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微流控芯片加工与封装工程

共计 30 章节
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01
微流控芯片加工与封装工程导论
目标=课程定位 · 核心加工与封装对象 · 典型芯片结构
微流控芯片加工封装工程导论
02
微流控芯片材料选型
目标=硅 · 玻璃 · PDMS
微流控芯片材料选…目标=硅
03
微流控芯片版图设计
目标=流道网络 · 功能单元 · 对准标记
微流控芯片版图设…目标=流道网络
04
光刻掩模设计与制备
目标=掩模材料 · 图形转移原理 · 掩模版制作流程
光刻掩模设计制备
05
硅基微流控芯片加工
目标=光刻 · 刻蚀 · 氧化
硅基微流控芯片加…目标=光刻
06
玻璃微流控芯片加工
目标=湿法刻蚀 · 干法刻蚀 · 激光加工与超声加工的原理
玻璃微流控芯片加…目标=湿法刻蚀
07
PDMS微流控芯片软光刻加工
目标=SU-8模具制作 · PDMS配比与浇注 · 脱模
PDMS微流控芯片软光刻…
08
热塑性聚合物微流控芯片加工
目标=热压印 · 注塑成型 · 激光烧蚀与微铣削的工艺对比
热塑性聚合物微流…目标=热压印
09
纸基微流控芯片加工
目标=蜡打印 · 喷墨打印 · 光刻与切割成型方法
纸基微流控芯片加…目标=蜡打印
10
微流控芯片表面改性与功能化
目标=亲疏水处理 · 抗蛋白吸附 · 生物分子固定与表面图案化对加工和封装…
微流控芯片表面改…功能化
11
微流控芯片键合与密封技术
目标=热键合 · 阳极键合 · 等离子活化键合
微流控芯片键合密封技术
12
微流控芯片封装接口设计
目标=流体入口/出口 · 管路连接 · 密封圈
微流控芯片封装接…目标=流体入口
13
微流控芯片电气与光学接口封装
目标=电极集成 · 引线键合 · 光学窗口
微流控芯片电气光学接口封装
14
微流控芯片封装中的对准与贴装
目标=多层芯片对准 · 异质集成 · 贴片工艺
微流控芯片封装对准
15
微流控芯片封装材料与工艺兼容性
目标=封装材料与工作流体 · 生物试剂 · 温度与压力的相互作用及失效案例分析
微流控芯片封装材…工艺兼容性
16
微流控芯片加工与封装中的缺陷检测
目标=光学显微 · 共聚焦 · X射线
微流控芯片加工封装
17
微流控芯片加工与封装的洁净室操作规范
目标=环境等级 · 人员与物料进出 · 设备操作
微流控芯片加工封装的洁净室操作…
18
微流控芯片加工中的工艺参数优化
目标=实验设计 · 响应面法 · 统计过程控制与工艺窗口确定
微流控芯片加工工艺参数优化
19
微流控芯片封装可靠性测试
目标=热循环 · 压力循环 · 老化
微流控芯片封装可…目标=热循环
20
微流控芯片加工与封装的成本分析
目标=材料成本 · 设备折旧 · 良率
微流控芯片加工封装的成本分析
21
微流控芯片从原型到量产
目标=小批量试制 · 模具复制 · 卷对卷加工
微流控芯片从原型…目标=小批量试制
22
微流控芯片加工与封装的标准化
目标=尺寸接口 · 连接规范 · 测试标准
微流控芯片加工封装的标准化
23
微流控芯片加工与封装中的质量控制
目标=来料检验 · 过程监控 · 成品检验
微流控芯片加工封装
24
微流控芯片加工与封装项目管理
目标=需求分析 · 进度规划 · 风险控制
微流控芯片加工封装项目管理
25
微流控芯片加工与封装案例一
目标=玻璃-PDMS混合芯片用于细胞… · 封装与流体测试
微流控芯片加工封装案例一
26
微流控芯片加工与封装案例二
目标=纸基芯片用于即时检测的加工 · 封装与比色信号读取
微流控芯片加工封装案例二
27
微流控芯片加工与封装案例三
目标=热塑性芯片用于核酸扩增的注塑成… · 键合与热循环封装
微流控芯片加工封装案例三
28
微流控芯片加工与封装案例四
目标=集成电极的微流控芯片用于电化学…
微流控芯片加工封装案例四
29
微流控芯片加工与封装案例五
目标=器官芯片的多层加工 · 膜集成与灌流封装
微流控芯片加工封装案例五
30
微流控芯片加工与封装工程总结与前沿
目标=技术回顾 · 新兴加工与封装方法 · 产业化挑战与未来方向
微流控芯片加工封装工程总结