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RFIC VNA测试端口校准与夹具误差修正

共计 30 章节

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RFIC测试背景 · VNA在RFIC测试中的角色 · 课程目标与学习路径

课程导入RFIC

VNA基础原理

网络分析仪的基本架构 · S参数定义 · 测量原理与误差来源概述

VNA基础原理

RFIC测试挑战

晶圆级测试 · 封装测试 · 高频寄生效应

RFIC测试挑战

校准基础概念

校准的定义 · 目的 · 校准与测量的关系

校准基础概念校准的定义

VNA校准方法分类

响应校准 · 单端口校准 · 全双端口校准

VNA校准方法分类

SOLT校准详解

短路-开路-负载-直通校准的步骤 · 标准件模型 · 误差项提取与局限性

SOLT校准详解

TRL校准详解

直通-反射-传输线校准的原理 · 设计要点 · 适用频段与优缺点

TRL校准详解

线路-反射-匹配校准 · 改进型LRM · 适用于非理想夹具的校准策略

电子校准（ECal）

电子校准件的工作原理 · 自动校准流程 · 与传统机械校准的对比

ECal电子校准

校准件模型与定义

开路/短路/负载/直通的标准电参数 · 频率响应 · 寄生参数建模

校准件模型定义

误差模型与误差项

系统误差 · 随机误差 · 漂移误差

误差模型误差项

校准精度影响因素

连接重复性 · 线缆稳定性 · 温度漂移

校准精度影响因素连接重复性

夹具（Fixture）概念与类型

PCB夹具 · 探针台 · 测试座

夹具误差来源分析

插入损耗 · 阻抗不连续 · 串扰

夹具误差来源分析插入损耗

夹具去嵌入（De-embedding）基础

去嵌入原理 · 与校准的区别 · 常用方法（Open/Short/Th…

De-embedding夹具去嵌入

Open-Short去嵌入方法

开路/短路标准件测量 · 寄生参数提取 · 公式推导与实现步骤

Open-Short去嵌入方法

Thru-Reflect-Line（TRL）去嵌入

TRL在夹具去嵌入中的应用 · 设计规则 · 误差修正流程

Thru-Reflect…TRL

AFR（Automatic Fixture Removal）方法

自动夹具移除原理 · 基于2x-Thru的算法 · 优势与限制

探针台校准与测量

探针类型 · 探针接触模型 · 探针校准（如SOLT

探针台校准测量

射频探针与夹具的协同校准

探针+夹具联合校准策略 · 误差分离 · 提高测量准确度

射频探针夹具的协同校准

校准与去嵌入的软件实现

VNA内置校准向导 · 外部校准软件（如NIST · Keysight）

校准去嵌入的软件实现

基于SOLT校准的RFIC S参数测… · 数据验证与误差分析

案例实战SOLT

基于TRL校准的毫米波RFIC测试 · 测量结果对比与优化

案例实战TRL

PCB夹具去嵌入与误差修正 · 实测数据对比

案例实战PCB

晶圆级探针台校准与RFIC测试 · 去嵌入 · 测量重复性分析

案例实战RFIC

常见问题与故障排除

校准失败原因 · 校准件损坏 · 连接不良

常见问题故障排除

校准与去嵌入的验证方法

验证件（Verification K… · 重复性测试 · 与仿真对比

校准去嵌入的验证方法

多端口VNA校准 · 差分/混合模式S参数 · 负载牵引测试中的校准考虑

高级主题VNA

设计一套RFIC测试校准方案 · 设计夹具 · 执行校准与去嵌入

综合项目RFIC

课程总结与进阶资源

核心知识点回顾 · 常见误区 · 行业标准（如IEEE

课程总结进阶资源