3. 设备自动派工的业务规则建模

设备自动派工不是“把 Lot 丢给空闲机台”这么简单。真正决定派工结果是否可执行的,是一组彼此耦合的业务规则:谁先派、派到哪台、能不能派、派过去之后批次怎么处理。规则建模的目标,是把这些约束从工程师的经验判断,转化为系统可计算、可解释、可追溯的结构化表达。本节围绕派工优先级、设备可用性、Recipe 约束、PM 与 QC 拦截、WIP 状态与批次合并拆分五类规则展开,并给出可落地的建模方式。

一、规则建模的整体结构

建议把派工决策拆成“候选生成—约束过滤—优先级排序—批次处理”四层。候选生成负责找出当前可加工的 Lot 与机台组合;约束过滤用硬规则剔除不可行组合;优先级排序在可行组合中选出最优;批次处理决定是否合并或拆分。下图展示了这四层与五类规则之间的对应关系。

设备自动派工规则分层模型 ① 候选生成 WIP 状态筛选 设备可用性初筛 ② 约束过滤 Recipe 约束 PM / QC 拦截 ③ 优先级排序 派工优先级权重 机台负载均衡 ④ 批次处理 合并 / 拆分 生成派工指令 设备可用性判定 • 设备状态 = RUN / IDLE • 无 Down / Eng 占用 • 当前无在制 Lot 或允许并行 • 机台能力匹配工序 Recipe 约束 • Recipe ID 与产品版本一致 • 机台已授权该 Recipe • 参数窗口在允许范围 • 换 Recipe 需满足切换条件 PM 与 QC 拦截 • PM 到期 / 超期 → 禁止派工 • PM 剩余量低于阈值 → 降权 • QC 抽检未放行 → 批次 Hold • QC 异常标记 → 转人工确认 派工优先级评分(示例) Score = W1·交期紧迫度 + W2·WIP 等待时长     + W3·机台匹配度 − W4·换线成本 W1=0.4, W2=0.3, W3=0.2, W4=0.1(示例权重) 批次合并 / 拆分规则 合并:同产品、同 Recipe、同工序、同交期窗口 拆分:超机台容量、混批风险、QC 隔离需求 合并后 Lot ID 继承主批次,子批次记录来源

二、派工优先级:从“先到先做”到“加权评分”

优先级规则决定同一时刻多个 Lot 竞争同一机台时谁先派。常见做法是加权评分,而不是单一维度排序。以某 8 英寸晶圆厂为例,评分公式可写为:

Score = 0.4 × 交期紧迫度
      + 0.3 × WIP 等待时长归一值
      + 0.2 × 机台匹配度
      − 0.1 × 换线成本

交期紧迫度 = 1 − (剩余可用时间 / 标准周期)
WIP 等待时长归一值 = 当前等待时长 / 最大允许等待时长
机台匹配度 = 该机台历史良率 / 同工序最高良率
换线成本 = 需要更换 Recipe 时取 1,否则取 0

示例:Lot A 剩余可用时间 6h、标准周期 24h,等待 4h、最大允许 12h,机台良率 98%、最高 99%,需换 Recipe。则 Score = 0.4×0.75 + 0.3×0.33 + 0.2×0.99 − 0.1×1 = 0.30 + 0.10 + 0.20 − 0.10 = 0.50。Lot B 不需换线、其余相近,Score 约 0.60,则 B 优先。权重需按工厂目标调整,并保留可解释的评分明细,便于工程师复盘。

三、设备可用性与 Recipe 约束

设备可用性是硬门槛,通常用状态机表达:设备处于 RUN、IDLE、DOWN、PM、ENG 五种状态之一,只有 IDLE 且无工程占用时才进入候选。Recipe 约束则更细:同一机台可能授权多个 Recipe,但切换需要满足温度稳定、气体置换、首片验证等条件。建模时应把“机台—Recipe 授权关系”和“Recipe 切换代价”分开存储,前者是布尔约束,后者是排序时的成本项。

建议把设备可用性判断写成可配置的规则表,而不是硬编码在派工逻辑中。例如:EQP_STATE in ('IDLE') AND ENG_FLAG = 'N' AND PM_REMAIN > 0,这样新增状态或调整阈值时无需改代码。

四、PM 与 QC 拦截

PM(预防性维护)和 QC(质量控制)是两类典型的“拦截型”规则。PM 拦截通常分两级:PM 已到期或超期,直接禁止派工;PM 剩余量低于阈值(如剩余 5% 寿命),允许派工但降低优先级。QC 拦截则与批次绑定:QC 抽检未放行的 Lot 必须 Hold,不能进入候选;QC 异常标记的 Lot 应转人工确认,而不是自动派工。

拦截规则需要与派工结果联动记录。每次派工被拦截时,系统应输出拦截原因码,例如 PM_EXPIRED、QC_HOLD、RECIPE_UNAUTHORIZED,便于后续统计拦截分布,判断是设备维护问题还是质量放行问题。

五、WIP 状态与批次合并拆分

WIP 状态决定 Lot 是否具备派工资格。常见状态包括:Waiting(等待派工)、In-Process(加工中)、Hold(暂停)、Split(已拆分)、Merged(已合并)。只有 Waiting 且未被 Hold 的 Lot 才进入候选。批次合并与拆分是派工前的最后一步处理,规则如下:

  • 合并条件:同产品、同 Recipe、同工序、同交期窗口,且合并后总片数不超过机台容量。
  • 拆分条件:单批超过机台容量、混批风险(不同产品混入)、QC 要求隔离部分晶圆。
  • 标识继承:合并后以主批次 Lot ID 为准,子批次记录来源;拆分后生成子 Lot ID,并保留父批次追溯关系。

示例:Lot A 有 12 片、Lot B 有 10 片,同产品同 Recipe,机台容量 25 片,交期窗口一致,则可合并为 22 片一批派工。若 Lot C 有 30 片,超过容量,则拆分为 25 片 + 5 片两批,分别派工。拆分和合并都必须写入 MES 事件日志,保证追溯链完整。

合并拆分规则不能只看片数。若两个 Lot 的 QC 状态不同(一个已放行、一个待检),即使产品相同也不能合并,否则会把待检风险扩散到已放行批次。

六、规则建模的落地建议

把上述规则结构化,推荐采用“规则表 + 决策表”的方式:规则表存储每条规则的适用对象、条件表达式、动作和优先级;决策表把多个条件组合映射到派工结果。这样既能被派工引擎直接读取,也能被工程师用表格审查。每次派工输出应包含:候选 Lot 列表、过滤掉的组合及原因、最终评分、合并拆分动作,形成完整的决策快照。只有规则可解释、结果可追溯,自动派工才能真正替代人工判断,并在异常时快速定位是优先级设置不合理,还是 PM/QC 拦截过严。