VIP20
本课程属于：017-半导体厂务安全 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

半导体厂务安全规范与洁净室设备接地调试

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
半导体厂务安全总论
半导体制造环境特殊性 · 安全法规体系（OSHA/GB） · 厂务安全管理架构
半导体厂务安全总…半导体制造环境特…
02
洁净室分级与标准
ISO 14644洁净度等级 · FS209E标准 · 洁净室气流组织与压差控制
洁净室分级标准
03
洁净室安全准入规范
人员进出流程 · 更衣/风淋/气闸要求 · 洁净室行为规范与纪律
洁净室安全准入规…人员进出流程
04
化学品安全（一）
常用半导体化学品（酸/碱/溶剂）特性 · MSDS解读 · 储存与二次容器要求
化学品安全常用半导体化学品
05
化学品安全（二）
化学品输送系统（CDS）安全 · 泄漏应急处理（ERP） · 洗眼器/安全淋浴规范
化学品安全CDS
06
特殊气体安全
毒性/易燃/腐蚀性气体识别 · 气瓶柜（GC）安全操作 · 气体监测系统（GMS）报警响应
特殊气体安全毒性
07
电气安全基础
厂务供电系统架构（UPS/PDU/R… · 触电防护 · 锁定挂牌（LOTO）程序
电气安全基础UPS/PDU/R
08
防静电（ESD）控制
ESD原理 · 洁净室防静电材料 · 接地腕带/防静电鞋/防静电地板测试
ESD防静电
09
辐射与激光安全
激光等级分类 · 光刻机/刻蚀机辐射防护 · 激光联锁与护目镜要求
辐射激光安全
10
机械与搬运安全
自动物料搬运系统（AMHS）安全 · 机器人协作区 · 起重/叉车操作规范
机械搬运安全
11
消防安全与应急疏散
洁净室消防分区 · FM200/Novec 1230灭火… · 紧急疏散路线与集合点
消防安全应急疏散
12
个人防护装备（PPE）
洁净室PPE选型（无尘服/手套/口罩… · 穿戴顺序与检查清单
PPE个人防护装备
13
设备接地基础理论
接地目的（人身安全/设备保护/信号参… · 接地电阻概念 · TN/TT/IT系统
设备接地基础理论接地目的
14
洁净室设备接地类型
工作接地 · 保护接地 · 防静电接地
洁净室设备接地类…工作接地
15
接地电阻测量方法
三极法/四极法/钳形表法 · 测量仪器使用 · 数据记录与判定标准
接地电阻测量方法三极法
16
等电位连接与接地网格
洁净室等电位网格设计 · 接地铜排/接地线规格 · 连接点工艺要求
等电位连接接地网格
17
设备接地调试流程（一）
调试前安全检查 · 设备断电确认 · 接地连续性测试
设备接地调试流程调试前安全检查
18
设备接地调试流程（二）
接地电阻测试 · 接地回路阻抗测试 · 接地系统验收标准
设备接地调试流程接地电阻测试
19
静电消除器（Ionizer）调试
离子风机/离子棒安装 · 平衡电压测试 · 衰减时间测试与校准
Ionizer静电消除器
20
工艺设备接地案例（光刻机）
光刻机接地要求 · 减振台接地 · 激光系统接地
工艺设备接地案例光刻机
21
工艺设备接地案例（刻蚀机）
射频（RF）接地 · 腔体接地 · 冷却水系统接地
工艺设备接地案例刻蚀机
22
工艺设备接地案例（薄膜沉积）
加热器接地 · 真空泵接地 · 气体管路接地
工艺设备接地案例薄膜沉积
23
工艺设备接地案例（湿法清洗）
酸槽接地 · 机械臂接地 · 排风系统接地
工艺设备接地案例湿法清洗
24
测试设备接地案例
探针台接地 · 电子显微镜接地 · 膜厚仪接地
测试设备接地案例探针台接地
25
接地系统常见故障排查
接地回路（Ground Loop）问… · 接地电阻超标 · 接地线腐蚀/松动
接地系统常见故障…Ground
26
接地系统维护与巡检
定期巡检计划 · 接地电阻周期性测试 · 接地线外观检查
接地系统维护巡检
27
厂务监控系统（FMCS）与接地
FMCS架构 · 传感器接地 · PLC/DCS接地
FMCS厂务监控系统
28
洁净室照明与插座接地
防爆照明接地 · 洁净室插座接地要求 · 漏电保护器（RCD）配置
洁净室照明插座接地
29
应急电源与接地
UPS接地 · 柴油发电机接地 · 应急照明接地
应急电源接地
30
课程总结与考核
安全规范与接地调试核心要点回顾 · 常见错误分析 · 实操考核要点与认证
课程总结考核