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宽禁带半导体材料工程案例

共计 30 章节
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01
宽禁带半导体材料工程导论
目标=宽禁带半导体的定义 · 材料体系（SiC · GaN
宽禁带半导体材料…目标=宽禁带半导…
02
宽禁带半导体材料物理基础
目标=能带结构 · 临界击穿场强 · 热导率
宽禁带半导体材料…目标=能带结构
03
SiC材料工程案例
目标=4H-SiC晶锭生长（PVT法… · 气氛控制 · 缺陷抑制与掺杂工程案例
SiC材料工程案例
04
SiC外延工程案例
目标=4H-SiC同质外延中的台阶流… · 掺杂均匀性 · 缺陷控制与厚膜外延的工程挑战
SiC外延工程案例
05
SiC功率器件制造案例
目标=SiC MOSFET与SBD的… · 氧化 · 欧姆接触）及材料缺陷对器件性能的影响
SiC功率器件制造案例
06
GaN材料工程案例
目标=MOCVD异质外延GaN on… · 应力控制 · 位错密度降低与翘曲管理
GaN材料工程案例
07
GaN HEMT工程案例
目标=AlGaN/GaN异质结二维电… · 钝化层工程 · 电流崩塌抑制与可靠性提升案例
GaNHEMT
08
GaN垂直器件材料工程案例
目标=GaN同质外延 · GaN衬底制备（氨热法 · HVPE）及垂直功率器件的材料需求与…
GaN垂直器件材料工程…
09
Ga2O3材料工程案例
目标=β-Ga2O3单晶生长（导模法 · 提拉法） · 外延薄膜（MBE
Ga2O3材料工程案例
10
金刚石材料工程案例
目标=CVD金刚石单晶/多晶生长 · 掺杂难题 · 散热应用与电子器件探索中的材料工程案…
金刚石材料工程案…CVD
11
AlN材料工程案例
目标=AlN单晶生长 · AlN模板与深紫外器件外延中的缺陷控… · 应力管理与工程应用
AlN材料工程案例
12
宽禁带半导体衬底加工案例
目标=SiC · GaN · Ga2O3晶片的切割
宽禁带半导体衬底…SiC
13
宽禁带半导体材料表征案例
目标=XRD · AFM · SEM
宽禁带半导体材料…XRD
14
宽禁带半导体材料缺陷工程案例
目标=点缺陷 · 位错 · 层错
宽禁带半导体材料…目标=点缺陷
15
宽禁带半导体掺杂工程案例
目标=SiC · GaN中的n型/p型掺杂挑战 · 离子注入激活
宽禁带半导体掺杂…SiC
16
宽禁带半导体欧姆接触与肖特基接触工程案例
目标=接触电阻 · 热稳定性 · 界面反应与材料选择工程案例
宽禁带半导体欧姆…肖特基接触工程案…
17
宽禁带半导体氧化与钝化工程案例
目标=SiC热氧化 · GaN钝化层（SiN · Al2O3）沉积
宽禁带半导体氧化钝化工程案例
18
宽禁带半导体热管理工程案例
目标=高功率密度下的散热路径 · 衬底键合 · 金刚石散热层集成与热阻优化案例
宽禁带半导体热管…目标=高功率密度…
19
宽禁带半导体可靠性工程案例
目标=高温反偏 · 栅极偏压 · 短路耐受等应力下的材料退化机制与寿命…
宽禁带半导体可靠…目标=高温反偏
20
宽禁带半导体材料在新能源汽车中的应用案例
目标=主驱逆变器SiC模块 · 车载充电机GaN器件及材料工程需求
宽禁带半导体材料新能源汽车
21
宽禁带半导体材料在光伏与储能中的应用案例
目标=SiC升压变换器 · GaN微型逆变器及材料工程挑战
宽禁带半导体材料光伏
22
宽禁带半导体材料在射频与5G/6G中的应用案例
目标=GaN RF器件 · SiC基GaN外延 · 热管理与线性度材料工程
G/6G宽禁带半导体材料
23
宽禁带半导体材料在电力电子中的封装工程案例
目标=银烧结 · 铜线键合 · 双面冷却与材料热机械可靠性
宽禁带半导体材料电力电子
24
宽禁带半导体材料在深紫外光电器件中的应用案例
目标=AlGaN基UV-LED · UV探测器中的AlN模板与掺杂工程
宽禁带半导体材料深紫外光电器件
25
宽禁带半导体材料在极端环境中的应用案例
目标=高温 · 高辐射 · 高频下的SiC
宽禁带半导体材料极端环境
26
宽禁带半导体材料生长设备工程案例
目标=PVT · MOCVD · HVPE
宽禁带半导体材料…PVT
27
宽禁带半导体材料工程中的计量与过程控制案例
目标=在线监测 · 膜厚/掺杂/缺陷统计过程控制与良率提…
宽禁带半导体材料…计量
28
宽禁带半导体材料工程中的成本与供应链案例
目标=衬底成本 · 外延成本 · 良率经济性及国产化替代工程实践
宽禁带半导体材料…成本
29
宽禁带半导体材料工程综合案例
目标=从材料设计到器件验证的完整项目…
宽禁带半导体材料…目标=从材料设计…
30
宽禁带半导体材料工程前沿与展望
目标=超宽禁带材料（Ga2O3 · 金刚石 · AlN）
宽禁带半导体材料…Ga2O3