VIP20
本课程属于：014-洁净室工程实施 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

洁净管道施工泄漏率控制与安装调试验证工程实践

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
洁净管道工程概述
洁净管道定义 · 应用领域（半导体 · 制药
洁净管道工程概述洁净管道定义
02
泄漏率控制基础
泄漏率定义 · 单位（sccm · Pa·m³/s）
泄漏率控制基础泄漏率定义
03
管道材料与表面处理
316L EP/BA管材 · 电抛光（EP）与光亮退火（BA）区别 · 表面粗糙度（Ra）要求
管道材料表面处理
04
管件与阀门选型
隔膜阀 · 球阀 · 止回阀
管件阀门选型
05
轨道自动焊接技术
轨道焊原理 · 焊接参数（电流 · 电压
轨道自动焊接技术轨道焊原理
06
手工焊接与钎焊
手工TIG焊接技巧 · 钎焊工艺 · 焊接缺陷（气孔
手工焊接钎焊
07
管道切割与坡口加工
机械切割 · 等离子切割 · 坡口角度要求
管道切割坡口加工
08
管道清洗与脱脂
化学清洗 · 超声波清洗 · 脱脂剂选择
管道清洗脱脂
09
管道安装规范
支架间距 · 坡度要求 · 应力消除
管道安装规范支架间距
10
泄漏检测方法概述
压力衰减法 · 氦气检漏 · 真空检漏
泄漏检测方法概述压力衰减法
11
压力衰减测试
测试原理 · 保压时间 · 温度补偿
压力衰减测试测试原理
12
氦气检漏技术
氦质谱检漏仪原理 · 吸枪法 · 喷氦法
氦气检漏技术氦质谱检漏仪原理
13
真空保压测试
真空度维持 · 抽速计算 · 本底泄漏率
真空保压测试真空度维持
14
泄漏率计算与数据分析
泄漏率公式推导 · 单位换算 · 数据记录模板
泄漏率计算数据分析
15
泄漏点定位与修复
肥皂水法 · 氦气定位 · 超声波定位
泄漏点定位修复
16
管道吹扫与干燥
氮气吹扫 · 露点要求 · 颗粒物检测
管道吹扫干燥
17
系统压力试验
水压试验 · 气压试验 · 试验压力计算
系统压力试验水压试验
18
安装调试验证流程
FAT（工厂验收测试） · SAT（现场验收测试） · IQ（安装确认）
安装调试验证流程FAT
19
IQ安装确认
文件检查 · 材料核对 · 安装尺寸测量
IQ安装确认
20
OQ运行确认
功能测试 · 报警测试 · 联锁测试
OQ运行确认
21
PQ性能确认
工艺模拟 · 长期稳定性测试 · 最差工况验证
PQ性能确认
22
焊接质量验证
焊缝外观检查 · 内窥镜检查 · 金相分析
焊接质量验证焊缝外观检查
23
颗粒物与微生物控制
颗粒计数器使用 · 微生物取样 · 生物膜预防
颗粒物微生物控制
24
洁净管道系统完整性管理
风险评估 · 关键控制点（CCP） · 变更管理（MOC）
洁净管道系统完整…风险评估
25
常见泄漏故障案例分析
VCR接头泄漏 · 隔膜阀膜片破损 · 焊接气孔
常见泄漏故障案例…VCR
26
泄漏率控制SOP编制
操作步骤 · 检查清单 · 记录表格
SOP泄漏率控制
27
检漏仪器校准与维护
氦检漏仪校准周期 · 标准漏孔使用 · 传感器清洁
检漏仪器校准维护
28
洁净管道施工安全规范
气体安全（惰性气体窒息） · 高压试验安全 · 化学品安全（脱脂剂）
洁净管道施工安全…气体安全
29
行业标准与法规解读
SEMI F1 · ASME BPE · ISO 14644
行业标准法规解读
30
课程总结与综合考核
知识体系回顾 · 模拟泄漏排查演练 · 综合测试题
课程总结综合考核