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光学光电与激光工程
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022-EAP设备自动化与制造系统集成
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《SECSGEM设备通信与EAP系统集成实战》
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本课程属于:022-EAP设备自动化与制造系统集成
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SECS/GEM设备通信与EAP系统集成实战
共计 30 章节
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01
课程导入与全景认知
目标=SECS/GEM在半导体制造中… · EAP系统核心职责 · 课程实战目标与学习路径
课程导入
全景认知
02
SEMI标准体系速览
目标=SEMI E4/E5/E30/… · 适用场景与设备通信边界
SEMI
标准体系速览
03
SECS-II消息结构精讲
目标=消息头 · 系统字节 · 流与功能码
SECS-II
消息结构精讲
04
SECS-II数据项类型实战
目标=L · A · B
SECS-II
数据项类型实战
05
HSMS-SS连接建立全流程
目标=TCP/IP连接 · Select.req/Select.… · Deselect
HSMS-SS
连接建立全流程
06
HSMS-SS报文交互实战
目标=数据报文 · 控制报文 · 事务ID管理
HSMS-SS
报文交互实战
07
SECS-I串口通信基础
目标=RS-232物理层 · 块传输 · 握手
SECS-I
串口通信基础
08
GEM状态模型详解
目标=通信状态 · 控制状态 · 设备状态
GEM
状态模型详解
09
GEM设备控制与事件报告
目标=Control State切换 · 事件注册 · 报告定义
GEM
设备控制
10
GEM报警管理实战
目标=ALARM上报 · 报警ID · 报警使能/禁止
GEM
报警管理实战
11
GEM数据采集与变量管理
目标=SVID · DVID · ECID
GEM
数据采集
12
GEM远程命令与配方管理
目标=RCMD · PPID · 配方上传/下载
GEM
远程命令
13
GEM过程程序与设备常量
目标=PPID选择 · 过程程序状态 · 设备常量读写与安全权限控制
GEM
过程程序
14
EAP系统架构设计
目标=设备接入层 · 协议解析层 · 业务逻辑层
EAP
系统架构设计
15
EAP与MES集成实战
目标=工单下发 · 批次绑定 · 设备状态同步
EAP
MES
16
设备模型与配置管理
目标=设备类型定义 · 状态机配置 · 事件/报警/变量映射表与配置版本管理
设备模型
配置管理
17
SECS/GEM通信日志与抓包分析
目标=日志分级 · 报文解析 · 常见错误码定位与通信问题排查方法
SECS/GEM
通信日志
18
通信异常诊断与恢复
目标=连接断开 · 事务超时 · 消息乱序
通信异常诊断
恢复
19
EAP高可用与性能优化
目标=连接池 · 消息队列 · 异步处理
EAP
高可用
20
设备仿真与测试环境搭建
目标=SECS/GEM仿真器选型 · 模拟设备行为 · 自动化测试脚本与回归测试
设备仿真
测试环境搭建
21
EAP与设备联调实战
目标=从零建立通信 · 状态同步 · 事件订阅
EAP
设备联调实战
22
生产场景实战
目标=上料 · 加工 · 下料
生产场景实战
目标=上料
23
EAP数据采集与SPC集成
目标=实时数据流 · 采样策略 · 数据清洗
EAP
SPC
24
EAP与RMS集成实战
目标=配方版本管理 · 配方审批 · 配方下发
EAP
RMS
25
EAP与AMHS集成基础
目标=物料搬运请求 · 设备状态联动 · 传输超时与异常处理
EAP
AMHS
26
SECS/GEM安全与权限
目标=设备访问控制 · 操作权限 · 审计日志
SECS/GEM
安全
27
EAP系统部署与运维
目标=容器化部署 · 配置管理 · 监控告警
EAP
系统部署
28
典型设备集成案例
目标=刻蚀机 · 薄膜设备 · 清洗机
典型设备集成案例
目标=刻蚀机
29
项目实战
目标=从需求到交付的EAP集成项目全… · 方案设计 · 开发
项目实战
EAP
30
前沿与扩展
目标=SECS/GEM在智能制造 · 工业物联网 · AI预测维护中的应用趋势与学习资源推…
前沿
扩展
所属VIP或分类
同VIP:EAP与AMHS自动物料搬运系统协同控制工程
同VIP:EAP与APC先进过程控制系统集成实战
同VIP:EAP与FDC设备数据采集及故障监控工程