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半导体工艺与制造设备
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030-器件参数提取仿真
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《MOSFET建模工具与工艺角仿真参数校准课程》
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MOSFET建模工具与工艺角仿真参数校准课程
共计 30 章节
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01
MOSFET基础回顾
MOSFET结构 · 工作原理 · I-V特性曲线
MOSFET
基础回顾
02
BSIM模型家族
BSIM3 · BSIM4 · BSIM-CMG
BSIM
模型家族
03
PSP与HiSIM模型
PSP模型原理 · HiSIM模型特点 · 表面势模型与阈值电压模型对比
PSP
HiSIM
04
建模工具概述
IC-CAP · MBP · MQA
建模工具概述
IC-CAP
05
IC-CAP入门
IC-CAP界面布局 · 项目创建 · 仪器驱动配置
IC-CAP
界面布局
06
IC-CAP测量模块
DC测量 · CV测量 · 脉冲测量
IC-CAP
测量模块
07
IC-CAP建模流程
从测量数据到模型提取的完整工作流
IC-CAP
建模流程
08
MBP工具入门
MBP界面 · 项目结构 · 模型库管理
MBP
工具入门
09
MBP参数提取
DC参数提取 · CV参数提取 · RF参数提取
MBP
参数提取
10
MQA工具入门
MQA界面 · 测试结构设计 · 数据管理
MQA
工具入门
11
工艺角(Process Corner)概念
TT · FF · SS
Process
Corner
12
工艺角仿真参数校准
全局参数与局部参数校准方法
工艺角仿真参数校…
全局参数
13
统计建模基础
蒙特卡洛分析 · 相关性分析 · 主成分分析(PCA)在建模中的应用
统计建模基础
蒙特卡洛分析
14
BSIM4模型参数详解
核心参数 · 寄生参数 · 噪声参数
BSIM4
模型参数详解
15
BSIM4 DC参数提取
阈值电压 · 迁移率 · 饱和速度
BSIM4
DC
16
BSIM4 CV参数提取
栅氧化层电容 · 重叠电容 · 结电容提取
BSIM4
CV
17
BSIM4 RF参数提取
非准静态效应 · 寄生电阻电感 · 衬底网络提取
BSIM4
RF
18
BSIM4噪声模型
热噪声 · 闪烁噪声参数提取与校准
BSIM4
噪声模型
19
BSIM4温度模型
温度系数提取 · 自热效应建模
BSIM4
温度模型
20
BSIM-CMG模型
FinFET结构 · 多栅极模型参数 · 工艺角校准
BSIM-CMG
模型
21
BSIM-IMG模型
SOI器件 · 背栅效应 · 浮体效应建模
BSIM-IMG
模型
22
LDMOS与功率MOSFET建模
RESURF原理 · 漂移区电阻 · 自热效应
LDMOS
MOSFET
23
模型验证方法
Gummel对称性测试 · 跨导线性测试 · 输出电导测试
模型验证方法
Gummel
24
模型质量指标
RMS误差 · 最大误差 · 相关性系数
模型质量指标
RMS
25
工艺角生成流程
从测量数据到工艺角模型卡的生成
工艺角生成流程
从测量数据到工艺…
26
统计工艺角建模
sigma工艺角 · Cpk工艺角 · 最差情况工艺角
统计工艺角建模
sigma
27
模型与工艺角在PDK中的集成
模型卡格式 · PDK验证 · QA流程
PDK
模型
28
SPICE仿真器中的模型调用
HSPICE · Spectre · ELDO中的模型语法与选项
SPICE
仿真器
29
实际案例
28nm CMOS工艺MOSFET建…
实际案例
nm
30
课程总结与进阶
先进节点(GAA · CFET)建模挑战 · AI辅助建模趋势
课程总结
进阶
所属VIP或分类
同VIP:FinFET器件C-V曲线拟合与参数灵敏度分析实战
同VIP:FinFET器件C-V曲线拟合与建模工具工程案例
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