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良率管理：FAB厂缺陷治理与良率指标分解流程

共计 30 章节
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01
良率管理概述
半导体FAB良率定义 · 良率对成本的影响 · 良率管理的发展历程
良率管理概述FAB
02
缺陷基础概念
缺陷定义与分类（颗粒 · 划伤 · 图案异常）
缺陷基础概念缺陷定义
03
缺陷检测技术
明场/暗场光学检测 · 电子束检测 · 检测设备原理与选型
缺陷检测技术明场
04
缺陷复检与分类
SEM复检 · EDS成分分析 · ADC自动缺陷分类技术
缺陷复检分类
05
缺陷数据管理
缺陷数据库建立 · 数据清洗与标准化 · 良率数据仓库架构
缺陷数据管理缺陷数据库建立
06
缺陷闭环管理流程
发现-复检-分析-处置-验证-关闭的…
缺陷闭环管理流程发现
07
缺陷根源分析
鱼骨图 · 5Why分析法 · FMEA在缺陷分析中的应用
缺陷根源分析鱼骨图
08
缺陷与良率关联模型
关键缺陷面积模型 · 随机缺陷与系统缺陷对良率的影响
缺陷良率关联模型
09
良率指标分解体系
从最终良率到工序良率 · 站点良率的逐级分解
良率指标分解体系从最终良率到工序…
10
关键良率指标
CP/FT良率 · WAT参数 · In-line缺陷密度
关键良率指标CP/FT
11
良率指标分解方法
自上而下分解法 · 基于历史数据的统计分解法
良率指标分解方法自上而下分解法
12
工序良率监控
SPC控制图在工序良率监控中的应用 · Cp/Cpk计算
工序良率监控SPC
13
缺陷密度与良率关系
Poisson模型 · 负二项模型 · 良率预测公式
缺陷密度良率关系
14
良率提升方法论
DMAIC六西格玛流程在良率提升中的…
良率提升方法论DMAIC
15
缺陷源头治理
设备PM优化 · 工艺参数调优 · 原材料质量控制
缺陷源头治理PM
16
缺陷复现与验证
DOE实验设计 · 缺陷复现实验 · 验证方案设计
缺陷复现验证
17
良率数据可视化
良率趋势图 · 缺陷帕累托图 · 良率热力图
良率数据可视化良率趋势图
18
良率报告体系
日报 · 周报 · 月报模板
良率报告体系日报
19
良率管理系统架构
MES · EAP · YMS系统集成与数据流
良率管理系统架构MES
20
缺陷闭环系统功能
缺陷派发 · 追踪 · 关闭
缺陷闭环系统功能缺陷派发
21
良率指标与成本关联
良率提升对芯片成本的影响模型
良率指标成本关联
22
先进工艺良率挑战
FinFET/GAA等先进工艺的良率…
先进工艺良率挑战FinFET/GAA
23
良率与可靠性关联
早期失效 · 缺陷对可靠性的影响
良率可靠性关联
24
良率管理团队建设
良率工程师 · 缺陷工程师 · 工艺工程师协作
良率管理团队建设良率工程师
25
良率管理最佳实践
行业标杆FAB的良率管理案例
良率管理最佳实践FAB
26
良率指标分解实战
以28nm工艺为例进行良率指标分解
良率指标分解实战nm
27
缺陷闭环实战
典型缺陷案例（如金属残留）的闭环处理…
缺陷闭环实战典型缺陷案例
28
良率提升项目
从立项到结项的全流程管理
良率提升项目从立项到结项的全…
29
良率管理数字化
AI在缺陷分类与良率预测中的应用
良率管理数字化AI
30
课程总结与展望
良率管理未来趋势 · 智能FAB与良率管理
课程总结良率管理未来趋势