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半导体工艺与制造设备
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032-半导体厂务运维
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《厂务设备调试实战:水电气化监控与BMS楼宇对接》
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厂务设备调试实战:水电气化监控与BMS楼宇对接
共计 30 章节
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01
课程导论
厂务设施管理(FM)概述 · 水电气化监控系统(EPMS)与BMS… · 课程目标与学习路径
课程导论
FM
02
BMS系统基础
BMS系统架构(管理层 · 自动化层 · 现场层)
BMS
系统基础
03
水系统基础
厂务给排水系统组成 · 纯水/废水处理流程 · 关键工艺参数(流量
水系统基础
厂务给排水系统组…
04
电气系统基础
厂务高低压配电系统 · UPS与应急电源 · 关键电气参数(电压
电气系统基础
厂务高低压配电系…
05
气化系统基础
压缩空气系统(CDA) · 氮气/特种气体系统 · 真空系统
气化系统基础
CDA
06
暖通空调(HVAC)基础
洁净室空调原理 · 温湿度控制 · 风量/压差控制
HVAC
暖通空调
07
传感器与执行器
温度/湿度/压力/流量/液位传感器选… · 电动阀/变频器/接触器工作原理
传感器
执行器
08
数据采集与I/O模块
PLC与DDC控制器选型 · 模拟量/数字量输入输出模块(AI/A… · 信号隔离与抗干扰
I/O
数据采集
09
Modbus RTU/TCP通信实战
Modbus协议帧结构 · 地址映射 · 主站/从站配置
Modbus
RTU/TCP
10
BACnet MS/TP与IP通信实战
BACnet对象模型(AI/AO/A… · 设备绑定 · COV通知机制
BACnet
MS/TP
11
OPC UA与MQTT桥接
OPC UA服务器搭建 · MQTT Broker配置 · JSON/XML数据格式转换
OPC
UA
12
BMS监控界面设计
HMI/SCADA组态软件入门 · 图形化仪表盘设计 · 趋势曲线与报警列表配置
BMS
监控界面设计
13
水系统监控点表设计
冷冻水/冷却水/纯水系统点表模板 · 量程归一化 · 工程单位转换(4-20mA映射)
水系统监控点表设…
冷冻水
14
电气系统监控点表设计
进线柜/馈线柜/配电柜点表 · 电能表数据采集(Modbus) · 功率累计计算
电气系统监控点表…
进线柜
15
气化系统监控点表设计
空压机/干燥机/储气罐点表 · 气体纯度分析仪数据接入 · 露点报警阈值设定
气化系统监控点表…
空压机
16
HVAC系统监控点表设计
AHU/MAU/FCU点表 · 风阀/水阀控制逻辑 · 温湿度串级PID调节
HVAC
系统监控点表设计
17
BMS与EPMS系统对接方案
系统集成架构图 · 数据流方向 · 接口协议选择(Modbus TCP…
BMS
EPMS
18
数据库与历史数据存储
时序数据库(InfluxDB/MyS… · 数据归档策略 · 数据压缩与采样
数据库
历史数据存储
19
报警与事件管理
报警分级(紧急/重要/一般) · 报警抑制与确认 · 短信/邮件/声光联动通知
报警
事件管理
20
能效管理与节能优化
能耗分项计量 · 单位产品能耗计算 · 设备运行效率曲线
能效管理
节能优化
21
系统调试工具与软件
Modscan/BACnet Exp… · 模拟器使用 · 日志分析
系统调试工具
软件
22
现场总线布线规范
RS485总线拓扑与终端电阻 · 屏蔽接地 · 网线制作标准(T568A/B)
现场总线布线规范
RS485
23
控制器编程实战(DDC)
逻辑块编程(与或非) · PID参数整定 · 时间表与假日模式
DDC
控制器编程实战
24
PLC与BMS联动调试
PLC程序下载与监控 · Modbus从站地址配置 · 数据点对点测试
PLC
BMS
25
系统联调与验收流程
单点测试 · 回路测试 · 联动测试
系统联调
验收流程
26
常见故障排查与处理
通信中断(CRC错误/超时) · 数据跳变(滤波/屏蔽) · 执行器不动作(电源/信号)
常见故障排查
处理
27
网络安全与访问控制
BMS网络隔离(VLAN) · 防火墙规则 · 用户权限分级
网络安全
访问控制
28
系统冗余与高可用性
双机热备(控制器/服务器) · 冗余电源 · 环网拓扑(RSTP)
系统冗余
高可用性
29
项目文档与交付物
系统架构图 · 网络拓扑图 · 点表清单
项目文档
交付物
30
综合实战案例
某半导体工厂水电气化+BMS集成项目… · 常见坑点与最佳实践总结
综合实战案例
BMS
所属VIP或分类
同VIP:SOP标准作业与系统联机验收中的参数配置方法
同VIP:厂务设备调试进阶:BMS楼宇集成与报警联动调试案例
同VIP:备件管理流程优化:系统冗余设计中的报警联动配置