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本课程属于：186-SECSGEM设备通信与Fab自动化 芯片硬件与光电工程 · 共 5 门相关课程，组合学习更完整。
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SEMI SECS/GEM通信测试

共计 30 章节
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01
课程导入
目标=SEMI SECS/GEM通信… · 核心价值 · 整体知识框架与学习路径
课程导入SEMI
02
半导体制造与设备通信概览
目标=半导体产线自动化背景 · 设备通信需求 · SECS/GEM标准体系在智能制造中…
半导体制造设备通信概览
03
SECS/GEM标准族入门
目标=SEMI E4 · E5 · E30
SECS/GEM标准族入门
04
SECS-I串行通信基础
目标=物理层 · 链路层 · 块传输
SECS-I串行通信基础
05
HSMS高速消息服务
目标=TCP/IP承载 · 连接建立 · 选择状态
HSMS高速消息服务
06
SECS-II消息结构
目标=消息头 · 系统字节 · 流
SECS-II消息结构
07
SECS-II数据项类型
目标=L · B · BOOLEAN
SECS-II数据项类型
08
GEM状态模型
目标=通信状态 · 控制状态 · 设备状态
GEM状态模型
09
GEM基本功能
目标=建立通信 · 事件报告 · 警报管理
GEM基本功能
10
GEM300与先进制程功能
目标=载体管理 · 基板追踪 · 工艺作业管理
GEM300先进制程功能
11
通信测试环境搭建
目标=设备模拟器 · 主机模拟器 · 协议分析仪
通信测试环境搭建目标=设备模拟器
12
测试工具与平台选型
目标=SECS/GEM驱动库 · 仿真软件 · 自动化测试框架
测试工具平台选型
13
通信测试流程设计
目标=测试需求分析 · 测试计划 · 用例设计
通信测试流程设计目标=测试需求分…
14
连接与通信建立测试
目标=HSMS连接 · SECS-I连接 · 选择/分离
连接通信建立测试
15
消息交互与协议一致性测试
目标=消息格式 · 数据项编码 · 流功能合法性
消息交互协议一致性测试
16
GEM状态模型测试
目标=在线/离线切换 · 本地/远程控制 · 设备状态转换
GEM状态模型测试
17
事件与报告测试
目标=事件定义 · 报告定义 · 链接规则
事件报告测试
18
警报与异常处理测试
目标=警报设置 · 警报清除 · 警报确认
警报异常处理测试
19
变量与数据采集测试
目标=状态变量 · 设备常数 · 数据变量
变量数据采集测试
20
远程命令与过程程序测试
目标=远程命令执行 · 参数传递 · 响应确认
远程命令过程程序测试
21
GEM300功能测试
目标=载体管理 · 基板追踪 · 工艺作业
GEM300功能测试
22
性能与压力测试
目标=消息吞吐量 · 响应时间 · 并发连接
性能压力测试
23
安全与权限测试
目标=访问控制 · 用户权限 · 远程操作安全
安全权限测试
24
互操作性与兼容性测试
目标=不同厂商设备与主机互连 · 标准版本差异 · 可选功能协商
互操作性兼容性测试
25
故障注入与异常测试
目标=网络断开 · 报文损坏 · 超时
故障注入异常测试
26
测试数据分析与缺陷定位
目标=日志采集 · 报文追踪 · 时序分析
测试数据分析缺陷定位
27
自动化测试框架设计
目标=测试脚本 · 关键字驱动 · 数据驱动
自动化测试框架设…目标=测试脚本
28
典型行业案例解析
目标=晶圆厂设备通信测试 · 封测设备联调 · 面板行业SECS/GEM应用
典型行业案例解析目标=晶圆厂设备…
29
常见问题与最佳实践
目标=连接失败 · 消息超时 · 数据解析错误
常见问题最佳实践
30
综合提升与认证准备
目标=知识体系回顾 · 复杂场景综合实战 · 测试方案评审
综合提升认证准备