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本课程属于：022-EAP设备自动化与制造系统集成 光学光电与激光工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。
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GEM300与300mm晶圆厂设备自动化工程

共计 30 章节
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01
课程导入与全景认知
目标=300mm晶圆厂自动化体系 · GEM300标准族定位 · 设备自动化工程师角色与技能地图
课程导入全景认知
02
SEMI标准体系与GEM300概览
目标=SEMI E4/E5/E30/… · 通信架构与合规边界
SEMIGEM300
03
SECS-II消息结构精讲
目标=消息头 · 流与功能 · 数据项格式
SECS-II消息结构精讲
04
HSMS与TCP/IP通信实战
目标=HSMS-SS/HSMS-GS… · Select/Deselect · 心跳
HSMSTCP/IP
05
GEM状态模型与设备行为
目标=通信状态 · 控制状态 · 设备状态
GEM状态模型
06
GEM数据采集与事件报告
目标=SVID · CEID · RPTID
GEM数据采集
07
GEM报警管理
目标=ALID定义 · 报警设置/清除 · 报警报告
GEM报警管理
08
GEM远程命令与设备控制
目标=RCMD · 命令参数 · 响应处理
GEM远程命令
09
GEM配方管理
目标=PPID · 配方体 · 配方上传/下载
GEM配方管理
10
GEM300对象服务基础
目标=E39对象服务模型 · 对象类型 · 对象实例
GEM300对象服务基础
11
E39对象服务消息实战
目标=Object Services… · 对象创建/删除/查询 · 属性读写与错误码处理
E39对象服务消息实战
12
E40工艺作业管理
目标=Process Job创建 · 状态模型 · 命令
E40工艺作业管理
13
E40控制作业管理
目标=Control Job创建 · 状态模型 · 命令
E40控制作业管理
14
E87载具管理
目标=载具ID · 载具类型 · 载具状态
E87载具管理
15
E90子系统与E94控制状态
目标=子系统对象 · 控制状态模型 · 主机对子系统的控制与状态同步
E90E94
16
E116设备性能追踪
目标=设备性能指标 · 数据采集 · OEE相关计算与主机侧监控看板
E116设备性能追踪
17
300mm载具与FOUP/POD管理
目标=FOUP结构 · 载具门 · 载具槽位
mmFOUP/POD
18
Load Port与设备接口
目标=Load Port类型 · 载具放置/移除 · 门开闭
LoadPort
19
设备前端模块自动化
目标=EFEM机器人 · 对准器 · Load Lock
设备前端模块自动…EFEM
20
AMHS与OHT交互基础
目标=自动物料搬运系统 · OHT对接 · 载具交接
AMHSOHT
21
GEM300主机侧EAP架构
目标=EAP功能模块 · 设备驱动 · 消息路由
GEM300EAP
22
设备模型与配置管理
目标=设备类型定义 · 状态机配置 · 事件/报警/数据项配置
设备模型配置管理
23
通信日志与故障排查
目标=SECS/HSMS日志分析 · 常见通信故障 · 超时
通信日志故障排查
24
设备自动化测试与仿真
目标=SECS/GEM仿真器 · 测试用例设计 · 回归测试
设备自动化测试仿真
25
GEM300合规性验证
目标=SEMI标准符合性检查 · E39/E40/E87/E90/E9…
GEM300合规性验证
26
晶圆厂设备集成项目实战
目标=需求分析 · 设备选型 · 接口定义
晶圆厂设备集成项…目标=需求分析
27
异常场景与容错设计
目标=设备宕机 · 网络中断 · 载具异常
异常场景容错设计
28
数据安全与访问控制
目标=设备通信安全 · 用户权限 · 审计追踪
数据安全访问控制
29
性能优化与规模化运维
目标=消息吞吐优化 · 连接池 · 数据压缩
性能优化规模化运维
30
课程综合项目与答辩
目标=完成一个GEM300设备自动化… · 包含架构设计 · 接口实现
课程综合项目答辩