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本课程属于：004-SECSGEM协议核心工程实践 半导体工艺与制造设备 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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SECSGEM协议工程实践：从入门到产线部署

共计 30 章节
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01
半导体制造与自动化概述
半导体晶圆厂架构 · MES与EAP的关系 · 设备自动化标准体系(SECS/GEM…
半导体制造自动化概述
02
SECS/GEM协议基础概念
HSMS与SECS-I的区别 · 消息类型(Primary/Secon… · 事务(Transaction)与消息…
SECS/GEM协议基础概念
03
SECS-II消息结构详解
Stream与Function的概念 · Item数据类型(L/B/A/Lis… · 消息格式与编码规则
SECS-II消息结构详解
04
HSMS通信协议
TCP/IP连接建立 · 会话建立与断开 · HSMS状态机(Not Connec…
HSMS通信协议
05
GEM标准模型
GEM状态模型(Init/Idle/… · 控制模型(Remote/Local) · 设备常量与变量
GEM标准模型
06
S1F1与S1F2
Are You There与On-L… · 设备在线状态确认
S1F1S1F2
07
S1F3与S1F4
设备标识请求与响应 · MDLN与SOFTREV等参数解析
S1F3S1F4
08
S1F13与S1F14
建立通信请求与确认 · 通信状态初始化流程
S1F13S1F14
09
S1F17与S1F18
请求设备在线/离线状态切换 · 控制状态变更流程
S1F17S1F18
10
S2F13与S2F14
设备常量(Equipment Con… · EC定义与范围
S2F13S2F14
11
S2F17与S2F18
日期时间请求与设置 · 时间同步机制
S2F17S2F18
12
S2F23与S2F24
Trace(追踪)数据采集的启动与停… · Trace参数配置
S2F23S2F24
13
S2F33与S2F34
定义报告(Report)与数据变量(… · 报告链路配置
S2F33S2F34
14
S2F35与S2F36
定义事件(Event)与事件报告链路 · 事件触发机制
S2F35S2F36
15
S2F37与S2F38
启用/禁用事件报告 · 事件报告使能控制
S2F37S2F38
16
S2F41与S2F42
远程命令(Remote Comman… · 命令参数传递
S2F41S2F42
17
S5F1与S5F2
报警(Alarm)的发送与确认 · 报警ID与严重级别
S5F1S5F2
18
S6F1与S6F2
事件报告(Event Report)… · 数据上报流程
S6F1S6F2
19
S6F3与S6F4
Trace数据发送与确认 · 周期性数据采集上报
S6F3S6F4
20
S7F1与S7F2
Process Program(配方… · PPID与PP Body格式
S7F1S7F2
21
S7F3与S7F4
Process Program的上传… · 配方数据完整性校验
S7F3S7F4
22
S7F5与S7F6
Process Program的删除… · 配方管理生命周期
S7F5S7F6
23
S9F1至S9F12
错误消息处理机制 · 消息格式错误与通信异常处理
S9F1S9F12
24
S10F1至S10F6
终端服务(Terminal Serv… · 操作员消息显示与输入
S10F1S10F6
25
GEM300与300mm标准
FOUP管理 · Load Port控制 · 晶圆级追踪与映射
GEM300mm
26
SECS/GEM开发环境搭建
开源库(如SECSGem.NET · PySECS)介绍 · 模拟器使用(如SECS Simula…
SECS/GEM开发环境搭建
27
SECS/GEM通信编程实战
使用Python实现HSMS连接 · 发送S1F13建立通信 · 接收S1F14响应
SECS/GEM通信编程实战
28
SECS/GEM产线集成测试
EAP与设备联调 · 消息日志分析 · 常见问题排查(超时/序列号错乱/状态…
SECS/GEM产线集成测试
29
SECS/GEM性能优化与安全
消息队列管理 · 多线程处理 · TLS加密通信
SECS/GEM性能优化
30
SECS/GEM项目部署与运维
产线部署流程 · 版本管理 · 监控告警
SECS/GEM项目部署