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半导体厂务气体安全与安全监控工程实践课程

共计 30 章节
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01
半导体厂务气体安全概述
半导体制造中的气体种类（如SiH4 · PH3 · AsH3
半导体厂务气体安…SiH4
02
气体安全法规与标准体系
国内外气体安全法规（GB · OSHA · EU-OSHA）
气体安全法规标准体系
03
气体供应系统架构
大宗气体（Bulk Gas）与特殊气… · 气瓶柜（Gas Cabinet） · 气瓶架（Gas Rack）
气体供应系统架构Bulk
04
气体侦测与报警系统
气体侦测器原理（电化学 · 红外 · 催化燃烧
气体侦测报警系统
05
气体管路与阀门技术
不锈钢EP/BA管路 · VCR/卡套接头 · 隔膜阀
气体管路阀门技术
06
气体纯化与过滤系统
气体纯化器（Getter · 树脂吸附） · 颗粒过滤器（0.003μm）
气体纯化过滤系统
07
气体安全联锁系统
紧急切断（ESD）逻辑 · 气体泄漏自动关断 · 排风联动
气体安全联锁系统ESD
08
气体排风与尾气处理系统
局部排风（LEV） · 洗涤塔（Wet Scrubber） · 燃烧式尾气处理（Burn Box）
气体排风尾气处理系统
09
气体安全巡检制度
巡检频率（日检/周检/月检） · 巡检路线规划 · 巡检点设置（气瓶间
气体安全巡检制度巡检频率
10
巡检工具与设备
便携式气体侦测器（MultiRAE · MX6） · 红外热成像仪
巡检工具设备
11
巡检标准作业程序（SOP）
气瓶更换SOP · 管路检漏SOP · 侦测器零点/跨度校准SOP
SOP巡检标准作业程序
12
气体泄漏应急响应
泄漏分级（一级/二级/三级） · 疏散路线 · 应急小组职责
气体泄漏应急响应泄漏分级
13
个人防护装备（PPE）与呼吸防护
SCBA（自给式呼吸器） · APR（空气净化呼吸器） · 化学防护服（Level A/B/C）
PPE个人防护装备
14
气体安全培训与认证
新员工三级安全教育 · 气体安全专项培训 · 实操考核（气瓶更换
气体安全培训认证
15
气体安全巡检记录与报告
巡检表单设计（纸质/电子） · 异常事件记录 · 趋势分析（泄漏频次
气体安全巡检记录报告
16
大宗气体（Bulk Gas）安全巡检
氮气（N2） · 氧气（O2） · 氢气（H2）
BulkGas
17
特殊气体（Specialty Gas）安全巡检
硅烷（SiH4）自燃特性 · 磷烷（PH3）剧毒特性 · 砷烷（AsH3）高毒特性
SpecialtyGas
18
气瓶柜（Gas Cabinet）巡检
气瓶固定与标识 · 泄漏侦测器功能测试 · 排风系统检查
GasCabinet
19
VMB/VMP巡检
阀门箱内部管路检查 · 接头检漏（Snoop检漏液） · 压力/流量读数记录
VMB/VMP巡检
20
气体侦测器巡检
传感器寿命检查（电化学2年 · 红外5年） · 响应时间测试
气体侦测器巡检传感器寿命检查
21
气体管路巡检
管路支撑与标识 · 焊缝/接头外观检查 · 压力降分析
气体管路巡检管路支撑
22
气体排风系统巡检
风机运行状态 · 风管完整性 · 洗涤塔液位/pH值
气体排风系统巡检风机运行状态
23
气体安全监控系统（GMS）巡检
SCADA界面检查 · 报警历史记录 · 趋势图分析
GMS气体安全监控系统
24
气体钢瓶存储与搬运安全
钢瓶分类存储（易燃/氧化/腐蚀/惰性… · 钢瓶固定链 · 搬运推车使用
气体钢瓶存储搬运安全
25
气体安全巡检常见隐患与整改
管路微漏（ppm级） · 侦测器漂移 · 排风负压不足
气体安全巡检常见…整改
26
气体安全巡检数字化与智能化
巡检APP（二维码/NFC打卡） · IoT传感器实时监测 · AI图像识别（管路腐蚀/标识模糊）
气体安全巡检数字…智能化
27
气体安全巡检案例分析
某Fab厂硅烷泄漏事故 · 某气体房氯气泄漏应急响应 · 某VMB管路接头松动导致微量泄漏的巡…
气体安全巡检案例…Fab
28
气体安全巡检绩效评估
巡检完成率 · 隐患发现率 · 隐患整改闭环率
气体安全巡检绩效…巡检完成率
29
气体安全巡检持续改进
PDCA循环 · 根本原因分析（RCA） · 失效模式与影响分析（FMEA）
气体安全巡检持续…PDCA
30
气体安全巡检综合演练与考核
模拟泄漏场景演练 · 巡检路线实操考核 · 气体侦测器使用考核
气体安全巡检综合…考核