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本课程属于：030-器件参数提取仿真 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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FinFET器件建模工具与参数灵敏度分析课程

共计 30 章节
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01
FinFET器件基础
FinFET结构 · 工作原理 · 与传统MOSFET的区别
FinFET器件基础
02
FinFET工艺节点
7nm/5nm/3nm FinFET… · 关键尺寸(Fin width/hei… · 工艺挑战
FinFET工艺节点
03
建模工具概述
TCAD工具(Sentaurus/V… · 紧凑模型工具(BSIM-CMG/BS… · 参数提取工具
建模工具概述TCAD
04
Sentaurus TCAD环境搭建
Sentaurus Workbenc… · 结构编辑器(SDE)入门 · 网格生成
SentaurusTCAD
05
Sentaurus器件仿真
SDevice物理模型设置 · 漂移扩散模型 · 迁移率模型
Sentaurus器件仿真
06
Victory TCAD入门
Victory Process工艺仿… · Victory Device器件仿真 · 与Sentaurus对比
VictoryTCAD
07
BSIM-CMG模型基础
BSIM-CMG模型架构 · 核心方程 · 模型参数分类(几何/物理/工艺)
BSIM-CMG模型基础
08
BSIM-IMG模型基础
BSIM-IMG模型特点 · SOI FinFET建模 · 背栅效应建模
BSIM-IMG模型基础
09
参数提取流程
I-V特性提取 · C-V特性提取 · 参数优化算法(Levenberg-M…
参数提取流程I-V
10
IC-CAP参数提取
IC-CAP软件界面 · DUT定义 · 测量设置
IC-CAP参数提取
11
MBP参数提取
Model Builder Prog… · 自动提取流程 · 统计建模
MBP参数提取
12
MVS模型
MIT Virtual Source… · 准弹道输运 · 速度饱和效应
MVS模型
13
机器学习辅助建模
神经网络代理模型 · 高斯过程回归 · 数据驱动建模方法
机器学习辅助建模神经网络代理模型
14
灵敏度分析基础
灵敏度定义 · 局部灵敏度与全局灵敏度 · 一阶与二阶灵敏度
灵敏度分析基础灵敏度定义
15
局部灵敏度分析
偏导数法 · 有限差分法 · 扰动法
局部灵敏度分析偏导数法
16
全局灵敏度分析
Sobol方法 · Morris方法 · FAST方法
全局灵敏度分析Sobol
17
参数筛选方法
Morris筛选法 · 一次一个变量(OAT)法 · 因子设计法
参数筛选方法Morris
18
蒙特卡洛分析
随机抽样方法 · 拉丁超立方抽样 · 蒙特卡洛仿真流程
蒙特卡洛分析随机抽样方法
19
工艺参数灵敏度
Fin宽度变化影响 · Fin高度变化影响 · 栅氧化层厚度影响
工艺参数灵敏度Fin
20
电学参数灵敏度
阈值电压灵敏度 · 驱动电流灵敏度 · 亚阈值摆幅灵敏度
电学参数灵敏度阈值电压灵敏度
21
温度效应灵敏度
温度对迁移率影响 · 温度对阈值电压影响 · 自热效应建模
温度效应灵敏度温度对迁移率影响
22
统计建模与良率分析
工艺角模型 · 统计模型生成 · 良率预测
统计建模良率分析
23
相关性分析
Pearson相关系数 · Spearman秩相关 · 偏相关分析
相关性分析Pearson
24
主成分分析(PCA)
PCA原理 · 降维方法 · 参数空间压缩
PCA主成分分析
25
响应面建模
多项式响应面 · Kriging模型 · 径向基函数
响应面建模多项式响应面
26
参数优化方法
梯度下降法 · 牛顿法 · 拟牛顿法
参数优化方法梯度下降法
27
多目标优化
Pareto前沿 · 加权和法 · NSGA-II算法
多目标优化Pareto
28
建模工具脚本化
Tcl脚本在Sentaurus中应用 · Python自动化参数提取 · 批处理仿真
建模工具脚本化Tcl
29
案例1
7nm FinFET I-V特性建模…
案例1nm
30
案例2
3nm FinFET C-V特性建模…
案例2nm