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半导体工厂自动化:从理论到实践

共计 30 章节
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01
课程导入
半导体工厂自动化的定义 · 发展历程 · 核心价值与整体学习路径
课程导入半导体工厂自动化…
02
半导体制造基础
晶圆制造流程 · 前道/后道工艺 · 关键设备与工艺参数对自动化的需求
半导体制造基础晶圆制造流程
03
自动化体系架构
工厂自动化层级模型（设备 · 单元 · 产线
自动化体系架构工厂自动化层级模…
04
MES（制造执行系统）核心功能
工单管理 · 在制品跟踪 · 数据采集
MES制造执行系统
05
设备自动化接口
SECS/GEM协议 · SEMI标准（E5/E30/E37等… · 设备通信与数据采集实战
设备自动化接口SECS/GEM
06
物料搬运系统（MHS）
OHT · AGV · AMR
MHS物料搬运系统
07
调度与派工
基于规则 · 启发式 · 数学规划
调度派工
08
自动化物料管理系统（AMHS）
Stocker · Bay · Interbay/Intrabay设…
AMHS自动化物料管理系…
09
过程控制与故障检测
R2R（Run-to-Run）控制 · FDC（Fault Detectio… · SPC应用
过程控制故障检测
10
数据采集与监控
设备数据采集（EDA/Interfa… · 实时监控 · 报警管理与KPI计算
数据采集监控
11
自动化测试与封装
晶圆测试 · 封装自动化 · 测试程序管理
自动化测试封装
12
工厂网络与信息安全
工业网络架构 · OT/IT融合 · 网络安全风险与防护措施
工厂网络信息安全
13
自动化系统集成
MES · EAP · AMHS
自动化系统集成MES
14
仿真与数字孪生
产线建模 · 离散事件仿真 · 数字孪生在产能规划与优化中的应用
仿真数字孪生
15
产能规划与瓶颈分析
OEE计算 · 瓶颈识别 · 产能模型
产能规划瓶颈分析
16
自动化项目规划
需求分析 · 方案设计 · 投资回报分析
自动化项目规划需求分析
17
自动化系统实施
设备安装 · 系统配置 · 接口调试
自动化系统实施设备安装
18
自动化系统验证与验收
FAT/SAT · 性能测试 · 可靠性测试
自动化系统验证验收
19
自动化系统运维
日常监控 · 预防性维护 · 故障处理
自动化系统运维日常监控
20
持续改进与优化
基于数据分析的瓶颈改善 · 调度策略调优 · 能耗优化与成本降低
持续改进优化
21
案例实战
300mm晶圆厂自动化系统整体架构与…
案例实战mm
22
案例实战
12英寸厂AMHS设计与调度优化案例
案例实战AMHS
23
案例实战
MES与EAP集成在光刻区的实施与问…
案例实战MES
24
案例实战
FDC系统在刻蚀工艺中的故障检测与良…
案例实战FDC
25
案例实战
自动化仓库与物料配送系统在封装测试厂…
案例实战自动化仓库
26
常见问题
设备通信不稳定 · 数据丢失 · 系统响应慢等问题的诊断与解决
常见问题设备通信不稳定
27
常见问题
调度算法与实际产线不符 · 交通堵塞 · 死锁等问题的处理策略
常见问题调度算法
28
常见问题
自动化系统上线初期产能下降 · 操作员抵触 · 流程混乱的应对方法
常见问题自动化系统上线初…
29
综合提升
从自动化到智能化 · 结合AI · 大数据
综合提升从自动化到智能化
30
综合实战
设计一个半导体工厂自动化系统的完整方… · 包括需求 · 架构
综合实战设计一个半导体工…