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白光干涉三维形貌测量入门

共计 30 章节
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01
课程导入
白光干涉三维形貌测量的定义 · 发展历程 · 应用领域（如半导体
课程导入白光干涉三维形貌…
02
光学干涉基础
光的波动性 · 相干性 · 干涉条件
光学干涉基础光的波动性
03
白光干涉原理
白光光源特性 · 低相干性 · 干涉条纹的形成与特点
白光干涉原理白光光源特性
04
三维形貌测量基础
表面形貌参数（如Ra · Rz · Sa
三维形貌测量基础Ra
05
白光干涉仪硬件组成
光源 · 分光镜 · 物镜（Mirau
白光干涉仪硬件组…光源
06
干涉物镜类型与选择
Mirau · Michelson · Linnik三种干涉物镜的原理
干涉物镜类型选择
07
扫描与数据采集
垂直扫描策略（步进 · 连续） · 扫描范围与步长设定
扫描数据采集
08
干涉图样分析
干涉条纹的强度分布 · 包络提取 · 相位提取方法（如傅里叶变换法
干涉图样分析干涉条纹的强度分…
09
三维重建算法
从干涉图序列恢复表面高度图的常用算法 · 包括包络峰值检测 · 相位解包裹
三维重建算法从干涉图序列恢复…
10
数据处理与滤波
去除噪声 · 背景校正 · 畸变校正
数据处理滤波
11
测量误差来源
振动 · 温度漂移 · 扫描非线性
测量误差来源振动
12
校准与标准
标准台阶 · 标准球 · 校准流程
校准标准
13
软件操作入门
典型白光干涉仪软件界面 · 测量参数设置 · 数据采集流程
软件操作入门典型白光干涉仪软…
14
案例实战一
测量标准台阶高度——从样品准备 · 参数设置 · 数据采集到高度计算与误差分析的完整流…
案例实战一测量标准台阶高度
15
案例实战二
测量粗糙表面（如磨削金属表面）——粗… · 滤波选择 · 以及结果与触针式轮廓仪的对比
案例实战二测量粗糙表面
16
案例实战三
测量透明薄膜（如玻璃上的涂层）——薄… · 厚度测量原理 · 以及数据处理中的特殊考虑
案例实战三测量透明薄膜
17
案例实战四
测量微结构（如MEMS器件 · 微透镜阵列）——高倍物镜选择 · 陡峭侧壁处理
案例实战四MEMS
18
常见问题与解决
条纹对比度低 · 扫描中断 · 数据缺失
常见问题解决
19
测量不确定度评估
不确定度来源分析 · 合成方法 · 以及如何编写符合规范的测量报告
测量不确定度评估不确定度来源分析
20
与其他测量技术对比
白光干涉与共聚焦显微镜 · 原子力显微镜 · 激光三角法
其他测量技术对比白光干涉
21
白光干涉的特殊应用
大曲率表面 · 高深宽比结构 · 粗糙度极低表面（如光学镜面）的测量技…
白光干涉的特殊应…大曲率表面
22
自动化与在线测量
自动化测量流程设计 · 批量测量 · 数据自动处理
自动化线测量
23
数据处理进阶
拼接测量 · 多区域融合 · 形貌特征提取（如台阶
数据处理进阶拼接测量
24
白光干涉测量中的光学仿真
利用仿真软件（如VirtualLab · Zemax）模拟干涉图样 · 辅助理解原理与优化系统
白光干涉测量光学仿真
25
仪器维护与保养
光学元件清洁 · 光源寿命管理 · 扫描台校准
仪器维护保养
26
行业标准与规范
ISO 25178 · ISO 4287等表面形貌测量标准 · 以及白光干涉测量相关的国际标准与规范…
行业标准规范
27
综合实战项目
针对一个实际样品（如精密轴承滚珠）完… · 数据采集 · 三维重建
综合实战项目针对一个实际样品
28
前沿技术与发展趋势
高速白光干涉 · 动态测量 · 机器学习在数据处理中的应用
前沿技术发展趋势
29
课程总结与知识体系梳理
回顾核心概念 · 方法流程 · 常见问题
课程总结知识体系梳理
30
结业考核与实战演练
综合测试题 · 独立完成一个测量任务并提交分析报告 · 以及课程反馈与答疑
结业考核实战演练