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半导体厂务系统架构实战手册

共计 30 章节
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01
半导体厂务系统概述
半导体制造对厂务系统的依赖 · 厂务系统的核心价值 · 课程目标与学习路径
半导体厂务系统概…半导体制造对厂务…
02
厂务系统总体架构
厂务系统分层模型（设备层 · 控制层 · 监控层
厂务系统总体架构厂务系统分层模型
03
洁净室系统（HVAC）
洁净室等级标准（ISO 14644） · 温湿度控制 · 气流组织与压差控制
HVAC洁净室系统
04
纯水系统（UPW）
纯水水质标准（电阻率 · TOC · 颗粒）
UPW纯水系统
05
废水处理系统
废水分类（酸碱 · 含氟 · 有机
废水处理系统废水分类
06
特气供应系统（GDS）
大宗气体（N2/O2/Ar/H2）与… · 气瓶柜/气瓶架 · VMB/VMP
GDS特气供应系统
07
化学品供应系统（CDS）
化学品分类（酸 · 碱 · 溶剂
CDS化学品供应系统
08
电力系统（UPS/PDU）
半导体厂电力负荷等级 · UPS不间断电源 · PDU配电单元
UPS/PDU电力系统
09
真空与废气处理系统
真空泵（干泵/冷泵）选型 · 真空管路设计 · 尾气处理（Scrubber）技术（燃…
真空废气处理系统
10
压缩空气系统（CDA）
无油压缩空气标准 · 干燥机（冷冻式/吸附式） · 过滤器配置
CDA压缩空气系统
11
冷冻水与冷却水系统
工艺冷却水（PCW）与冷冻水（CHW… · 冷水机组（Chiller） · 冷却塔
冷冻水冷却水系统
12
消防与安全系统
FM-200/Novec 1230气… · VESDA极早期烟雾探测 · 防爆分区
消防安全系统
13
厂务监控系统（FMCS）架构
FMCS整体架构（SCADA + P… · 数据采集与传输 · 历史数据库
FMCS厂务监控系统
14
PLC与DCS在厂务中的应用
PLC选型（西门子/罗克韦尔/三菱） · DCS与PLC的区别 · 典型控制逻辑（PID调节
PLCDCS
15
SCADA系统设计与实施
SCADA软件选型（WinCC/In… · 画面组态 · 趋势曲线
SCADA系统设计
16
网络与通信协议
工业以太网（Profinet/Eth… · 现场总线（Modbus/Profib… · OPC UA与MQTT
网络通信协议
17
数据采集与边缘计算
传感器选型（温度/压力/流量/液位/… · IO模块 · 边缘网关
数据采集边缘计算
18
厂务系统集成（BMS/IoT）
BMS楼宇管理系统与FMCS融合 · IoT传感器部署 · 数字孪生基础
BMS/IoT厂务系统集成
19
能源管理系统（EMS）
电表/水表/气表部署 · 能源数据采集 · 能耗分析（单位产品能耗）
EMS能源管理系统
20
环境监测系统（EMS）
环境参数监测（温湿度/微粒子/AMC… · 实时报警 · 洁净室环境认证
EMS环境监测系统
21
设备维护管理系统（CMMS）
工单管理 · 预防性维护计划 · 备件管理
CMMS设备维护管理系统
22
厂务系统安全与合规
网络安全（IEC 62443） · 数据安全 · GMP合规
厂务系统安全合规
23
厂务系统项目规划与实施
需求分析 · 方案设计 · 设备选型
厂务系统项目规划实施
24
厂务系统运维与优化
日常巡检 · 故障排查 · 性能优化
厂务系统运维优化
25
厂务系统数字化与智能化
数字孪生技术 · AI预测性维护 · 机器学习在能耗优化中的应用
厂务系统数字化智能化
26
厂务系统案例分析（12英寸晶圆厂）
某12英寸晶圆厂厂务系统整体设计 · 关键指标 · 运维经验
厂务系统案例分析12英寸晶圆厂
27
厂务系统案例分析（8英寸晶圆厂）
某8英寸晶圆厂厂务系统改造升级 · 老旧设备替换 · 能效提升案例
厂务系统案例分析8英寸晶圆厂
28
厂务系统未来趋势
绿色工厂 · 碳中和 · 零排放
厂务系统未来趋势绿色工厂
29
厂务系统架构师技能树
跨学科知识（机械/电气/化工/自动化… · 项目管理 · 沟通协调
厂务系统架构师技…跨学科知识
30
课程总结与实战演练
课程核心知识点回顾 · 综合实战项目（设计一个小型厂务监控系… · 推荐资源与社区
课程总结实战演练