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良率模型：良率模型参数校准与工艺偏差修正实战

共计 30 章节
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01
良率模型概述
良率定义 · 良率模型在半导体制造中的重要性 · 常见良率模型分类（泊松模型
良率模型概述良率定义
02
工艺偏差基础
工艺偏差的来源（光刻 · 刻蚀 · 沉积）
工艺偏差基础工艺偏差的来源
03
关键工艺参数识别
关键尺寸（CD） · 薄膜厚度 · 掺杂浓度
关键工艺参数识别CD
04
数据采集与预处理
良率数据与工艺参数数据的采集规范 · 数据清洗（缺失值 · 异常值处理）
数据采集预处理
05
良率模型数学基础
概率论与数理统计回顾 · 最大似然估计（MLE） · 贝叶斯推断在模型校准中的应用
良率模型数学基础概率论
06
泊松良率模型
泊松分布假设 · 模型公式推导 · 适用场景（随机缺陷主导）
泊松良率模型泊松分布假设
07
负二项良率模型
负二项分布假设 · 聚集因子（聚类参数）的引入 · 模型公式推导
负二项良率模型负二项分布假设
08
复合良率模型
多缺陷类型叠加 · 混合模型构建 · 权重参数估计
复合良率模型多缺陷类型叠加
09
模型参数校准方法
最小二乘法 · 加权最小二乘法 · 非线性优化算法（梯度下降
模型参数校准方法最小二乘法
10
最大似然估计校准
似然函数构建 · 对数似然函数优化 · 梯度计算与迭代求解
最大似然估计校准似然函数构建
11
贝叶斯参数校准
先验分布设定 · 后验分布计算 · 马尔可夫链蒙特卡洛（MCMC）方法
贝叶斯参数校准先验分布设定
12
工艺偏差修正原理
偏差修正的必要性 · 修正策略（前馈修正 · 反馈修正）
工艺偏差修正原理偏差修正的必要性
13
偏差修正模型构建
偏差与良率的关联函数 · 线性修正模型 · 非线性修正模型
偏差修正模型构建偏差
14
虚拟量测与良率预测
虚拟量测技术原理 · 基于工艺参数的良率预测模型 · 预测精度评估指标（RMSE
虚拟量测良率预测
15
多变量良率模型
主成分分析（PCA）降维 · 多元线性回归 · 偏最小二乘回归（PLSR）在高维参数…
多变量良率模型PCA
16
时间序列良率模型
工艺漂移检测 · 时间序列分解（趋势 · 季节
时间序列良率模型工艺漂移检测
17
机器学习良率模型
随机森林 · 支持向量机（SVM） · 神经网络在良率建模中的应用
机器学习良率模型随机森林
18
深度学习良率模型
卷积神经网络（CNN）用于晶圆图缺陷… · 长短期记忆网络（LSTM）用于时序良…
深度学习良率模型CNN
19
模型过拟合与正则化
过拟合现象识别 · L1/L2正则化 · Dropout技术
模型过拟合正则化
20
模型评估与诊断
残差分析 · Q-Q图 · 拟合优度指标（R²
模型评估诊断
21
工艺偏差修正实战案例一
光刻工艺偏差修正——聚焦深度与曝光剂…
工艺偏差修正实战…光刻工艺偏差修正
22
工艺偏差修正实战案例二
刻蚀工艺偏差修正——刻蚀速率均匀性对…
工艺偏差修正实战…刻蚀工艺偏差修正
23
工艺偏差修正实战案例三
薄膜沉积偏差修正——膜厚均匀性对器件…
工艺偏差修正实战…薄膜沉积偏差修正
24
良率模型校准实战案例一
基于历史数据的泊松模型参数校准与验证
良率模型校准实战…基于历史数据的泊…
25
良率模型校准实战案例二
基于贝叶斯方法的负二项模型参数校准与…
良率模型校准实战…基于贝叶斯方法的…
26
良率模型校准实战案例三
复合模型参数校准与多目标优化
良率模型校准实战…复合模型参数校准
27
良率模型软件工具
Python（scipy · statsmodels · pymc3）
良率模型软件工具Python
28
良率模型自动化部署
模型管道构建 · 实时数据接入 · 模型更新策略
良率模型自动化部…模型管道构建
29
良率模型与工艺控制集成
统计过程控制（SPC）与良率模型联动 · 先进过程控制（APC）中的模型应用
良率模型工艺控制集成
30
课程总结与未来展望
良率模型发展趋势（数字孪生 · AI驱动） · 持续学习建议
课程总结未来展望