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半导体工艺与制造设备
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004-SECSGEM协议核心工程实践
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《SECSGEM设备连接建立与通信握手调试实战》
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SECSGEM设备连接建立与通信握手调试实战
共计 30 章节
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01
SECS/GEM协议概述
协议起源 · 在半导体制造中的作用 · HSMS与RS232对比
SECS/GEM
协议概述
02
物理层与传输层基础
TCP/IP网络配置 · 端口号约定(5000/5001) · 网络拓扑结构
物理层
传输层基础
03
HSMS消息格式详解
Message Header(10字… · Session ID · Message ID
HSMS
消息格式详解
04
连接建立状态机
HSMS连接状态(NOT CONNE… · 状态转换条件
连接建立状态机
HSMS
05
Select/Req与Select/Rsp握手
Select.primitive消息… · Select.rsp的COMMACK…
Select/Req
Select/Rsp
06
Linktest机制
Linktest.req与Linkt… · 心跳超时设置(T3/T5/T6/T8…
Linktest
机制
07
分离连接流程
Deselect.req与Desel… · Separate.req的发送时机
分离连接流程
Deselect.req
08
SECS-I消息封装
Block与Message概念 · Block Number · End Bit标志位
SECS-I
消息封装
09
SML(SECS Message Language)基础
SML语法 · Item类型(L/U/A/B等) · 数据格式
SML
SECS
10
S1F1与S1F2(Are You There)
建立通信的首次握手 · 设备ID验证 · MDLN与SOFTREV解析
S1F1
S1F2
11
S1F3与S1F4(Selected Equipment ID)
查询设备标识 · SVID(Status Variab…
S1F3
S1F4
12
S1F13与S1F14(Establish Communications Req
完整通信建立流程 · COMMACK值含义
S1F13
S1F14
13
S1F17与S1F18(Date & Time Request)
时间同步机制 · 时间格式(YYYYMMDDHHMMS…
S1F17
S1F18
14
S2F13与S2F14(Equipment Constant Request)
EC(Equipment Const…
S2F13
S2F14
15
S2F17与S2F18(Date & Time Set)
主机设置设备时间 · T3超时处理
S2F17
S2F18
16
S2F33与S2F34(Data Variable Request)
DV(Data Variable)的…
S2F33
S2F34
17
S5F1与S5F2(Alarm Report)
告警上报机制 · ALID(Alarm ID)与ALC…
S5F1
S5F2
18
S6F11与S6F12(Event Report)
事件上报 · CEID(Collection Ev… · RPTID(Report ID)
S6F11
S6F12
19
S7F1与S7F2(Process Program Load)
PPID(Process Progr…
S7F1
S7F2
20
S9F1与S9F2(Unrecognized Device ID)
错误处理机制 · 消息拒绝码
S9F1
S9F2
21
S10F1与S10F2(Terminal Display)
终端显示消息 · TID(Terminal ID)与文…
S10F1
S10F2
22
调试工具介绍
SECS/GEM模拟器(如SECSC… · GEM300Sim) · Wireshark抓包过滤规则
调试工具介绍
SECS/GEM
23
Wireshark分析HSMS报文
过滤表达式(tcp.port==50… · 解析Header与Data
Wireshark
HSMS
24
常见连接失败原因分析
IP/Port配置错误 · 防火墙拦截 · T3超时
常见连接失败原因…
IP/Port
25
日志分析与调试技巧
启用详细日志 · 时间戳对齐 · 重传机制观察
日志分析
调试技巧
26
T3/T5/T6/T8超时参数调优
各超时含义 · 推荐值范围 · 对通信稳定性的影响
T3/T5/T6/T8
超时参数调优
27
多Session管理
Session ID分配策略 · 多设备连接场景下的端口复用
Session
管理
28
安全与加密考虑
TLS/SSL在HSMS上的应用 · 证书验证 · 端口变更
安全
加密考虑
29
实战案例一
从零搭建HSMS连接(模拟器对连)
实战案例一
HSMS
30
实战案例二
抓包分析一次完整的通信建立与数据交换…
实战案例二
抓包分析一次完整…
所属VIP或分类
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