谱分析仪
设备维护工具仪器使用
15
设备维护文档管理
维护记录填写 · 维修报告撰写 · 技术文档归档
设备维护文档管理维护记录填写
16
设备维护团队协作与沟通
维护人员与工艺工程师 · 操作员 · 供应商的协作流程
设备维护团队协作沟通
17
设备维护成本控制
维护预算编制 · 成本分析 · 备件消耗优化
设备维护成本控制维护预算编制
18
设备维护KPI与绩效评估
MTBF · MTTR · OEE
KPI设备维护
19
设备维护新技术应用
物联网（IoT） · 大数据分析 · 人工智能预测性维护
设备维护新技术应…IoT
20
光刻机维护实战
光刻机光学系统清洁 · 对准系统校准 · 激光源维护
光刻机维护实战光刻机光学系统清…
21
刻蚀机维护实战
反应腔室清洁 · 射频匹配器维护 · 气体质量流量控制器校准
刻蚀机维护实战反应腔室清洁
22
薄膜沉积设备维护实战
CVD/PVD设备腔室清洁 · 靶材更换 · 加热器校准
薄膜沉积设备维护…CVD/PVD
23
离子注入机维护实战
离子源更换 · 束线光学对准 · 法拉第杯校准
离子注入机维护实…离子源更换
24
化学机械抛光（CMP）设备维护实战
抛光垫更换 · 修整器维护 · 浆料管路清洗
CMP化学机械抛光
25
清洗设备维护实战
湿法清洗槽维护 · 兆声波发生器检查 · 化学药液浓度控制
清洗设备维护实战湿法清洗槽维护
26
量测与检测设备维护实战
CD-SEM校准 · 光学关键尺寸测量仪维护 · 缺陷检测系统光源与相机检查
量测检测设备维护实战
27
设备维护实战演练
模拟设备故障场景 · 学员分组进行故障排查 · 维修方案制定
设备维护实战演练模拟设备故障场景
28
常见维护误区与陷阱
过度维护 · 维护不当导致二次故障 · 忽视软件更新
常见维护误区陷阱
29
综合案例研讨
某晶圆厂设备维护体系优化案例 · 某设备重大故障处理复盘 · 维护团队效率提升案例
综合案例研讨某晶圆厂设备维护…
30
课程总结与认证考核
核心知识点回顾 · 技能考核（理论+实操） · 课程反馈与持续学习资源推荐
课程总结认证考核