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SiC界面态与栅氧可靠性工程

共计 30 章节
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01
课程导入与工程问题定义
目标=SiC MOSFET栅氧可靠性… · 界面态与栅氧缺陷的关联 · 本课程的知识地图与实战目标
课程导入工程问题定义
02
SiC/SiO2界面物理基础
目标=4H-SiC晶面极性 · 氧化反应路径 · 界面过渡层结构
SiC/SiO2界面物理基础
03
界面态密度表征方法总览
目标=C-V · G-V · DLTS
界面态密度表征方…C-V
04
栅氧电学表征实战
目标=I-V · C-V · TDDB
栅氧电学表征实战I-V
05
界面态密度提取与计算
目标=Terman法 · Hill-Coleman法 · 高频C-V与低频C-V联合提取Dit…
界面态密度提取计算
06
近界面陷阱与边界陷阱区分
目标=NIT · BT · OT的能级位置
近界面陷阱边界陷阱区分
07
栅氧工艺与界面态关联
目标=热氧化 · NO/N2O退火 · POA
栅氧工艺界面态关联
08
SiC/SiO2界面钝化工程
目标=氮钝化 · 磷钝化 · 硼钝化
SiC/SiO2界面钝化工程
09
栅氧厚度缩放与可靠性
目标=薄栅氧与厚栅氧的击穿统计 · Weibull分布 · 面积效应与外推方法
栅氧厚度缩放可靠性
10
TDDB测试与寿命外推
目标=恒压 · 恒流 · 斜坡电压TDDB的测试矩阵
TDDB测试
11
栅氧击穿统计与威布尔分析
目标=本征击穿 · extrinsic击穿分离 · 面积缩放
栅氧击穿统计威布尔分析
12
界面态对沟道迁移率的影响
目标=库仑散射 · 表面粗糙度散射 · 声子散射的分离方法与迁移率退化建模
界面态对沟道迁移…目标=库仑散射
13
偏压温度不稳定性
目标=SiC MOSFET的BTI现… · 阈值电压漂移 · 恢复行为与界面态填充/发射动力学
偏压温度不稳定性SiC
14
BTI与TDDB耦合失效
目标=栅偏压 · 温度 · 时间对界面态生成与栅氧击穿的协同作用…
BTITDDB
15
栅氧可靠性中的氢与杂质
目标=氢释放 · 氢桥 · 钠/钾污染
栅氧可靠性杂质
16
辐照环境下的界面态与栅氧可靠性
目标=总剂量效应 · 单粒子效应 · 辐照诱导界面态与栅氧漏电的评估
辐照环境下的界面…栅氧可靠性
17
高温栅偏与高温反偏测试
目标=HTGB · HTRB · H3TRB的测试条件
高温栅偏高温反偏测试
18
动态栅偏与开关可靠性
目标=AC BTI · 动态TDDB · 开关频率与占空比对界面态和栅氧退化的…
动态栅偏开关可靠性
19
栅氧缺陷的物理表征
目标=EPR · EDMR · SIMS
栅氧缺陷的物理表…EPR
20
界面态与栅氧可靠性的TCAD仿真
目标=陷阱模型 · 隧穿模型 · 退化模型校准与仿真-实验闭环
TCAD界面态
21
栅氧可靠性筛选与老化
目标=晶圆级可靠性测试 · burn-in条件设计 · 筛选效率与逃逸率评估
栅氧可靠性筛选老化
22
封装与模块级栅氧可靠性
目标=封装应力 · 热机械应力 · 键合线
封装模块级栅氧可靠性
23
栅氧可靠性失效分析实战
目标=失效定位 · FIB切片 · SEM/TEM观察
栅氧可靠性失效分…目标=失效定位
24
栅氧工艺窗口与良率提升
目标=氧化温度 · 气氛 · 退火条件
栅氧工艺窗口良率提升
25
界面态工程与器件设计协同
目标=沟道设计 · JFET区 · 终端结构
界面态工程器件设计协同
26
栅氧可靠性标准与认证
目标=AEC-Q101 · JEDEC · IEC标准中的栅氧可靠性测试项目与通…
栅氧可靠性标准认证
27
车规级SiC MOSFET栅氧可靠性案例
目标=实际车用逆变器工况 · 任务剖面 · 寿命评估与失效预防
SiCMOSFET
28
栅氧可靠性数据管理与统计
目标=加速寿命试验设计 · 数据采集 · 退化轨迹建模与剩余寿命预测
栅氧可靠性数据管…统计
29
前沿界面态调控技术
目标=新型栅介质 · 界面插入层 · 二维材料
前沿界面态调控技…目标=新型栅介质
30
课程综合实战
目标=从测试数据到可靠性报告——完整… · TDDB分析 · 寿命外推与改进方案
课程综合实战目标=从测试数据…