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硅光晶圆级光电测试工程

共计 30 章节
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01
硅光晶圆级光电测试工程导论
目标=课程定位 · 晶圆级测试在硅光产业链中的价值 · 测试对象与典型指标
硅光晶圆级光电测…目标=课程定位
02
硅光晶圆与器件基础
目标=SOI晶圆结构 · 波导 · 调制器
硅光晶圆器件基础
03
晶圆级光电测试系统架构
目标=光源 · 耦合 · 探针
晶圆级光电测试系…目标=光源
04
光耦合技术
目标=垂直光栅耦合与边缘耦合的原理 · 耦合效率 · 偏振控制
光耦合技术目标=垂直光栅耦…
05
电学探针与射频探测
目标=直流探针 · 射频探针 · 探针卡选型
电学探针射频探测
06
测试前校准与参考件
目标=光功率校准 · 波长校准 · 电学校准
测试前校准参考件
07
插入损耗与传输谱测试
目标=截断法 · 参考波导法 · 法布里-珀罗纹波分析
插入损耗传输谱测试
08
波导损耗与传播损耗测试
目标=切背法 · 光频域反射 · 回损与插损分离
波导损耗传播损耗测试
09
光栅耦合器测试
目标=耦合效率 · 带宽 · 偏振相关损耗
光栅耦合器测试目标=耦合效率
10
调制器晶圆级测试
目标=直流特性 · 行波电极S参数 · 电光响应
调制器晶圆级测试目标=直流特性
11
光电探测器晶圆级测试
目标=响应度 · 暗电流 · 电容
光电探测器晶圆级…目标=响应度
12
波分复用器件测试
目标=微环 · 阵列波导光栅 · 马赫-曾德尔干涉仪滤波器的波长
波分复用器件测试目标=微环
13
偏振相关测试
目标=偏振控制器 · 偏振消光比 · 偏振相关损耗
偏振相关测试目标=偏振控制器
14
高频与射频光电测试
目标=矢量网络分析仪 · 光电S参数 · 电光S参数
高频射频光电测试
15
晶圆级测试自动化
目标=探针台控制 · 自动对准算法 · 脚本化测试序列
晶圆级测试自动化目标=探针台控制
16
测试程序开发与软件框架
目标=Python/LabVIEW控… · 仪器驱动 · 测试用例管理
测试程序开发软件框架
17
测试数据管理与分析
目标=数据格式 · 统计过程控制 · 良率分析
测试数据管理分析
18
温度与热光测试
目标=温控 chuck · 热光系数 · 波长漂移
温度热光测试
19
晶圆级可靠性测试
目标=加速老化 · 高温偏置 · 光功率老化
晶圆级可靠性测试目标=加速老化
20
测试结构设计与工艺监控
目标=PCM · TEG · 光刻对准标记
测试结构设计工艺监控
21
测试精度与不确定度分析
目标=误差来源 · 重复性 · 再现性
测试精度不确定度分析
22
晶圆级测试中的光学校准与对准
目标=相机视觉 · 光斑定位 · 耦合搜索算法
晶圆级测试光学校准
23
多通道与并行测试
目标=多探针 · 多光纤阵列 · 并行光源与探测
多通道并行测试
24
硅光晶圆级测试的挑战与解决方案
目标=耦合损耗 · 偏振敏感 · 热漂移
硅光晶圆级测试的…解决方案
25
典型硅光器件测试案例
目标=调制器 · 探测器 · 波分复用器
典型硅光器件测试…目标=调制器
26
晶圆级测试与封装测试的衔接
目标=测试接口标准化 · 已知良好芯片 · 封装前筛选与测试覆盖策略
晶圆级测试封装测试的衔接
27
测试设备选型与产线集成
目标=探针台 · 光源 · 仪表
测试设备选型产线集成
28
测试标准与规范
目标=SEMI标准 · 通信标准 · 测试方法学
测试标准规范
29
前沿测试技术
目标=片上测试 · 自测试 · 光学相控阵测试
前沿测试技术目标=片上测试
30
课程综合实战
目标=设计一套硅光晶圆级光电测试方案 · 包括测试结构 · 流程
课程综合实战目标=设计一套硅…