2. 设备状态机模型：GEM标准定义的设备状态及其转换关系

在SECS/GEM协议体系中，设备状态机（Equipment State Machine）是描述设备行为与T6定时器交互的核心模型。GEM标准（SEMI E30）明确定义了设备在生命周期内所处的若干关键状态，以及这些状态之间的合法转换路径。理解这一模型，是分析T6定时器在状态机复位后触发参数校准的前提。

2.1 核心设备状态定义

GEM标准将设备状态划分为以下五个基本状态，每个状态对应设备不同的操作阶段和通信能力：

2.2 状态转换关系与触发条件

设备状态之间的转换由内部事件或外部主机指令触发。下图展示了GEM标准定义的主要状态转换路径：

2.3 状态转换的触发事件分类

根据GEM标准，状态转换由以下三类事件驱动：

• 主机指令事件： 如S2F41（主机命令）、S1F13（建立通信请求）、S1F14（建立通信确认），这些指令会强制设备进入特定状态。
• 设备内部事件： 如工艺完成、校准完成、硬件故障、传感器触发，设备自主上报状态变更。
• 定时器超时事件： 包括T6在内的GEM定时器超时，会触发状态机复位或回退到安全状态。

2.4 状态机复位场景与T6定时器的交互

在设备运行过程中，以下三种典型场景会导致状态机复位，并触发T6定时器相关的参数校准流程：

2.5 状态机与T6定时器的协同工作流程

以下流程图展示了设备从IDLE状态启动工艺，到T6超时触发复位，再到参数校准的完整链路：

2.6 状态机复位后的参数校准触发条件

根据GEM标准，当设备状态机从非IDLE状态（如EXECUTING、SETUP、PAUSED）复位到IDLE或INIT时，以下条件会触发参数校准流程：

1. T6超时标志位检查： 设备固件检测到T6定时器超时标志（Timeout Flag）被置位，确认复位原因为通信或工艺超时。
2. 工艺上下文丢失检测： 复位后设备对比当前参数快照与上一次SETUP状态的基线参数，若偏差超过阈值则触发校准。
3. 主机校准请求： 主机通过S2F41指令发送校准命令，要求设备在进入SETUP前执行参数校准。
4. 自动校准策略： 设备配置了“复位后自动校准”策略，在状态机进入IDLE后立即启动校准子程序。

2.7 状态机复位对T6定时器参数的影响

状态机复位后，T6定时器的参数（T6_TIMEOUT）需要根据复位前的状态和复位原因进行动态调整。下表总结了不同复位场景下的参数校准策略：