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《硅基光电子集成:硅光计算芯片版图设计常见问题与调试》
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硅基光电子集成:硅光计算芯片版图设计常见问题与调试
共计 30 章节
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01
硅光芯片版图设计概述与基本流程
硅光芯片版图设计概述与基本流程 · 核心概念 · 实践要点
硅光芯片版图设计…
基本流程
02
硅光工艺平台与设计套件(PDK)入门
硅光工艺平台与设计套件(PDK)入门 · 核心概念 · 实践要点
PDK
硅光工艺平台
03
波导结构设计与常见版图错误
波导结构设计与常见版图错误 · 核心概念 · 实践要点
波导结构设计
常见版图错误
04
边缘耦合器与光栅耦合器版图设计要点
边缘耦合器与光栅耦合器版图设计要点 · 核心概念 · 实践要点
边缘耦合器
光栅耦合器版图设…
05
MMI分束器版图设计及均匀性调试
MMI分束器版图设计及均匀性调试 · 核心概念 · 实践要点
MMI
分束器版图设计
06
马赫-曾德尔干涉仪(MZI)版图对称性问题
马赫-曾德尔干涉仪(MZI)版图对称性问… · 核心概念 · 实践要点
MZI
马赫
07
微环谐振器版图设计
半径 · 耦合间隙误差调试
微环谐振器版图设…
半径
08
电光调制器版图
PN结与电极布局技巧
电光调制器版图
PN
09
锗硅探测器版图
吸收区与接触孔优化
锗硅探测器版图
吸收区
10
热光相移器版图
加热器电阻一致性调试
热光相移器版图
加热器电阻一致性…
11
波导交叉与多模干涉区的串扰问题
波导交叉与多模干涉区的串扰问题 · 核心概念 · 实践要点
波导交叉
多模干涉区的串扰…
12
版图中的模斑转换器(taper)设计
版图中的模斑转换器(taper)设计 · 核心概念 · 实践要点
taper
版图
13
定向耦合器版图
耦合长度与间隙精确控制
定向耦合器版图
耦合长度
14
版图布线
波导弯曲半径最小化策略
版图布线
波导弯曲半径最小…
15
版图寄生效应
金属走线与波导间耦合
版图寄生效应
金属走线
16
光栅反射器(DBR)版图设计及周期误差调试
光栅反射器(DBR)版图设计及周期误差调… · 核心概念 · 实践要点
DBR
光栅反射器
17
版图密度与工艺平坦化(CMP)问题
版图密度与工艺平坦化(CMP)问题 · 核心概念 · 实践要点
CMP
版图密度
18
版图设计规则检查(DRC)常见违反及修复
版图设计规则检查(DRC)常见违反及修复 · 核心概念 · 实践要点
DRC
版图设计规则检查
19
版图与原理图一致性检查(LVS)调试
版图与原理图一致性检查(LVS)调试 · 核心概念 · 实践要点
LVS
版图
20
寄生参数提取
光学版图的电磁仿真验证
寄生参数提取
光学版图的电磁仿…
21
版图中热管理
热隔离与热串扰抑制
版图
热管理
22
波导光栅耦合器的版图优化与制造偏差
波导光栅耦合器的版图优化与制造偏差 · 核心概念 · 实践要点
波导光栅耦合器的…
制造偏差
23
版图自动化
Python脚本生成GDSII
版图自动化
Python
24
版图中的对准标记与套刻误差调试
版图中的对准标记与套刻误差调试 · 核心概念 · 实践要点
版图
对准标记
25
多项目晶圆(MPW)版图拼接与划片槽设计
多项目晶圆(MPW)版图拼接与划片槽设计 · 核心概念 · 实践要点
MPW
多项目晶圆
26
版图后仿
光学性能与工艺角分析
版图后仿
光学性能
27
特殊结构
消偏器 · 偏振旋转器版图设计
特殊结构
消偏器
28
光计算芯片的扇入扇出版图架构
光计算芯片的扇入扇出版图架构 · 核心概念 · 实践要点
光计算芯片的扇入…
重点
29
高速电光版图
射频电极与行波电极设计
高速电光版图
射频电极
30
调试实战
流片返回版图异常分析与修改
调试实战
流片返回版图异常…
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