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硅光芯片PDK设计与版图验证教程

共计 30 章节
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01
课程导入
硅光芯片PDK的定义 · 作用 · 行业背景
课程导入PDK
02
硅光基础
硅波导 · 耦合器 · 调制器
硅光基础硅波导
03
PDK架构
PDK的目录结构 · 文件类型（.lib · .gds
PDK架构
04
工艺层与设计规则
硅光工艺层的定义 · 层映射 · 设计规则检查（DRC）基础
工艺层设计规则
05
光器件模型
S参数 · 有效折射率 · 损耗
光器件模型S参数
06
PDK单元库设计
标准光器件单元（如弯曲波导 · MMI · 光栅耦合器）的版图实现与参数化
PDK单元库设计
07
参数化单元（PCell）
使用Python或SKILL开发可调…
PCell参数化单元
08
PDK的电气模型
调制器 · 探测器等有源器件的等效电路模型与SP…
PDK的电气模型
09
版图设计环境
主流EDA工具（如Cadence · Synopsys · Lumerical）中硅光PDK的集…
版图设计环境EDA
10
版图绘制基础
从原理图到版图 · 光波导布线 · 弯曲半径
版图绘制基础从原理图到版图
11
版图验证流程
DRC · LVS（版图与原理图一致性检查）在硅…
版图验证流程DRC
12
光版图与电版图协同
光电混合版图的布局 · 隔离 · 金属走线与热管理
光版图电版图协同
13
PDK的仿真验证
使用FDTD · Mode Solver等工具验证PD…
PDK的仿真验证
14
PDK的模型校准
基于测试数据校准S参数 · 损耗模型 · 提升PDK精度
PDK的模型校准
15
PDK的版本管理
Git等工具在PDK开发中的版本控制 · 变更记录与团队协作
PDK的版本管理
16
PDK的自动化生成
脚本化生成版图 · 网表 · 符号库
PDK的自动化生成
17
PDK的跨平台兼容
不同EDA工具间PDK的移植与适配（…
PDK的跨平台兼容
18
硅光工艺的特殊设计规则
刻蚀深度 · 侧壁角度 · 最小线宽
硅光工艺的特殊设…刻蚀深度
19
光栅耦合器PDK设计
光栅周期 · 占空比 · 蚀刻深度对耦合效率的影响及版图实现
PDK光栅耦合器
20
MMI分束器PDK设计
多模干涉器的参数优化 · 版图绘制与仿真验证
MMIPDK
21
微环谐振器PDK设计
半径 · 耦合间隙 · 热调谐电极的版图设计与验证
PDK微环谐振器
22
高速调制器PDK设计
PN结 · 行波电极 · 射频走线的版图设计与电光联合仿真
PDK高速调制器
23
PDK的可靠性验证
工艺角分析 · 温度变化 · 制造公差对PDK器件性能的影响
PDK的可靠性验证
24
版图验证实战
使用Calibre或Assura进行… · 解决常见错误与警告
版图验证实战Calibre
25
PDK的文档与交付
编写PDK用户手册 · 设计规则文档 · 模型说明
PDK的文档
26
常见问题与调试
PDK加载失败 · 模型不收敛 · 版图DRC违例等典型问题的排查方法
常见问题调试
27
案例实战
设计一个包含光栅耦合器 · 波导 · MMI的简单硅光链路
案例实战设计一个包含光栅…
28
案例实战
设计一个微环调制器单元 · 完成PCell开发 · 仿真验证与DRC/LVS
案例实战设计一个微环调制…
29
综合项目
基于PDK完成一个完整硅光收发芯片的… · 验证与仿真报告
综合项目PDK
30
课程总结与进阶
回顾核心技能 · 介绍硅光PDK前沿趋势（如AI辅助设… · 多项目晶圆流片）
课程总结进阶