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本课程属于：022-EAP设备自动化与制造系统集成 光学光电与激光工程 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。

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晶圆厂EAP设备自动化系统开发与项目交付实战

共计 30 章节

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晶圆厂自动化全景与EAP定位

目标=300mm晶圆厂自动化层级 · EAP在MES/AMHS/APC之间… · 设备自动化核心价值与典型KPI

EAP晶圆厂自动化全景

EAP系统架构与核心组件

目标=EAP主机 · 设备驱动 · 通信中间件

EAP系统架构

SEMI标准体系速览

目标=SEMI E4/E5/E30/…

SEMI标准体系速览

SECS/GEM通信协议实战

目标=SECS-II消息结构 · HSMS连接建立 · S1F1/S1F2

SECS/GEM通信协议实战

设备状态模型与E10/E58

目标=设备状态定义 · 状态转换图 · E10状态与E58状态的区别

E10/E58设备状态模型

配方管理（E30/E40/E87）

目标=配方上传 · 下载 · 校验

E30/E40/E87配方管理

物料追踪与载具管理

目标=FOUP/Lot/Wafer层… · E87载具管理 · RFID读取

物料追踪载具管理

报警管理与E41/E42

目标=报警定义 · 报警上报 · 报警确认

E41/E42报警管理

远程命令与设备控制

目标=E30远程命令 · E40命令执行 · E39对象服务

远程命令设备控制

数据采集与E5/E37

目标=事件数据采集 · 跟踪数据采集 · E37端口服务

E5/E37数据采集

EAP与MES集成实战

目标=MES接口设计 · 工单下发 · 物料绑定

EAP与AMHS/RGV集成

目标=AMHS通信接口 · 搬运任务触发 · Load Port与AGV/OHV交…

EAP与APC/R2R集成

目标=APC数据接口 · 模型参数下发 · 反馈数据采集

设备驱动开发与适配

目标=不同设备厂商（AMAT · TEL · ASML

设备驱动开发适配

EAP高可用与容错设计

目标=冗余架构 · 心跳检测 · 断线重连

EAP性能与实时性优化

目标=消息吞吐量 · 延迟预算 · 线程模型

EAP安全与权限管理

目标=设备访问控制 · 操作员权限 · 审计日志

EAP日志、追溯与报表

目标=日志分级 · 结构化日志 · 追溯数据模型

EAP测试策略与自动化测试

目标=单元测试 · 集成测试 · 设备模拟器测试

EAP测试策略

EAP部署与运维

目标=部署拓扑 · 容器化/虚拟机 · 配置管理

项目启动与需求分析

目标=晶圆厂EAP项目范围 · 干系人识别 · 需求收集

项目启动需求分析

EAP详细设计文档编写

目标=架构设计 · 接口设计 · 数据库设计

EAP详细设计文档编写

EAP开发迭代与代码管理

目标=敏捷开发 · 分支策略 · 代码规范

EAP开发迭代

设备联调与现场集成

目标=FAB现场准备 · 设备端配置 · 网络调试

设备联调现场集成

项目交付与验收测试

目标=交付物清单 · FAT/SAT测试 · 验收标准

项目交付验收测试

上线支持与Hypercare

目标=上线值守 · 问题分级 · 快速响应

Hypercare上线支持

EAP项目风险管理

目标=技术风险 · 进度风险 · 供应商风险

EAP项目风险管理

多厂区推广与标准化

目标=EAP产品化 · 配置化 · 多厂区部署

多厂区推广标准化

EAP与智能制造新技术

目标=AI/ML在设备预测维护中的应… · 大数据平台集成 · 数字孪生

EAP智能制造新技术

综合实战项目

目标=从需求到交付的完整EAP项目模… · 涵盖架构设计 · SECS/GEM开发

综合实战项目EAP