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半导体设备通信标准SECSGEM协议核心技术剖析

共计 30 章节

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SECS/GEM协议概述

半导体工厂自动化背景 · SECS/GEM协议族定义 · 协议在半导体制造中的核心地位

SECS/GEM协议概述

SECS-I物理层与传输

RS-232C串行通信标准 · SECS-I报文格式 · 块传输协议与校验机制

SECS-I物理层

HSMS高速通信标准

TCP/IP网络基础 · HSMS连接建立与断开 · HSMS报文格式与超时管理

HSMS高速通信标准

SECS-II消息编码基础

SECS-II数据项格式 · 数据项类型（List · ASCII

SECS-II消息编码基础

SECS-II流与功能

Stream与Function的概念 · 标准消息分类（Primary/Sec… · 事务处理机制

SECS-II常用消息S1F1~S1F13

S1F1建立通信请求 · S1F2通信建立确认 · S1F3设备状态请求

SECS-II常用消息S2F13~S2F43

S2F13设备常量请求 · S2F14设备常量回复 · S2F17日期时间请求

SECS-II常用消息S5F1~S5F7

S5F1告警报告发送 · S5F2告警报告确认 · S5F3告警使能请求

SECS-II常用消息S6F1~S6F15

S6F1跟踪数据发送 · S6F2跟踪数据确认 · S6F11事件报告发送

SECS-II常用消息S7F1~S7F19

S7F1过程程序请求 · S7F2过程程序回复 · S7F3过程程序发送

SECS-II常用消息S9F1~S9F7

S9F1无法识别设备ID · S9F3无法识别流 · S9F5无法识别功能

SECS-II常用消息S10F1~S10F5

S10F1终端显示请求 · S10F2终端显示确认 · S10F3终端显示广播

GEM标准模型

GEM标准概述 · GEM与SECS-II的关系 · GEM定义的状态模型与能力模型

GEM标准模型

GEM设备状态模型

设备状态定义（INIT · IDLE · SETUP

GEM设备状态模型

GEM处理状态模型

处理状态定义（PROCESSING · WAITING · ABORTING等）

GEM处理状态模型

GEM控制状态模型

控制状态定义（OFF-LINE · ON-LINE LOCAL · ON-LINE REMOTE）

GEM控制状态模型

GEM通信状态模型

通信状态定义（ENABLED · DISABLED · NOT COMMUNICATING）

GEM通信状态模型

GEM事件通知机制

事件定义与分类 · 事件报告配置（CEID · RPTID

GEM事件通知机制

GEM变量体系

设备常量（EC） · 状态变量（SV） · 数据变量（DV）

GEM变量体系

GEM远程命令机制

远程命令（RCMD）定义 · 命令参数传递 · 命令执行与状态回复

GEM远程命令机制

GEM过程程序管理

过程程序（PP）上传与下载 · PP存储与删除 · PP选择与激活

GEM过程程序管理

GEM报警管理

报警（ALARM）定义与分类 · 报警使能/禁用 · 报警报告与清除

GEM报警管理

GEM跟踪数据采集

跟踪（TRACE）数据定义 · 跟踪ID分配 · 跟踪数据发送周期与停止

GEM跟踪数据采集

GEM终端服务

终端显示（TERMINAL DISP… · 终端服务会话管理 · 用户交互场景

GEM终端服务

GEM时钟同步机制

日期时间同步请求 · 时钟偏差计算 · 周期性同步策略

GEM时钟同步机制

SECS/GEM消息超时管理

T1~T6超时定义 · 超时值配置 · 超时处理与重传机制

SECS/GEM消息超时管理

SECS/GEM通信安全与可靠性

CRC校验 · 消息序列号 · 重传与确认机制

SECS/GEM通信安全

SECS/GEM协议实现架构

主机端与设备端软件架构 · 消息队列与线程模型 · 状态机实现模式

SECS/GEM协议实现架构

SECS/GEM测试与调试工具

模拟器使用 · 消息日志分析 · 常见通信故障排查

SECS/GEM应用案例与未来趋势

典型半导体设备集成案例 · 300mm与450mm工厂自动化 · SECS/GEM与E164/E167…

SECS/GEM应用案例