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半导体工艺与制造设备
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《GaN器件工艺角仿真与建模工具调试案例》
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GaN器件工艺角仿真与建模工具调试案例
共计 30 章节
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01
GaN器件基础
GaN HEMT结构与工作原理 · 二维电子气(2DEG)特性 · 阈值电压与击穿电压
GaN
器件基础
02
工艺角概念
工艺角(Process Corner… · 典型工艺角(SS/TT/FF/FS/…
工艺角概念
Process
03
仿真工具链概述
TCAD仿真(Sentaurus/A… · 紧凑模型仿真(SPICE) · Python建模工具协同
仿真工具链概述
TCAD
04
Python环境搭建
Anaconda安装 · PySpice/LTspice接口配… · NumPy/SciPy科学计算库安装
Python
环境搭建
05
紧凑模型基础
Angelov模型 · ASM-HEMT模型 · MIT Virtual Source…
紧凑模型基础
Angelov
06
工艺角参数提取
阈值电压(Vth)随工艺角变化 · 跨导(gm)与Ron的统计分布提取方…
工艺角参数提取
Vth
07
Python数据读取
从TCAD输出文件(.log/.pl… · 使用Pandas进行数据清洗
Python
数据读取
08
模型参数拟合
使用SciPy.optimize.c… · 提取Rs/Rd
模型参数拟合
SciPy.optimi…
09
工艺角脚本化
编写Python脚本自动生成不同工艺…
工艺角脚本化
Python
10
蒙特卡洛仿真
基于工艺角分布生成1000个随机样本 · 使用Python进行Monte Ca…
蒙特卡洛仿真
基于工艺角分布生…
11
调试案例1
阈值电压漂移——识别栅极金属功函数波… · 修正模型参数
调试案例1
阈值电压漂移
12
调试案例2
导通电阻异常——分析缓冲层陷阱导致的… · 调整陷阱模型参数
调试案例2
导通电阻异常
13
调试案例3
跨导峰值偏移——定位源极/漏极接触电… · 优化接触电阻模型
调试案例3
跨导峰值偏移
14
调试案例4
击穿电压下降——识别场板结构工艺偏差 · 修正击穿模型
调试案例4
击穿电压下降
15
调试案例5
频率特性退化——分析栅极电容(Cgs… · 调整电容模型
调试案例5
Cgs
16
可视化分析
使用Matplotlib绘制工艺角I… · Vth分布直方图 · gm随Vgs变化图
可视化分析
Matplotlib
17
自动化报告生成
使用Jinja2模板生成包含图表和统…
自动化报告生成
Jinja2
18
多工艺角对比
SS/TT/FF/FS/SF五个工艺… · 交流特性 · 开关特性的对比分析
多工艺角对比
SS/TT/FF/FS/…
19
温度效应耦合
将温度系数(-40°C~150°C)… · 建立温度-工艺角联合模型
温度效应耦合
将温度系数
20
自热效应建模
在紧凑模型中嵌入自热网络(Rth/C… · 调试不同工艺角下的自热效应差异
自热效应建模
Rth/C
21
陷阱效应建模
GaN特有的缓冲层陷阱与表面陷阱模型 · 工艺角对陷阱密度的影响
陷阱效应建模
GaN
22
栅极漏电调试
分析栅极漏电流(Igss)在不同工艺… · 调整肖特基势垒模型
栅极漏电调试
Igss
23
动态Ron退化
基于脉冲I-V测试数据 · 调试不同工艺角下的电流崩塌模型参数
Ron
动态
24
大信号模型验证
使用Load-Pull数据验证工艺角…
大信号模型验证
Load-Pull
25
开关特性调试
调试不同工艺角下Qg · Qgd · Qgs的变化
开关特性调试
Qg
26
模型库封装
将调试完成的工艺角模型封装为标准.l… · 支持主流EDA工具
模型库封装
将调试完成的工艺…
27
GUI工具开发
使用PyQt5/Tkinter开发工…
GUI
工具开发
28
云端协同仿真
基于Flask搭建轻量级Web服务 · 实现远程工艺角仿真与调试
云端协同仿真
Flask
29
案例复盘
某600V GaN HEMT产品工艺… · 从数据到模型修正
案例复盘
GaN
30
课程总结与展望
GaN工艺角建模挑战 · AI辅助参数提取 · 未来宽禁带器件建模趋势
课程总结
GaN
所属VIP或分类
同VIP:FinFET器件C-V曲线拟合与参数灵敏度分析实战
同VIP:FinFET器件C-V曲线拟合与建模工具工程案例
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