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半导体厂务EHS体系与化学品防静电工程案例

共计 30 章节
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01
半导体行业EHS概述
半导体制造流程简介 · EHS在半导体厂务中的核心地位 · EHS法规体系概览
EHS半导体行业
02
厂务EHS管理体系框架
ISO 45001与ISO 1400… · EHS方针与目标设定 · 管理评审与持续改进
EHS厂务
03
化学品全生命周期管理
化学品的采购 · 入库 · 存储
化学品全生命周期…化学品的采购
04
半导体常用化学品分类与危害
酸碱类 · 有机溶剂 · 特殊气体（如SiH4
半导体常用化学品…危害
05
化学品安全技术说明书（SDS）解读
SDS十六项内容详解 · 如何根据SDS制定现场应急处置方案
SDS化学品安全技术说…
06
化学品存储工程规范
防爆仓库设计 · 兼容性存储原则 · 二次围堰与泄漏收集系统
化学品存储工程规…防爆仓库设计
07
化学品输送系统安全
Bulk供应系统（BSDS） · 管道材质选择 · 双套管设计
化学品输送系统安…Bulk
08
静电放电（ESD）基础理论
静电产生机理 · ESD对半导体器件的损伤模式 · 静电放电模型（HBM
ESD静电放电
09
防静电工程核心标准
ANSI/ESD S20.20 · IEC 61340-5-1标准体系解… · EPA（静电防护区）建立要求
防静电工程核心标…ANSI/ESD
10
EPA区域接地与等电位连接
防静电接地系统设计 · 接地电阻要求 · 等电位连接网络（EPN）的构建与测试
EPA区域接地
11
防静电工作台与地板工程
防静电台垫 · 防静电地板（PVC/环氧） · 腕带与脚跟带系统
防静电工作台地板工程
12
防静电包装与周转材料
防静电屏蔽袋 · 导电托盘 · 防静电周转箱
防静电包装周转材料
13
人员防静电管控
防静电服 · 防静电鞋 · 腕带佩戴规范
人员防静电管控防静电服
14
化学品转运过程中的防静电
易燃液体灌装与分装防静电措施 · 接地夹与跨接线使用 · 流速控制
化学品转运过程防静电
15
防静电工程验收与日常监测
EPA区域验收测试项目（表面电阻 · 对地电阻 · 静电压衰减时间）
防静电工程验收日常监测
16
化学品泄漏应急响应
泄漏分级响应机制 · 应急物资配置（防化服 · 吸附棉
化学品泄漏应急响…泄漏分级响应机制
17
特殊气体安全管理系统
气瓶间设计规范 · 气体侦测器（O2 · H2
特殊气体安全管理…气瓶间设计规范
18
废水处理系统EHS管控
含氟废水 · 含氨废水 · 重金属废水处理工艺中的安全风险与防静…
EHS废水处理系统
19
废气处理系统安全
洗涤塔 · 沸石转轮 · RTO（蓄热式氧化炉）的防爆与防静电…
废气处理系统安全洗涤塔
20
洁净室环境控制与ESD
洁净室温湿度对静电的影响 · HEPA/ULPA过滤系统 · 洁净室防静电材料选择
ESD洁净室环境控制
21
EHS培训与文化建设
新员工三级安全教育 · 化学品操作专项培训 · 防静电意识提升
EHS培训
22
作业安全分析（JSA）与风险评价
化学品操作JSA编制方法 · LEC评价法 · 风险控制措施制定
JSA作业安全分析
23
变更管理（MOC）在EHS中的应用
工艺变更 · 设备变更 · 化学品变更的EHS评审流程与防静电影…
MOCEHS
24
事故调查与根本原因分析
事故报告流程 · 鱼骨图与5Why分析法 · 纠正与预防措施（CAPA）跟踪
事故调查根本原因分析
25
防静电系统常见故障与排查
接地电阻超标 · 离子风机失效 · 腕带断裂
防静电系统常见故…排查
26
化学品防爆区域划分与防静电
爆炸危险环境分区（0区 · 1区 · 2区）
化学品防爆区域划…防静电
27
EHS关键绩效指标（KPI）与统计
可记录事故率（TRIR） · 损失工时事故率（LTIR） · 泄漏次数
EHSKPI
28
半导体厂EHS信息化系统
EHS管理软件模块（化学品管理 · 事件管理 · 培训管理）
EHS半导体厂
29
典型事故案例分析
某晶圆厂化学品泄漏事故 · 某封装厂ESD导致产品批量报废案例 · 某气体供应站火灾事故
典型事故案例分析某晶圆厂化学品泄…
30
课程总结与未来趋势
EHS与ESD技术融合趋势 · 智能制造中的EHS管理 · 绿色工厂与可持续发展
课程总结未来趋势