VIP20

本课程属于：014-先进涂层与表面工程 涂层工艺 · 共 20 门相关课程，组合学习更完整。

查看所属VIP全部课程 →

← 返回所属目录咨询 / 购买

ALD原子层沉积功能涂层工程

共计 30 章节

可可资料掘金营 · 点击在线试看

ALD技术导论与功能涂层工程定位

目标=原子层沉积的基本原理 · 自限制表面反应 · 功能涂层的工程需求

ALD技术导论

ALD前驱体化学与选择准则

目标=金属前驱体 · 非金属前驱体 · 配体设计

ALD前驱体化学

ALD表面反应机理与生长窗口

目标=化学吸附 · 配体交换 · 吹扫分离

ALD表面反应机理

热ALD与等离子体增强ALD设备架构

目标=反应腔 · 前驱体输运 · 真空系统

ALD等离子体增强

空间隔离ALD与卷对卷ALD工程

目标=空间分离前驱体区 · 连续沉积原理 · 大气压空间ALD

ALD空间隔离

ALD工艺参数与薄膜厚度控制实战

目标=循环数 · 生长速率 · 饱和曲线

ALD工艺参数

ALD薄膜表征方法与数据解读

目标=椭偏仪 · XRR · XPS

ALD薄膜表征方法

氧化物功能涂层

目标=Al2O3 · TiO2 · ZnO

氧化物功能涂层Al2O3

氮化物与金属功能涂层

目标=TiN · TaN · WN

氮化物金属功能涂层

硫化物与二维材料ALD合成

目标=MoS2 · WS2 · ZnS等硫化物沉积

ALD在半导体互连与高k栅介质中的应用

目标=铜扩散阻挡 · 高k介电层 · 界面钝化

ALD半导体互连

ALD在新能源电池与超级电容器中的应用

目标=电极包覆 · 固态电解质界面 · 锂离子电池正极稳定化

ALD新能源电池

ALD在催化与环境保护中的应用

目标=高比表面催化剂 · 单原子催化 · VOCs降解

ALD在光学与光子器件中的应用

目标=抗反射涂层 · 光学滤光片 · 等离激元结构

ALD在柔性电子与可穿戴器件中的应用

目标=柔性阻隔膜 · 可拉伸电极 · 有机电子封装

ALD柔性电子

ALD在防腐与耐磨涂层中的应用

目标=金属防腐 · 海洋环境防护 · 耐磨润滑涂层

ALD在生物医学与抗菌涂层中的应用

目标=生物相容性 · 抗菌表面 · 药物缓释

ALD生物医学

区域选择性ALD与图案化沉积

目标=表面抑制 · 掩膜辅助 · 光刻兼容

ALD区域选择性

ALD薄膜的界面工程与附着力调控

目标=界面反应 · 粘附层 · 应力控制

ALD薄膜的界面工程

ALD工艺的均匀性与大面积沉积工程

目标=气流场设计 · 温度场均匀性 · 前驱体分布

ALD工艺的均匀性

ALD工艺的颗粒污染与缺陷控制

目标=颗粒来源 · 腔体清洁 · 前驱体纯度

ALD工艺的颗粒污染

ALD工艺的在线监测与智能制造

目标=原位椭偏 · 质谱 · 石英晶体微天平

ALD功能涂层的性能测试与可靠性评价

目标=加速老化 · 湿热测试 · 电化学阻抗

ALD功能涂层的性能测…

ALD工艺放大与量产化挑战

目标=从实验室到工厂 · 成本分析 · 产能规划

ALD工艺放大

ALD与CVD、PVD、MLD的对比与集成

目标=技术边界 · 混合沉积策略 · 多层结构

ALD功能涂层在MEMS与传感器中的应用

目标=微结构保形覆盖 · 气敏涂层 · 压电薄膜

ALD在光伏与光电催化中的应用

目标=钝化层 · 透明导电层 · 界面修饰

ALD在纺织与包装阻隔涂层中的应用

目标=防水透气膜 · 高阻隔包装 · 抗菌织物

ALD功能涂层工程案例实战

目标=从需求分析 · 前驱体选择 · 工艺开发

ALD功能涂层工程案例…

ALD技术前沿与未来工程方向

目标=新前驱体 · 低温ALD · 选择性沉积

ALD技术前沿