| ⚙️ 方法 | 📐 基本原理 | 📊 判定方式 | 🎯 灵敏度 / 量程 | 🧪 典型应用 |
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| 向工件充入一定压力气体，保压后监测压力降。泄漏 → 压力下降。 | ΔP = P初始 − P终值，超过阈值判为不合格。 | 中等灵敏度 (10-2 ~ 10-4 Pa·m³/s)，受容积与温度影响。 | 发动机缸体、阀体、气密管路、大型容器。 | |
| 工件与参考腔同时充气，平衡后关闭阀门；检测两端差压变化。 | 差压传感器测量 ΔP差，消除温度/容积干扰。 | 高灵敏度 (10-4 ~ 10-6 Pa·m³/s)，重复性好。 | 精密零件、电池壳体、传感器封装、医疗器件。 | |
| 维持工件内部压力恒定，测量补充气体流量（质量流量或体积流量）。 | 泄漏量 = 质量流量计读数，直接显示泄漏率。 | 宽量程 (10-1 ~ 10-5 Pa·m³/s)，适合大泄漏。 | 燃气具、气动元件、散热器、包装密封测试。 | |
| 将工件抽真空至负压，监测真空度上升速率或压力变化。 | 真空计测量压力回升值，或使用氦质谱检漏（真空模式）。 | 极高灵敏度 (10-7 Pa·m³/s 以下)，可检极微漏。 | 真空腔体、半导体设备、航空航天部件、核工业。 |
📘 标准参考 · 泄漏率换算 (常用) 压力衰减法泄漏率: Q = V · ΔP / Δt (V: 容积, ΔP: 压降, Δt: 时间) 差压法泄漏率: Q = V · ΔP_diff / Δt (ΔP_diff: 差压) 流量法: Q = Q_mass / ρ (质量流量/密度) 真空法: Q = (ΔP_vac · V) / Δt (真空回升)