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MEMS扫描微镜驱动与控制技术

共计 30 章节
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01
课程导入
MEMS扫描微镜的定义 · 发展历程 · 典型应用（激光雷达
课程导入MEMS
02
MEMS基础与微镜结构
微机电系统制造工艺 · 微镜的机械结构（扭转梁 · 梳齿电极
MEMS微镜结构
03
扫描微镜的工作原理
静电 · 电磁 · 电热
扫描微镜的工作原…静电
04
静电驱动微镜
平行板电容与梳齿电容的驱动力模型 · 吸合效应 · 驱动电压波形设计
静电驱动微镜平行板电容
05
电磁驱动微镜
洛伦兹力与磁力矩模型 · 线圈设计 · 磁路优化及功耗控制
电磁驱动微镜洛伦兹力
06
电热驱动微镜
热膨胀效应 · 双晶片结构 · 热时间常数
电热驱动微镜热膨胀效应
07
压电驱动微镜
压电材料（PZT · AlN）特性 · d31/d33模式
压电驱动微镜PZT
08
微镜的静态与动态特性
静态偏转角度 · 动态频率响应 · 阶跃响应
微镜的静态动态特性
09
扫描模式与波形
正弦扫描 · 三角波扫描 · 光栅扫描
扫描模式波形
10
闭环控制基础
传感器反馈（压阻 · 电容 · 光电）原理
闭环控制基础传感器反馈
11
驱动电路设计
高压放大器 · 电荷泵 · DAC/ADC选型
驱动电路设计高压放大器
12
电容检测与自传感
电容变化检测方法（电荷放大 · 开关电容） · 自传感驱动技术
电容检测自传感
13
温度补偿与可靠性
温度对机械参数的影响 · 补偿算法 · 疲劳寿命与失效模式分析
温度补偿可靠性
14
MEMS微镜的标定与测试
角度测量方法（激光三角法 · PSD） · 频率响应测试
MEMS微镜的标定
15
激光雷达中的MEMS微镜
扫描策略 · 点云生成 · 同步控制
MEMS激光雷达
16
投影显示中的MEMS微镜
光栅扫描与视频同步 · 灰度调制 · 色彩时序
MEMS投影显示
17
医疗内窥镜中的MEMS微镜
光纤扫描 · 图像重建 · 微型化设计
MEMS医疗内窥镜
18
案例实战
基于静电驱动微镜的谐振扫描系统搭建—…
案例实战基于静电驱动微镜…
19
案例实战
电磁驱动微镜的闭环控制实现——使用P…
案例实战电磁驱动微镜的闭…
20
案例实战
压电微镜的迟滞补偿——基于Preis…
案例实战Preis
21
案例实战
MEMS微镜的温漂补偿——利用温度传…
案例实战MEMS
22
常见问题
扫描图像畸变的原因与校正（非线性 · 温度漂移 · 机械耦合）
常见问题扫描图像畸变的原…
23
常见问题
谐振频率漂移的检测与自适应跟踪算法
常见问题谐振频率漂移的检…
24
常见问题
驱动电路中的噪声抑制与电磁干扰（EM…
常见问题EM
25
常见问题
微镜的吸合与失稳现象——如何通过驱动…
常见问题微镜的吸合
26
综合提升
多轴MEMS微镜（2D扫描）的驱动与… · 同步控制
综合提升MEMS
27
综合提升
MEMS微镜阵列的驱动与控制——相位… · 独立寻址 · 应用（光通信）
综合提升MEMS
28
综合提升
智能控制算法——模糊PID · 神经网络在微镜控制中的应用
综合提升PID
29
综合提升
系统集成与小型化——驱动ASIC设计 · 封装技术 · 系统级优化
综合提升ASIC
30
课程总结与项目实战
设计一个完整的MEMS微镜扫描系统（… · 并展望未来趋势（固态激光雷达 · AR/VR）
课程总结项目实战