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半导体EAP设备自动化平台架构与工程实践

共计 30 章节
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01
半导体制造与EAP概述
目标=半导体工艺流程 · 设备自动化需求 · EAP定义与在CIM中的位置
EAP半导体制造
02
EAP核心功能与价值
目标=设备控制 · 数据采集 · 配方管理
EAP核心功能
03
SEMI标准体系入门
目标=SEMI E4/E5/E30/…
SEMI标准体系入门
04
设备通信协议与接口
目标=SECS/GEM · HSMS · TCP/IP
设备通信协议接口
05
EAP平台总体架构设计
目标=分层架构 · 微服务与单体权衡 · 高可用
EAP平台总体架构设计
06
设备模型与状态机
目标=设备状态定义 · 状态转换 · E10/E58状态模型
设备模型状态机
07
配方管理工程实践
目标=配方结构 · 版本控制 · 下发与校验
配方管理工程实践目标=配方结构
08
数据采集与实时处理
目标=采集频率 · 数据清洗 · 时序数据库
数据采集实时处理
09
报警与事件管理
目标=报警分类 · 去重 · 升级策略
报警事件管理
10
EAP与MES/ERP集成
目标=工单下发 · 物料追踪 · 批次管理
EAPMES/ERP
11
EAP与SPC/FDC集成
目标=统计过程控制 · 故障检测与分类 · 数据回传
EAPSPC/FDC
12
设备联机与调试实战
目标=新设备接入流程 · SECS/GEM仿真 · 通信日志分析
设备联机调试实战
13
EAP平台开发环境搭建
目标=技术栈选型 · 容器化 · CI/CD
EAP平台开发环境搭建
14
设备驱动与适配层设计
目标=驱动抽象 · 插件化 · 协议适配
设备驱动适配层设计
15
EAP核心服务开发
目标=设备管理服务 · 配方服务 · 数据服务
EAP核心服务开发
16
数据库设计与优化
目标=关系型与时序库选型 · 表结构设计 · 索引
数据库设计优化
17
消息中间件与事件驱动架构
目标=Kafka/RabbitMQ选… · 消息可靠性 · 顺序保证
消息间件
18
EAP平台安全设计
目标=网络安全 · 访问控制 · 数据加密
EAP平台安全设计
19
高可用与容灾设计
目标=集群 · 负载均衡 · 故障转移
高可用容灾设计
20
性能测试与调优
目标=吞吐量 · 延迟 · 并发设备数
性能测试调优
21
EAP与AMHS集成
目标=物料搬运系统交互 · 传输任务 · 优先级调度
EAPAMHS
22
EAP与RMS/R2R集成
目标=配方管理系统 · 运行到运行控制 · 先进过程控制接口
EAPRMS/R2R
23
EAP在先进制程中的挑战
目标=EUV · 原子层沉积 · 量测设备
EAP先进制程
24
EAP平台运维与监控
目标=日志采集 · 指标监控 · 告警配置
EAP平台运维
25
故障诊断与根因分析
目标=常见故障模式 · 日志分析 · 链路追踪
故障诊断根因分析
26
EAP项目工程管理
目标=需求分析 · 架构评审 · 迭代计划
EAP项目工程管理
27
EAP平台部署与上线
目标=环境规划 · 灰度发布 · 回滚策略
EAP平台部署
28
EAP与智能制造新技术
目标=AI/ML在设备预测维护 · 数字孪生 · 边缘计算
EAP智能制造新技术
29
EAP平台演进与标准化
目标=模块化 · 低代码 · 开放API
EAP平台演进
30
综合实战项目
目标=设计并实现一个多设备EAP原型 · 涵盖设备接入 · 配方下发
综合实战项目EAP