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半导体厂务防静电系统与设备接地联合调试课程

共计 30 章节
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01
防静电基础理论
静电产生机理 · 静电放电模型（人体模型 · 机器模型
防静电基础理论静电产生机理
02
厂务防静电系统概述
防静电系统组成（接地系统 · 静电消除器 · 防静电材料）
厂务防静电系统概…防静电系统组成
03
设备接地基础
接地类型（安全接地 · 工作接地 · 防静电接地
设备接地基础接地类型
04
联合调试概念
联合调试的目的与范围 · 调试流程（准备 · 检查
联合调试概念联合调试的目的
05
调试前准备
技术文件审查（图纸 · 规范 · 设备手册）
调试前准备技术文件审查
06
接地系统检查
主接地网检查 · 接地干线检查 · 接地支线检查
接地系统检查主接地网检查
07
防静电地板与台面测试
防静电地板电阻测试（点对点电阻 · 对地电阻） · 防静电台面电阻测试
防静电地板台面测试
08
防静电腕带与鞋具测试
腕带系统测试（电阻 · 连续性） · 防静电鞋测试（人体电阻）
防静电腕带鞋具测试
09
静电消除器（离子风机/离子棒）调试
离子平衡度测试 · 消散时间测试 · 安装位置优化
静电消除器离子风机
10
设备接地电阻测试
单点接地电阻测试 · 等电位连接测试 · 接地连续性测试
设备接地电阻测试单点接地电阻测试
11
防静电接地与安全接地隔离验证
隔离电阻测试 · 接地回路检查 · 避免地环路干扰的方法
防静电接地安全接地隔离验证
12
联合调试之信号参考平面（SRP）测试
SRP定义与作用 · SRP电阻测试 · SRP与设备接地关系
SRP联合调试之信号参…
13
联合调试之静电防护区（EPA）验证
EPA边界确认 · EPA内所有导体接地验证 · EPA标识检查
EPA联合调试之静电防…
14
联合调试之移动设备接地
移动工作台接地 · 推车接地 · 移动设备接地链检查
联合调试之移动设…移动工作台接地
15
联合调试之自动化设备（AGV/机械手）接地
AGV充电站接地 · 机械手接地 · 滑环接地检查
AGV联合调试之自动化…
16
联合调试之洁净室特殊接地
洁净室防静电地坪接地 · 洁净室墙面/天花板接地 · 高架地板接地
联合调试之洁净室…洁净室防静电地坪…
17
联合调试之化学品供应系统接地
化学品桶接地 · 管道法兰跨接 · 泵体接地
联合调试之化学品…化学品桶接地
18
联合调试之气瓶与气体管道接地
气瓶接地夹测试 · 气体管道静电跨接 · 气体监控系统接地
联合调试之气瓶气体管道接地
19
联合调试之测试设备（ATE）接地
ATE机台接地 · 测试头接地 · 探针台接地
ATE联合调试之测试设…
20
联合调试之存储设备（STK/OHB）接地
晶圆存储设备接地 · 光罩盒接地 · 氮气柜接地
STK/OHB联合调试之存储设…
21
联合调试之ESD监控系统调试
腕带监控器设置 · 台面监控器设置 · 监控系统报警测试
ESD联合调试之
22
联合调试之接地系统数据采集
数据采集点规划 · 数据采集方法（手动/自动） · 数据记录表格设计
联合调试之接地系…数据采集点规划
23
联合调试之接地系统数据分析
数据合格率统计 · 异常数据分析 · 趋势分析
联合调试之接地系…数据合格率统计
24
联合调试之报告编制
调试报告模板 · 测试数据汇总 · 问题清单与整改建议
联合调试之报告编…调试报告模板
25
联合调试之常见问题与对策
接地电阻超标原因分析 · 静电消除器失效处理 · 地环路干扰排除
联合调试之常见问…对策
26
联合调试之安全注意事项
电气安全操作规范 · 防静电安全操作 · 应急预案
联合调试之安全注…电气安全操作规范
27
联合调试之标准与规范解读
ANSI/ESD S20.20-20… · IEC 61340-5-1要点 · SEMI E78要点
联合调试之标准规范解读
28
联合调试之案例分析与实战
典型半导体厂防静电接地调试案例 · 问题复盘 · 经验总结
联合调试之案例分…典型半导体厂防静…
29
联合调试之验收与移交
验收流程 · 验收标准 · 移交文档清单
联合调试之验收移交
30
联合调试之持续改进与维护
定期复测计划 · 维护保养规程 · 变更管理
联合调试之持续改…维护