3. 设备初始化标准流程：从建立通信（HSMS连接）到GEM状态机建立（EQUIPMENT OFF/ON/READY）的完整步骤

设备初始化是半导体自动化集成的第一步，也是T6定时器故障的高发区。完整的初始化流程可划分为物理连接建立、HSMS握手、GEM状态机迁移三个阶段。任何阶段的T6超时都会导致连接中断或状态机卡死，因此理解标准流程是故障诊断的基础。

3.1 初始化流程总览

下图展示了从设备上电到GEM READY状态的完整步骤，其中每个箭头代表一次SECS消息交互，T6定时器在每次消息发送时启动。

3.2 阶段一：物理连接与HSMS链路建立

初始化从设备上电开始，设备端作为TCP服务器或客户端，与主机建立TCP socket连接。此阶段不涉及SECS消息，但TCP连接的成功是后续所有通信的前提。

3.3 阶段二：HSMS握手（Select过程）

TCP连接建立后，主机发送Select.req消息，设备回复Select.rsp。这是SECS通信的正式起点，T6定时器在此阶段首次被激活。

Select握手成功后，HSMS连接进入已选择（Selected）状态，此时可以开始传输SECS-II消息。如果Select.rsp在T6超时内未收到，主机应重发Select.req或断开连接。

3.4 阶段三：GEM状态机建立

HSMS连接建立后，设备通过S1F13/S1F14完成通信握手，随后进入EQUIPMENT OFF状态。设备内部自检完成后，依次迁移至ON和READY状态。

3.4.1 S1F13/S1F14 通信握手

主机发送S1F13（Establish Communications Request），设备回复S1F14（Establish Communications Acknowledge）。此过程同样受T6定时器保护。

// S1F13 消息示例（主机 -> 设备）
Stream 1, Function 13
WBit = 1 (需要回复)
Data: <L>
  <A "HOST_ID">      // 主机ID
  <A "1.0">          // 软件版本

// S1F14 消息示例（设备 -> 主机）
Stream 1, Function 14
WBit = 0
Data: <L>
  <A "EQP_001">     // 设备ID
  <A "2.1">         // 设备软件版本
  <BOOLEAN TRUE>    // 通信建立成功标志

3.4.2 EQUIPMENT状态迁移

通信建立后，设备进入EQUIPMENT OFF状态。此时设备尚未准备好接收工艺指令，主机可下发S2F17（Date Set Request）进行参数配置。设备完成初始化后，通过S1F1（Are You There）或主动上报S6F11通知主机状态变更。

3.5 初始化流程中的T6定时器风险点

在初始化流程中，T6定时器在以下关键消息交互时启动。了解这些风险点有助于快速定位故障。

• Select.req → Select.rsp：HSMS握手阶段，T6超时通常由网络延迟或设备端HSMS服务未启动引起。
• S1F13 → S1F14：通信建立阶段，T6超时可能因设备端GEM应用层未就绪或消息格式错误。
• S2F17 → S2F18：参数配置阶段，T6超时可能因设备正在执行耗时操作（如硬件初始化）。
• S7F19 → S7F20：配方下载阶段（在ON→READY过程中常见），T6超时可能因配方数据量过大或设备存储故障。

3.6 初始化流程检查清单

以下清单可用于设备初始化阶段的故障排查，建议逐项确认。