VIP24
本课程属于：008-可靠性验证、环境试验与综合应力筛选 测试测量质量可靠性工程 · 共 24 门相关课程，组合学习更完整。
查看所属VIP全部课程 →
← 返回所属目录 咨询 / 购买

半导体设备集成测试指南

共计 30 章节
点击此处阅读海量试读课程：100+行业、1000+细分领域
01
半导体设备集成测试概述
定义 · 目标 · 范围与行业标准概览
半导体设备集成测…定义
02
测试策略制定
基于风险的测试策略 · 测试金字塔模型 · 测试优先级划分
测试策略制定基于风险的测试策…
03
测试环境搭建
硬件平台配置 · 软件工具链安装 · 网络与通信环境设置
测试环境搭建硬件平台配置
04
接口协议基础
SECS/GEM · HSMS · TCP/IP 在半导体设备中的应用
接口协议基础SECS/GEM
05
设备通讯测试
建立连接 · 发送接收消息 · 心跳机制与异常处理
设备通讯测试建立连接
06
参数配置与验证
设备参数读取 · 参数写入 · 参数范围校验与持久化
参数配置验证
07
状态机测试
设备状态定义 · 状态转换逻辑 · 非法状态跳转的容错测试
状态机测试设备状态定义
08
报警与事件管理
报警触发条件 · 事件上报机制 · 报警确认与清除流程
报警事件管理
09
数据采集与监控
实时数据采集 · 历史数据存储 · 数据可视化与趋势分析
数据采集监控
10
Recipe 管理测试
Recipe 上传 · 下载 · 执行与版本管理
Recipe管理测试
11
物料处理测试
晶圆传送 · 对准 · 定位与机械手动作验证
物料处理测试晶圆传送
12
安全互锁测试
门锁机制 · 光幕检测 · 紧急停止与安全回路验证
安全互锁测试门锁机制
13
性能基准测试
吞吐量 · 节拍时间 · 重复定位精度与稳定性测试
性能基准测试吞吐量
14
可靠性测试
长时间运行测试 · 压力测试 · 故障注入与恢复测试
可靠性测试长时间运行测试
15
软件升级测试
固件升级 · 软件版本回滚 · 兼容性验证
软件升级测试固件升级
16
日志与诊断测试
日志记录完整性 · 诊断命令执行 · 故障排查辅助功能
日志诊断测试
17
用户权限测试
角色定义 · 权限矩阵 · 登录认证与操作审计
用户权限测试角色定义
18
图形用户界面测试
界面元素验证 · 操作流程测试 · 多语言支持验证
图形用户界面测试界面元素验证
19
API 与驱动测试
设备驱动接口测试 · RESTful API 测试 · SDK 集成测试
API驱动测试
20
自动化测试框架
Python 与 Robot Fra…
自动化测试框架Python
21
测试用例设计
等价类划分 · 边界值分析 · 场景法与错误推测法
测试用例设计等价类划分
22
测试数据管理
测试数据生成 · 数据驱动测试 · 测试数据版本控制
测试数据管理测试数据生成
23
缺陷管理流程
缺陷报告 · 缺陷分类 · 缺陷跟踪与回归测试
缺陷管理流程缺陷报告
24
测试报告生成
测试结果汇总 · 覆盖率分析 · 质量度量与报告模板
测试报告生成测试结果汇总
25
持续集成与持续测试
CI/CD 流水线集成 · 自动化触发测试 · 测试结果反馈
持续集成持续测试
26
现场验收测试
工厂验收测试 · 现场验收测试 · 用户验收测试流程
现场验收测试工厂验收测试
27
合规性与认证测试
SEMI 标准符合性 · CE 认证 · 安全标准验证
合规性认证测试
28
电磁兼容性测试
EMC 测试要求 · 测试方法 · 整改措施与案例
电磁兼容性测试EMC
29
环境适应性测试
温度 · 湿度 · 振动
环境适应性测试温度
30
集成测试案例实战
从需求分析到测试交付的全流程实战演练
集成测试案例实战从需求分析到测试…