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硅光器件版图设计与DRCLVS验证

共计 30 章节
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01
课程导入
硅光技术背景 · 版图设计在硅光芯片流片中的关键作用 · 课程目标与学习路径
课程导入硅光技术背景
02
硅光工艺基础
SOI晶圆结构 · 典型硅光工艺步骤（刻蚀 · 掺杂
硅光工艺基础SOI
03
硅光器件基础
波导 · 耦合器 · 调制器
硅光器件基础波导
04
版图设计环境
主流EDA工具（如Cadence · Synopsys · Lumerical）介绍
版图设计环境EDA
05
版图层次定义
硅光工艺层的命名规则 · 层号与用途 · 绘制层与导出层的区别
版图层次定义硅光工艺层的命名…
06
波导版图设计
脊形波导 · 条形波导 · 弯曲波导的版图绘制规则
波导版图设计脊形波导
07
耦合器版图设计
光栅耦合器 · 边缘耦合器的版图结构 · 关键尺寸标注与优化方法
耦合器版图设计光栅耦合器
08
调制器版图设计
MZM · 微环调制器的版图布局 · 电极与掺杂区设计要点
调制器版图设计MZM
09
探测器版图设计
锗探测器 · PN结探测器的版图实现 · 光电流路径与金属连接
探测器版图设计锗探测器
10
无源器件版图
MMI · AWG · 模式转换器的版图设计规则与仿真验证
无源器件版图MMI
11
版图布局与布线
器件摆放 · 波导布线 · 避免交叉干扰
版图布局布线
12
版图验证基础
DRC与LVS的概念 · 在硅光设计中的特殊挑战 · 验证流程概述
版图验证基础DRC
13
DRC规则文件解析
设计规则文件的结构 · 常见规则（最小宽度 · 间距
DRC规则文件解析
14
DRC实战
使用PDK提供的DRC deck运行… · 修复典型违规（如波导间距不足 · 金属密度问题）
DRCPDK
15
LVS原理与流程
版图与原理图一致性检查 · 器件识别 · 节点提取
LVS原理
16
LVS规则文件编写
如何定义硅光器件（如波导 · 耦合器）的LVS识别层 · 参数提取与比较
LVS规则文件编写
17
LVS实战
运行LVS验证 · 分析不匹配报告 · 修改版图或原理图以通过验证
LVS运行
18
寄生参数提取
硅光版图的寄生电阻 · 电容 · 电感提取方法及其对高频性能的影响
寄生参数提取硅光版图的寄生电…
19
版图与仿真协同
从版图提取几何参数 · 导入光学仿真工具（Lumerical · FDTD）进行验证
版图仿真协同
20
PDK在版图验证中的作用
PDK提供的验证套件 · 自动化脚本 · 如何定制PDK以满足特定设计
PDK版图验证
21
多项目晶圆（MPW）流片要求
MPW的版图提交规范 · DRC/LVS签核流程 · 常见拒收原因
MPW多项目晶圆
22
案例实战一
设计一个简单硅光链路（如直波导+光栅… · 并完成DRC/LVS验证
案例实战一设计一个简单硅光…
23
案例实战二
设计一个微环调制器版图 · 处理复杂层次与LVS匹配问题
案例实战二设计一个微环调制…
24
案例实战三
设计一个4×4 MMI分束器版图 · 验证其光学性能与版图规则
案例实战三MMI
25
常见DRC问题与解决
波导断裂 · 金属覆盖不足 · 刻蚀窗口错误等典型问题及修复技巧
DRC常见
26
常见LVS问题与解决
器件识别错误 · 节点短路 · 参数不匹配等问题的调试方法
LVS常见
27
版图优化技巧
减少面积 · 降低损耗 · 提高良率的设计规则优化策略
版图优化技巧减少面积
28
自动化与脚本
使用Skill · Python等脚本批量修改版图 · 自动运行DRC/LVS
自动化脚本
29
综合项目
从需求分析到版图设计 · DRC/LVS验证 · 仿真验证的完整硅光器件设计流程
综合项目从需求分析到版图…
30
课程总结与进阶方向
回顾核心知识点 · 常见误区 · 未来硅光版图设计趋势（如异质集成
课程总结进阶方向