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本课程属于：137-压力、气压与流量传感 芯片硬件与光电工程 · 共 7 门相关课程，组合学习更完整。
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MEMS压力传感器系统设计

共计 30 章节
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01
课程导入
目标=MEMS压力传感器系统设计的定… · 学习目标 · 核心概念
课程导入MEMS
02
MEMS技术基础
目标=微机电系统基本原理 · 微加工技术分类 · 压阻/电容/压电效应
MEMS技术基础
03
压力传感器核心概念
目标=绝对压力 · 表压 · 差压
压力传感器核心概…目标=绝对压力
04
敏感机理与器件类型
目标=压阻式 · 电容式 · 压电式
敏感机理器件类型
05
压阻式压力传感器设计
目标=压阻效应 · 惠斯通电桥 · 掺杂浓度与温度系数
压阻式压力传感器…目标=压阻效应
06
电容式压力传感器设计
目标=平行板电容模型 · 变间隙与变面积结构 · 边缘效应
电容式压力传感器…目标=平行板电容…
07
压电式与谐振式压力传感器
目标=压电材料选型 · 电荷放大器 · 谐振频率跟踪
压电式谐振式压力传感器
08
敏感膜片与机械结构设计
目标=膜片材料选择 · 方形/圆形/矩形膜片力学模型 · 挠度与应力计算
敏感膜片机械结构设计
09
微加工工艺与版图设计
目标=体微加工 · 表面微加工 · SOI工艺
微加工工艺版图设计
10
信号调理电路设计
目标=电桥激励 · 仪表放大器 · 斩波稳零
信号调理电路设计目标=电桥激励
11
温度补偿与校准技术
目标=温漂来源 · 桥路补偿 · 软件补偿算法
温度补偿校准技术
12
封装与集成技术
目标=晶圆级封装 · 芯片级封装 · 介质隔离
封装集成技术
13
系统级设计方法与流程
目标=需求分析 · 指标分解 · 架构设计
系统级设计方法流程
14
仿真与建模工具
目标=COMSOL/MEMS+多物理… · SPICE电路仿真 · 有限元应力分析
仿真建模工具
15
测试与表征方法
目标=压力标定系统 · 静态与动态测试 · 温度循环测试
测试表征方法
16
案例实战一
目标=面向汽车胎压监测的压阻式MEM…
案例实战一MEM
17
案例实战二
目标=面向医疗血压监测的电容式MEM…
案例实战二MEM
18
案例实战三
目标=面向工业差压变送器的谐振式ME…
案例实战三ME
19
案例实战四
目标=面向消费电子的低功耗MEMS压…
案例实战四MEMS
20
常见问题与故障排查
目标=零点漂移 · 灵敏度下降 · 非线性超标
常见问题故障排查
21
可靠性设计与失效模式
目标=MEMS压力传感器常见失效机理 · 加速寿命试验 · FMEA分析
可靠性设计失效模式
22
低功耗与无线化设计
目标=能量收集 · 间歇供电 · 无线传输协议
低功耗无线化设计
23
智能化与自诊断技术
目标=自校准 · 自补偿 · 故障自诊断
智能化自诊断技术
24
设计工具链与工程实践
目标=EDA工具 · MEMS代工平台 · 设计规则检查
设计工具链工程实践
25
项目实战
目标=从需求到样机——完整MEMS压…
项目实战MEMS
26
综合提升一
目标=多物理场耦合设计思维与跨学科优…
综合提升一目标=多物理场耦…
27
综合提升二
目标=MEMS压力传感器前沿技术与发…
综合提升二MEMS
28
综合提升三
目标=学术论文与专利撰写 · 技术路线图与产品化策略
综合提升三目标=学术论文
29
课程复习与知识体系梳理
目标=核心概念 · 设计流程 · 关键公式与工程经验总结
课程复习知识体系梳理
30
课程考核与项目答辩
目标=设计报告要求 · 答辩要点 · 评分标准与持续学习资源推荐
课程考核项目答辩