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半导体洁净室气体安全与EHS体系联合调试课程

共计 30 章节
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01
半导体洁净室概述
洁净室等级标准（ISO 14644） · 气流组织与压差控制 · 微污染源识别
半导体洁净室概述ISO
02
特种气体基础
大宗气体（N2 · O2 · Ar
特种气体基础N2
03
气体供应系统架构
气瓶间 · VMB（阀门箱） · VMP（阀门盘）
气体供应系统架构气瓶间
04
气体管路材料与连接
EP管 · BA管 · VCR接头
气体管路材料连接
05
气体纯度与颗粒控制
在线颗粒监测 · 水分/氧分分析仪 · 纯化器原理与维护
气体纯度颗粒控制
06
气体侦测器原理
电化学式 · 红外式 · 热导式侦测器的工作原理与选型
气体侦测器原理电化学式
07
气体报警系统
一级报警 · 二级报警设定值 · 报警联动逻辑（切断阀
气体报警系统一级报警
08
紧急切断系统（ESD）
ESD触发条件 · 手动拉绳/按钮 · 气动阀紧急关闭逻辑
ESD紧急切断系统
09
排风与废气处理系统
LOCAL SCRUBBER（本地洗… · 中央废气处理（CVD/ETCH尾气处…
排风废气处理系统
10
EHS管理体系基础
ISO 45001职业健康安全 · ISO 14001环境管理体系在半导…
EHS管理体系基础
11
危险源辨识与风险评估
JSA（作业安全分析） · LOPA（保护层分析）在气体系统中的…
危险源辨识风险评估
12
作业许可制度（PTW）
动火作业 · 受限空间作业 · 管线打开作业的审批流程
PTW作业许可制度
13
个人防护装备（PPE）
SCBA（自给式呼吸器） · 防化服 · 防静电服的选用与穿戴规范
PPE个人防护装备
14
气体泄漏应急响应
泄漏分级响应 · 疏散路线 · 集合点
气体泄漏应急响应泄漏分级响应
15
气体泄漏演练方案
桌面推演与实战演练的脚本设计 · 评估标准
气体泄漏演练方案桌面推演
16
联合调试总则
调试范围 · 调试团队组织架构 · 调试里程碑节点
联合调试总则调试范围
17
调试前安全检查（PSSR）
PSSR检查清单 · 遗留项关闭流程
PSSR调试前安全检查
18
单机调试
气瓶柜（GC）功能测试 · VMB阀门动作测试 · 侦测器零点/量程校准
单机调试GC
19
管路吹扫与保压测试
氮气吹扫 · 氦检漏 · 保压24小时验收标准
管路吹扫保压测试
20
系统联动调试
GMS与ESD联动 · GMS与排风联动 · GMS与消防系统联动
系统联动调试GMS
21
气体切换与供应连续性测试
自动切换面板（ASP）切换逻辑 · 备用气源启动测试
气体切换供应连续性测试
22
EHS监控系统集成
CCTV · 门禁 · 气体报警
EHS监控系统集成
23
调试数据记录与报告
调试日志 · 偏差报告 · 竣工文件（Dossier）的编制要求
调试数据记录报告
24
变更管理（MOC）
调试期间的临时变更 · 永久变更的审批与追溯
MOC变更管理
25
培训与授权
气体安全培训矩阵 · 操作员认证考核 · 再培训周期
培训授权
26
承包商安全管理
入场培训 · 作业监督 · 气体系统施工的EHS管控要点
承包商安全管理入场培训
27
化学品安全技术说明书（SDS）
SDS十六项内容解读 · 现场SDS存放与查阅要求
SDS化学品安全技术说…
28
环境排放合规
废气排放标准（GB 16297） · 废水排放标准 · 固废分类处置
环境排放合规GB
29
职业健康监护
特种气体作业人员的岗前 · 在岗 · 离岗体检项目与周期
职业健康监护特种气体作业人员…
30
课程总结与考核
关键知识点回顾 · 笔试与实操考核方案 · 持续改进计划
课程总结考核