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半导体工艺与制造设备
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036-SECS GEM通信调试与故障排查
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《SECS GEM T6定时器超时对设备初始化流程的影响》
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SECS GEM T6定时器超时对设备初始化流程的影响
共计 30 章节
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01
SECS/GEM协议概述
协议栈结构 · 通信模型 · 在半导体制造中的作用
SECS/GEM
协议概述
02
T6定时器定义
T6定时器在SECS/GEM标准中的… · 默认值 · 功能描述
T6
定时器定义
03
设备初始化流程(S1F13/S1F14)
建立通信的握手过程 · 状态机转换
S1F13/S1F14
设备初始化流程
04
T6定时器在初始化中的作用
等待S1F14回复的超时控制机制
T6
定时器
05
T6超时的触发条件
网络延迟 · 主机无响应 · 设备端处理阻塞
T6
超时的触发条件
06
T6超时后的默认行为
通信失败 · 状态机回退到Disabled状态
T6
超时后的默认行为
07
T6超时对设备状态机的影响
从Communicating到Not…
T6
超时对设备状态机…
08
T6超时与S1F0(Abort Transaction)的关系
异常终止事务的机制
T6
S1F0
09
T6超时与SxF0(Abort Stream)的关系
流级别的事务取消
T6
SxF0
10
T6超时与S9F9(Unrecognized Device ID)的交互
错误报告与链路恢复
T6
S9F9
11
T6超时与S9F7(Invalid Data)的交互
数据校验失败后的超时风险
T6
S9F7
12
T6超时与S9F5(Invalid Stream)的交互
流ID错误导致的通信中断
T6
S9F5
13
T6超时与S9F3(Invalid Function)的交互
功能码错误引发的超时
T6
S9F3
14
T6超时与S9F1(Invalid Transaction ID)的交互
事务ID不匹配的处理
T6
S9F1
15
T6超时与S9F11(Unrecognized Function ID)的交互
功能ID未知时的超时
T6
S9F11
16
T6超时与S9F13(Unrecognized Stream ID)的交互
流ID未知时的超时
T6
S9F13
17
T6超时与S9F15(Unrecognized Device ID)的交互
设备ID未知时的超时
T6
S9F15
18
T6超时与S9F17(Unrecognized Data ID)的交互
数据ID未知时的超时
T6
S9F17
19
T6超时与S9F19(Unrecognized Collection Event
事件ID未知时的超时
T6
S9F19
20
T6超时与S9F21(Unrecognized Alarm ID)的交互
报警ID未知时的超时
T6
S9F21
21
T6超时与S9F23(Unrecognized Remote Command I
远程命令ID未知时的超时
T6
S9F23
22
T6超时与S9F25(Unrecognized Variable ID)的交互
变量ID未知时的超时
T6
S9F25
23
T6超时与S9F27(Unrecognized Equipment Consta
设备常量ID未知时的超时
T6
S9F27
24
T6超时与S9F29(Unrecognized Status Variable
状态变量ID未知时的超时
T6
S9F29
25
T6超时与S9F31(Unrecognized Data Variable ID
数据变量ID未知时的超时
T6
S9F31
26
T6超时与S9F33(Unrecognized Collection Event
事件报告ID未知时的超时
T6
S9F33
27
T6超时与S9F35(Unrecognized Alarm Report ID)
报警报告ID未知时的超时
T6
S9F35
28
T6超时与S9F37(Unrecognized Remote Command R
远程命令报告ID未知时的超时
T6
S9F37
29
T6超时与S9F39(Unrecognized Variable Report
变量报告ID未知时的超时
T6
S9F39
30
T6超时与S9F41(Unrecognized Equipment Consta
设备常量报告ID未知时的超时
T6
S9F41
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