VIP20
本课程属于：017-半导体厂务安全 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

半导体厂务气体安全监控与设备接地故障排查

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
半导体厂务气体安全概述
半导体制造中常见特种气体（如SiH4 · PH3 · AsH3
半导体厂务气体安…SiH4
02
气体侦测器原理与选型
电化学 · 红外 · 催化燃烧
气体侦测器原理选型
03
气体监控系统架构
气体侦测器 · 报警控制器 · PLC/DCS
气体监控系统架构气体侦测器
04
气体钢瓶与供应系统安全
钢瓶标识 · 储存要求（气瓶间 · 气柜）
气体钢瓶供应系统安全
05
气体分配箱（VMB/VMP）巡检要点
VMB/VMP内部结构（阀门 · 压力传感器 · 流量计
VMB/VMP气体分配箱
06
气体泄漏应急响应流程
泄漏分级 · 疏散距离 · 紧急切断（ESD）操作
气体泄漏应急响应…泄漏分级
07
气体管路气密性测试与保压
氦气检漏 · 压力衰减测试 · 保压记录标准
气体管路气密性测…保压
08
气体排风与尾气处理系统
排风柜（Scrubber）类型（湿式 · 干式 · 燃烧式）
气体排风尾气处理系统
09
设备接地基础概念
接地目的（人身安全 · 设备保护 · 静电泄放）
设备接地基础概念接地目的
10
接地电阻测量方法
三极法 · 钳形接地电阻仪法 · 测量注意事项（土壤电阻率
接地电阻测量方法三极法
11
等电位连接与接地网格
设备等电位连接（铜排 · 编织带） · 接地网格设计
等电位连接接地网格
12
设备接地故障类型
接地开路 · 接地电阻过大 · 接地回路干扰
设备接地故障类型接地开路
13
接地故障排查工具与仪器
万用表 · 接地电阻测试仪 · 钳形电流表
接地故障排查工具仪器
14
接地故障排查步骤
目视检查 · 电阻测量 · 电流测量
接地故障排查步骤目视检查
15
静电放电（ESD）防护与接地
ESD对半导体设备的危害 · 防静电腕带/工作台接地 · 离子风机
ESD静电放电
16
气体侦测器校准与维护
零点校准 · 量程校准 · 标气使用
气体侦测器校准维护
17
气体安全巡检路线规划
巡检路径优化 · 关键点位（气瓶间 · VMB
气体安全巡检路线…巡检路径优化
18
巡检记录与数字化管理
巡检表单设计 · 二维码/NFC打卡 · 巡检数据上传至MES/CMMS系统
巡检记录数字化管理
19
气体管路标识与颜色规范
管路标识标准（SEMI T1 · ANSI/ASME A13.1） · 气体名称
气体管路标识颜色规范
20
设备接地系统设计审查
接地系统图纸解读 · 接地极材料（铜包钢 · 纯铜）
设备接地系统设计…接地系统图纸解读
21
接地故障案例分析（一）
因接地线锈蚀导致设备外壳带电 · 引发人员触电事故的排查与整改
接地故障案例分析因接地线锈蚀导致…
22
接地故障案例分析（二）
因接地回路干扰导致工艺设备误报警 · 通过隔离变压器与独立接地解决
接地故障案例分析因接地回路干扰导…
23
接地故障案例分析（三）
因静电积累导致晶圆颗粒污染 · 通过改善设备接地与增加离子风机解决
接地故障案例分析因静电积累导致晶…
24
气体安全培训与演练
新员工培训内容 · 年度复训 · 桌面推演
气体安全培训演练
25
气体安全相关法规与标准
GB 50493 · GB 50058 · NFPA 55
气体安全相关法规标准
26
设备接地相关法规与标准
GB 50057 · GB 50169 · IEC 60364
设备接地相关法规标准
27
气体安全巡检中的个人防护
防护眼镜 · 防化手套 · 防化服
气体安全巡检个人防护
28
气体安全巡检中的危险作业许可
动火作业 · 受限空间作业 · 高处作业的审批流程与安全措施
气体安全巡检危险作业许可
29
气体安全与接地系统的联动
接地不良导致气体侦测器误报 · 接地故障引发气体阀门误动作 · 联动测试方法
气体安全接地系统的联动
30
综合实战考核
模拟气体泄漏与接地故障同时发生 · 要求学员完成巡检 · 排查
综合实战考核模拟气体泄漏