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薄膜铌酸锂高手进阶

共计 30 章节
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01
课程导入
薄膜铌酸锂（TFLN）的定义 · 发展历程 · 核心优势（高电光系数
课程导入TFLN
02
材料基础
铌酸锂晶体结构 · 电光效应 · 声光效应
材料基础铌酸锂晶体结构
03
波导基础
薄膜铌酸锂波导的几何结构（脊形 · 条形 · 加载型）
波导基础薄膜铌酸锂波导的…
04
仿真设计入门
使用COMSOL · Lumerical等工具进行TFLN… · 弯曲损耗模拟
仿真设计入门COMSOL
05
工艺制造基础
电子束光刻 · 紫外光刻 · 干法刻蚀（ICP-RIE）
工艺制造基础电子束光刻
06
耦合与封装
光纤-芯片耦合方式（端面耦合 · 光栅耦合） · 耦合损耗优化
耦合封装
07
电光调制器原理
马赫-曾德尔干涉仪（MZI）结构 · 行波电极设计 · 半波电压（Vπ）
电光调制器原理MZI
08
高速调制器设计
共面波导（CPW）电极 · 微波-光波速度匹配 · 阻抗匹配
高速调制器设计CPW
09
调制器性能测试
小信号S参数测量 · 大信号眼图测试 · 消光比
调制器性能测试小信号S参数测量
10
微环谐振器基础
微环结构 · 自由光谱范围（FSR） · 品质因子（Q值）
微环谐振器基础微环结构
11
微环调制器与开关
基于微环的电光调制器设计 · 波长调谐 · 开关速度
微环调制器开关
12
非线性光学效应
二阶非线性（χ(2)） · 倍频（SHG） · 和频（SFG）
非线性光学效应二阶非线性
13
频率梳产生
基于TFLN微环的孤子频率梳 · 电光频率梳 · 泵浦功率阈值
频率梳产生TFLN
14
量子光学应用
TFLN中的纠缠光子对产生（SPDC… · 量子干涉 · 片上量子电路
量子光学应用TFLN
15
声光与压电应用
TFLN的压电特性 · 声表面波（SAW）激发 · 声光调制
声光压电应用
16
集成光子平台
TFLN与其他材料平台（硅光 · 氮化硅 · III-V族）的混合集成
集成光子平台TFLN
17
热效应与热管理
TFLN器件中的热光效应 · 热漂移 · 热调谐效率
热效应热管理
18
可靠性工程
TFLN器件的长期稳定性 · 光致损伤 · 湿气敏感
可靠性工程TFLN
19
先进制造技术
纳米压印 · 深紫外光刻 · 原子层沉积（ALD）钝化
先进制造技术纳米压印
20
设计自动化与PDK
TFLN工艺设计套件（PDK）的构建 · 标准单元库 · 自动化版图设计（Layout）与DR…
PDK设计自动化
21
案例实战一
设计并仿真一个10Gbps TFLN… · 包括波导尺寸选择 · 电极设计
案例实战一Gbps
22
案例实战二
实现一个高Q值TFLN微环滤波器 · 通过热调谐实现波长可调 · 并测量其Q值
案例实战二TFLN
23
案例实战三
搭建TFLN倍频实验系统 · 优化相位匹配条件 · 测量转换效率
案例实战三TFLN
24
案例实战四
基于TFLN微环产生光频梳 · 调试泵浦功率与失谐 · 观察孤子形成
案例实战四TFLN
25
案例实战五
设计并测试一个TFLN量子光源 · 产生偏振纠缠光子对 · 验证量子干涉可见度
案例实战五TFLN
26
常见问题与解决
波导损耗过高 · 调制效率低 · 耦合对准困难
常见问题解决
27
测试与测量进阶
使用光学频谱分析仪（OSA） · 高速示波器 · 矢量网络分析仪（VNA）
测试测量进阶
28
行业前沿与趋势
薄膜铌酸锂在数据中心光互连 · 5G/6G无线前传 · 激光雷达
行业前沿趋势
29
综合项目实战
从需求分析 · 器件设计 · 仿真优化
综合项目实战从需求分析
30
课程总结与展望
核心知识点回顾 · 常见误区梳理 · 学习资源推荐（
课程总结核心知识点回顾