3. 非平衡载流子
在热平衡状态下，半导体中的载流子浓度由本征载流子浓度 \( n_i \) 和掺杂浓度唯一确定，满足 \( n_0 p_0 = n_i^2 \)。然而，当半导体受到外界激励（如光照、电压偏置或高能粒子注入）时，系统会偏离热平衡状态，产生非平衡载流子。本章将系统阐述非平衡载流子的产生与复合机制、准费米能级的物理图像、描述载流子输运与时空演变的连续性方程，以及衡量复合快慢的关键参数——少子寿命。
3.1 非平衡载流子的产生与复合
当外界激励（如光子能量大于禁带宽度的光照）作用于半导体时，价带电子吸收能量跃迁至导带，同时产生一个空穴。这种额外产生的电子-空穴对即为非平衡载流子。通常，非平衡载流子的浓度远小于平衡时的多子浓度，但对少子浓度的影响极为显著。
复合是产生的逆过程，即导带电子跃迁回价带与空穴湮灭。根据能量释放方式，复合机制主要分为三类：
| 复合类型 | 能量释放方式 | 特点 | 典型场景 |
|---|---|---|---|
| 辐射复合 | 发射光子 | 直接带隙半导体中效率高；发光二极管（LED）的基础 | GaAs、InP 等 III-V 族材料 |
| 俄歇复合 | 将能量传递给第三个载流子（电子或空穴） | 高载流子浓度下占主导；非辐射过程 | 重掺杂硅、高注入条件下的激光器 |
| SRH 复合 | 通过禁带中的缺陷或杂质能级（复合中心）释放声子 | 间接带隙半导体（如硅）的主要复合机制；受缺陷密度影响大 | 硅基器件、多晶硅薄膜 |
下图展示了 SRH 复合通过禁带中的复合中心能级 \(E_t\) 分两步进行的微观过程：
3.2 准费米能级
在热平衡状态下，整个半导体系统具有统一的费米能级 \(E_F\)。当存在非平衡载流子时，电子和空穴系统不再处于相互平衡的状态，因此无法用一个统一的费米能级来描述。然而，在非平衡态下，电子和空穴各自内部的热平衡化速度极快（皮秒量级），可以认为电子系统和空穴系统各自处于准平衡状态。因此，可以分别为电子和空穴引入准费米能级（又称“费米-狄拉克准能级”）。
- 电子准费米能级 \(E_{Fn}\)：描述非平衡态下导带电子浓度的分布。
- 空穴准费米能级 \(E_{Fp}\)：描述非平衡态下价带空穴浓度的分布。
在非简并条件下，载流子浓度与准费米能级的关系为：
\[ n = n_i \exp\left(\frac{E_{Fn} - E_i}{kT}\right), \quad p = n_i \exp\left(\frac{E_i - E_{Fp}}{kT}\right) \]其中 \(E_i\) 为本征费米能级。由此可得：
\[ np = n_i^2 \exp\left(\frac{E_{Fn} - E_{Fp}}{kT}\right) \]当 \(E_{Fn} = E_{Fp}\) 时，\(np = n_i^2\)，系统回到热平衡。非平衡态下，\(E_{Fn}\) 与 \(E_{Fp}\) 发生分裂，其差值直接反映了系统偏离平衡的程度。
下图对比了热平衡态与正向偏置 PN 结中的能带图及费米能级位置：
3.3 连续性方程
连续性方程是描述半导体中载流子浓度随时间和空间变化的基本方程，它综合了扩散、漂移、产生与复合四种物理过程。以一维 n 型半导体中的少子（空穴）为例，连续性方程的一般形式为：
\[ \frac{\partial p}{\partial t} = -\frac{1}{q} \frac{\partial J_p}{\partial x} + G_p - R_p \]其中 \(J_p\) 为空穴电流密度，\(G_p\) 为空穴产生率，\(R_p\) 为空穴复合率。将空穴电流密度 \(J_p = q\mu_p p E - qD_p \frac{\partial p}{\partial x}\) 代入，并考虑小注入条件，可得：
\[ \frac{\partial p}{\partial t} = D_p \frac{\partial^2 p}{\partial x^2} - \mu_p E \frac{\partial p}{\partial x} - \mu_p p \frac{\partial E}{\partial x} + G_p - \frac{\Delta p}{\tau_p} \]其中 \(\tau_p\) 为空穴的少子寿命。该方程是分析双极型晶体管、PN 结二极管瞬态特性以及电荷耦合器件（CCD）的基础。
下图展示了连续性方程中各物理项对少子浓度分布的影响：
3.4 少子寿命
少子寿命（\(\tau\)）是非平衡少子从产生到复合消失的平均存在时间，是衡量半导体材料质量的关键参数。对于 n 型材料，少子为空穴，其寿命记为 \(\tau_p\)；对于 p 型材料，少子为电子，其寿命记为 \(\tau_n\)。
少子寿命决定了少子扩散长度 \(L = \sqrt{D\tau}\)，进而影响器件的电流增益、开关速度和存储电荷量。下表总结了不同复合机制下的寿命表达式：
| 复合机制 | 寿命表达式 | 主要依赖因素 |
|---|---|---|
| SRH 复合 | \(\tau_{SRH} = \frac{1}{\sigma v_{th} N_t}\) | 复合中心浓度 \(N_t\)、俘获截面 \(\sigma\)、热运动速度 \(v_{th}\) |
| 辐射复合 | \(\tau_{rad} = \frac{1}{B n_0}\)（n 型） | 辐射复合系数 \(B\)、多子浓度 \(n_0\) |
| 俄歇复合 | \(\tau_{Auger} = \frac{1}{C n_0^2}\)（n 型） | 俄歇系数 \(C\)、多子浓度的平方 \(n_0^2\) |
少子寿命对器件性能的影响体现在多个方面：
- 双极型晶体管（BJT）： 基区少子寿命越长，基区输运系数越接近 1，电流增益 \(\beta\) 越高。
- PN 结二极管： 少子寿命决定了反向恢复时间 \(t_{rr}\)，寿命越短，开关速度越快。
- 太阳能电池： 少子寿命越长，光生载流子在复合前被收集的概率越大，短路电流和效率越高。
下图展示了少子寿命与扩散长度的关系，以及不同复合机制对总寿命的贡献：
3.5 本章小结
非平衡载流子的行为是理解半导体器件有源工作的核心。本章要点归纳如下：
- 产生与复合： 辐射复合、SRH 复合和俄歇复合是三种基本机制，分别主导不同材料和注入条件下的载流子寿命。
- 准费米能级： 非平衡态下电子和空穴各自拥有准费米能级，其分裂程度直接反映了系统偏离热平衡的程度，是分析 PN 结能带弯曲和光电压的基础。
- 连续性方程： 将扩散、漂移、产生和复合统一在一个偏微分方程中，是器件数值模拟的理论基石。
- 少子寿命： 作为材料质量的综合指标，少子寿命通过扩散长度直接影响器件的增益、速度和效率。