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精密光学元件装调与检测

共计 30 章节
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01
课程导入
学习目标 · 课程结构 · 精密光学元件的定义与分类
课程导入学习目标
02
光学基础回顾
几何光学与物理光学核心概念（折射 · 反射 · 衍射
光学基础回顾几何光学
03
精密光学元件类型与制造工艺
球面/非球面透镜 · 平面镜 · 棱镜
精密光学元件类型制造工艺
04
装调环境与洁净控制
洁净室等级（ISO 14644） · 温湿度控制 · 防震措施
装调环境洁净控制
05
装调工具与设备
光学平台 · 调整架（五维/六维） · 干涉仪（菲索
装调工具设备
06
光学元件装调基础流程
清洗 · 预装 · 粗调
光学元件装调基础…清洗
07
机械接口与定位基准
光学元件与机械结构的连接方式（胶接 · 压圈 · 弹簧压紧
机械接口定位基准
08
光学系统装调中的对准技术
光轴对准 · 共轴调整 · 视轴校准
光学系统装调对准技术
09
胶合与粘接工艺
光学胶水类型（紫外固化胶 · 环氧胶） · 胶合工艺参数（胶层厚度
胶合粘接工艺
10
机械装配与应力控制
装配应力来源（过盈配合 · 螺钉预紧 · 热失配）
机械装配应力控制
11
光学元件面形检测
干涉测量原理（菲索干涉仪 · 泰曼-格林干涉仪） · 面形误差参数（PV
光学元件面形检测干涉测量原理
12
表面粗糙度与疵病检测
表面粗糙度测量（白光干涉仪 · 原子力显微镜） · 表面疵病标准（美军标MIL-PRF-…
表面粗糙度疵病检测
13
曲率半径与焦距检测
曲率半径测量（球径仪 · 干涉法） · 焦距测量（放大率法
曲率半径焦距检测
14
光学系统波前检测
Shack-Hartmann波前传感… · 干涉仪波前测量 · 波前像差分析（Zernike系数）
光学系统波前检测Shack-Hartma…
15
光学传递函数（MTF）检测
MTF概念 · 测量方法（对比度法 · 扫描法
MTF光学传递函数
16
光学系统成像质量检测
分辨率测试（USAF靶标） · 星点检测 · 畸变测量
光学系统成像质量…USAF
17
光机热一体化分析
热环境对光学元件的影响（热变形 · 折射率变化） · 热补偿设计
光机热一体化分析热环境对光学元件…
18
典型光学系统装调案例（一）
望远镜系统装调（卡塞格林 · 牛顿式） · 主镜/次镜对准
典型光学系统装调…望远镜系统装调
19
典型光学系统装调案例（二）
激光光学系统装调（谐振腔 · 扩束镜 · 聚焦镜）
典型光学系统装调…激光光学系统装调
20
典型光学系统装调案例（三）
显微物镜装调（高倍物镜 · 油浸物镜） · 球差校正
典型光学系统装调…显微物镜装调
21
典型光学系统装调案例（四）
光刻机投影物镜装调（极紫外/深紫外） · 波前误差控制 · 畸变校正
典型光学系统装调…光刻机投影物镜装…
22
装调过程中的误差分析与补偿
误差来源分类（元件误差 · 装配误差 · 环境误差）
装调过程误差分析
23
光学检测中的数据处理与软件工具
干涉图处理（相位解包裹 · 滤波） · Zernike拟合
光学检测数据处理
24
光学元件清洁与维护
清洁剂选择 · 擦拭方法（无尘布 · 棉签）
光学元件清洁维护
25
装调中的安全与规范
激光安全（等级 · 防护眼镜） · 化学安全（胶水
装调安全
26
常见装调问题与故障排除
光轴偏移 · 像散增大 · 鬼像
常见装调问题故障排除
27
精密装调中的自动化与智能化
自动对准系统（视觉引导 · 激光跟踪） · 机器人辅助装调
精密装调自动化
28
综合实战项目（一）
设计并装调一个简单的折射式望远镜 · 完成光轴对准 · 像质检测（分辨率
综合实战项目设计并装调一个简…
29
综合实战项目（二）
对给定的光学系统进行故障诊断与再装调 · 要求分析误差来源 · 制定装调方案
综合实战项目对给定的光学系统…
30
课程总结与前沿展望
回顾核心知识点与技能 · 常见误区 · 行业发展趋势（自由曲面
课程总结前沿展望