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硅光晶圆级测试、参数提取与良率分析工程

共计 30 章节
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01
硅光晶圆级测试工程导论
目标=硅光技术演进与晶圆级测试的战略… · 测试流程全景图 · 良率分析在量产中的角色定位
硅光晶圆级测试工…目标=硅光技术演…
02
硅光晶圆级测试对象与接口标准
目标=光栅耦合器与边缘耦合器结构 · 光纤阵列对准要求 · 电学探针卡与光探针的协同接口规范
硅光晶圆级测试对…接口标准
03
晶圆级测试系统搭建与校准
目标=光源 · 功率计 · 光谱仪
晶圆级测试系统搭…校准
04
光栅耦合器测试方法与耦合效率提取
目标=垂直耦合对准策略 · 波长扫描与偏振扫描测试 · 耦合效率与带宽的分离提取算法
光栅耦合器测试方…耦合效率提取
05
边缘耦合器测试与模场匹配分析
目标=水平耦合对准 · 模场直径匹配 · 端面反射抑制
边缘耦合器测试模场匹配分析
06
硅光波导传输损耗的晶圆级提取
目标=截断法 · 回环法 · 光学频域反射计法在晶圆级测试中的实现…
硅光波导传输损耗…目标=截断法
07
硅光分束器与耦合器参数提取
目标=多端口分束器 · 定向耦合器 · 多模干涉耦合器的分光比
硅光分束器耦合器参数提取
08
微环谐振器晶圆级测试与参数提取
目标=谐振波长 · 自由光谱范围 · 品质因子
微环谐振器晶圆级…参数提取
09
马赫-曾德尔调制器晶圆级测试
目标=半波电压 · 消光比 · 插入损耗
马赫曾德尔调制器晶圆…
10
硅光光电探测器晶圆级测试
目标=响应度 · 暗电流 · 带宽
硅光光电探测器晶…目标=响应度
11
硅光调制器与探测器的高频晶圆级测试
目标=矢量网络分析仪校准 · S参数提取 · 电光S参数与光电器件带宽去嵌入
硅光调制器探测器的高频晶圆…
12
硅光波分复用器件晶圆级测试
目标=阵列波导光栅 · 级联微环 · 蚀刻衍射光栅的通道中心波长
硅光波分复用器件…目标=阵列波导光…
13
硅光偏振管理器件测试
目标=偏振分束器 · 偏振旋转器 · 偏振控制器件的偏振消光比与偏振相关损…
硅光偏振管理器件…目标=偏振分束器
14
晶圆级测试中的温度控制与热光效应表征
目标=温控平台 · 热光系数提取 · 热串扰评估
晶圆级测试温度控制
15
晶圆级测试数据管理与自动化
目标=测试脚本架构 · 数据格式标准化 · 数据库设计
晶圆级测试数据管…自动化
16
硅光参数提取的统计分析方法
目标=直方图 · 箱线图 · 散点图
硅光参数提取的统…目标=直方图
17
硅光工艺波动与器件参数相关性建模
目标=线宽粗糙度 · 厚度偏差 · 掺杂波动对光学参数的影响建模与提取
硅光工艺波动器件参数相关性建…
18
硅光良率分析基础
目标=良率定义 · 缺陷密度模型 · 参数良率与功能良率的区分
硅光良率分析基础目标=良率定义
19
基于晶圆级测试数据的良率诊断
目标=晶圆图分析 · 空间模式识别 · 热点定位
基于晶圆级测试数…目标=晶圆图分析
20
硅光器件失效模式与良率损失机理
目标=波导断裂 · 耦合失效 · 电学短路/开路
硅光器件失效模式良率损失机理
21
硅光工艺监控与测试结构设计
目标=工艺监控结构 · 电学测试结构 · 光学测试结构的版图设计与数据关联方法
硅光工艺监控测试结构设计
22
硅光晶圆级测试的测量不确定度分析
目标=误差来源分解 · 重复性与再现性分析 · 不确定度传递与报告规范
硅光晶圆级测试的…目标=误差来源分…
23
硅光晶圆级测试的测试时间优化与并行测试
目标=多通道并行测试架构 · 快速扫描策略 · 测试项优先级排序与成本模型
硅光晶圆级测试的…并行测试
24
硅光晶圆级测试与芯片级测试的关联
目标=晶圆级测试数据与切割后芯片测试 · 封装后模块测试的相关性分析与预测模型
硅光晶圆级测试芯片级测试的关联
25
硅光良率提升的工艺反馈闭环
目标=测试数据驱动的工艺调整 · 设计规则优化 · 工艺窗口定义与迭代验证
硅光良率提升的工…目标=测试数据驱…
26
硅光晶圆级测试中的机器学习应用
目标=异常检测 · 良率预测 · 参数虚拟量测
硅光晶圆级测试机器学习应用
27
硅光晶圆级测试标准与规范
目标=SEMI标准 · 通信标准 · 车规级可靠性要求对晶圆级测试的约束与…
硅光晶圆级测试标…规范
28
硅光晶圆级测试案例一
目标=400G/800G光模块用硅光…
硅光晶圆级测试案…G/800G
29
硅光晶圆级测试案例二
目标=激光雷达与传感用硅光芯片的晶圆…
硅光晶圆级测试案…目标=激光雷达
30
硅光晶圆级测试工程总结与展望
目标=技术挑战 · 良率分析趋势 · 测试与设计协同
硅光晶圆级测试工…目标=技术挑战