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SECSGEM产线集成案例：从单机连接到整线联调

共计 30 章节
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01
SECS/GEM概述
半导体工厂自动化的发展历程 · SECS/GEM协议族（SECS-I · SECS-II
SECS/GEM半导体工厂自动化…
02
SECS-I协议详解
RS-232物理层 · 块传输协议 · 消息格式（Block/Message…
SECS-I协议详解
03
HSMS协议详解
TCP/IP传输层 · 会话建立与断开 · 连接模式（主动/被动）
HSMS协议详解
04
SECS-II消息结构
Stream与Function的概念 · Message分类（Primary/… · Item数据类型（List
SECS-II消息结构
05
GEM核心状态机
通信状态（DISABLED/ENAB… · 控制状态（OFFLINE/EQ_OF… · 处理状态（IDLE/SETUP/RE…
GEM核心状态机
06
GEM常用场景S1F1~S1F13
Are You There (S1F… · Establish Communic… · Remote Command (S2…
GEMS1F1
07
GEM设备常量与变量
EC (Equipment Cons… · SV (Status Variabl… · DV (Data Variables…
GEM设备常量
08
GEM报表与追踪
Report (S2F33/F34) · Trace (S6F1/F2) · 多Report订阅与触发条件配置
GEM报表
09
GEM报警管理
Alarm (S5F1/F2/F3/… · 报警等级 · 报警清除与确认流程
GEM报警管理
10
GEM配方管理
Recipe (S7F1~F19) · 配方上传/下载/删除 · 配方ID与版本控制
GEM配方管理
11
GEM物料管理
Material Managemen… · 载具ID读取 · 晶圆映射（Wafer Map）与批次…
GEM物料管理
12
GEM事件通知
Event (S6F11/F12) · 事件ID · 事件报告链接
GEM事件通知
13
GEM远程控制
Remote Command (S2… · 命令参数传递 · 命令执行状态反馈
GEM远程控制
14
GEM时钟同步
Time Set (S2F17/F1… · 时间格式（UTC/Local） · 时钟同步策略
GEM时钟同步
15
GEM数据收集计划
Data Collection Pl… · S2F33配置 · S6F15/F16数据收集
GEM数据收集计划
16
单机连接环境搭建
模拟器选择（如SECS Simula… · CIMplicity） · 虚拟串口/TCP配置
单机连接环境搭建SECS
17
单机连接实战（一）
使用Python PySECS库实现… · S1F13建立通信 · S1F1心跳检测
单机连接实战Python
18
单机连接实战（二）
实现S2F17时钟同步 · S5F1报警上报 · S6F11事件通知
单机连接实战S2F17
19
单机连接实战（三）
实现S7F3配方上传 · S7F5配方下载 · S7F19配方删除
单机连接实战S7F3
20
单机连接实战（四）
实现S2F41远程命令（Start/… · 命令参数解析与状态反馈
单机连接实战S2F41
21
单机连接实战（五）
实现S6F15数据收集 · S2F33报表配置 · 多变量实时上报
单机连接实战S6F15
22
单机连接测试与调试
使用Wireshark抓包分析HSM… · 常见错误码（S9Fxx）排查 · 日志与断点调试
单机连接测试调试
23
整线联调概念
MES/EAP与多设备通信架构 · 设备集群管理 · 通信负载与并发控制
整线联调概念MES/EAP
24
整线联调环境搭建
多模拟器部署 · Host端多连接管理 · 消息路由与分发策略
整线联调环境搭建多模拟器部署
25
整线联调实战（一）
多设备同时建立通信 · 统一时钟同步 · 全局报警监控
整线联调实战多设备同时建立通…
26
整线联调实战（二）
跨设备配方同步 · 物料批次追踪 · 晶圆映射合并
整线联调实战跨设备配方同步
27
整线联调实战（三）
多设备数据收集计划协同 · 报表聚合与可视化
整线联调实战多设备数据收集计…
28
整线联调实战（四）
远程命令批量下发 · 设备状态联动控制（如全线Stop/R…
整线联调实战远程命令批量下发
29
整线联调测试与优化
压力测试 · 消息队列缓冲 · 超时重试策略
整线联调测试优化
30
课程总结与展望
SECS/GEM与SEMI E系列标… · 与OPC UA/EDA集成 · 未来智能工厂中的角色
课程总结SECS/GEM