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良率监控指标：Defect Density与良率转换模型

共计 30 章节
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01
课程导论
Defect Density与良率转… · 课程目标与学习路径
课程导论Defect
02
良率基础概念
良率定义 · 分类（晶圆良率 · 封装良率
良率基础概念良率定义
03
缺陷密度定义
Defect Density (D0… · 单位（defects/cm²） · 与缺陷数量的关系
缺陷密度定义Defect
04
缺陷来源分析
工艺缺陷 · 材料缺陷 · 环境微粒
缺陷来源分析工艺缺陷
05
缺陷检测方法
光学检测 · 电子束检测 · 暗场/明场检测
缺陷检测方法光学检测
06
缺陷密度计算
基于测试芯片（Test Chip）与… · 公式推导
缺陷密度计算Test
07
良率模型概述
泊松模型 · 负二项模型 · Murphy模型
良率模型概述泊松模型
08
泊松良率模型
假设条件 · 公式 Y = e^(-A*D0) · 适用场景与局限性
泊松良率模型假设条件
09
负二项良率模型
引入聚类因子α · 公式 Y = (1 + A*D0/α… · 处理缺陷聚集效应
负二项良率模型引入聚类因子α
10
Murphy模型
经验模型 · 公式 Y = (1 - e^(-A*… · 中等聚集程度适用
Murphy模型
11
Seed模型
适用于大芯片与高缺陷密度场景 · 公式 Y = 1/(1 + A*D0…
Seed模型
12
模型参数提取
从测试数据中拟合D0与α · 最大似然估计与最小二乘法
模型参数提取D0
13
良率与缺陷密度转换
给定D0与芯片面积A · 计算预期良率 · 反向计算允许的D0上限
良率缺陷密度转换
14
关键面积（Critical Area）概念
定义 · 与缺陷尺寸分布的关系 · 关键面积提取方法
CriticalArea
15
缺陷尺寸分布（Defect Size Distribution）
幂律分布 · 对数正态分布 · 对良率模型的影响
DefectSize
16
良率损失分解
系统良率损失与随机良率损失 · 缺陷密度贡献的随机部分
良率损失分解系统良率损失
17
良率监控指标
Cpk · DPU（Defects Per Un… · DPMO（Defects Per M…
良率监控指标Cpk
18
良率基线建立
历史数据收集 · 基线D0设定 · 良率目标分解
良率基线建立历史数据收集
19
良率爬坡（Yield Ramp）
新工艺节点良率提升路径 · 缺陷密度降低策略
YieldRamp
20
良率监控系统架构
数据采集层 · 分析引擎 · 可视化仪表板
良率监控系统架构数据采集层
21
缺陷密度趋势图
控制图（U Chart · P Chart） · 异常检测规则（Western Ele…
缺陷密度趋势图Chart
22
良率预测模型
基于当前D0预测最终良率 · 蒙特卡洛模拟方法
良率预测模型D0
23
良率与缺陷密度的相关性分析
Pearson相关系数 · 散点图 · 回归分析
良率缺陷密度的相关性…
24
案例研究1
成熟工艺节点良率优化 · 缺陷密度从0.5降至0.2 defe…
案例研究1成熟工艺节点良率…
25
案例研究2
先进节点（7nm/5nm）良率挑战 · EUV缺陷与随机缺陷的影响
案例研究2nm/5nm
26
良率提升工具
DOE（实验设计） · FDC（故障检测分类） · RCA（根本原因分析）
良率提升工具DOE
27
缺陷密度与良率的行业标准
SEMI标准 · ITRS路线图 · 基准对比
缺陷密度良率的行业标准
28
良率模型软件实现
Python代码实现泊松 · 负二项 · Murphy模型
良率模型软件实现Python
29
课程总结
关键概念回顾 · 良率监控最佳实践 · 未来趋势（AI驱动良率预测）
课程总结关键概念回顾
30
综合练习与评估
给定晶圆数据 · 计算D0 · 选择合适模型预测良率
综合练习评估